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      電子發(fā)燒友網(wǎng)>電子資料下載>電子資料>GaN基準(zhǔn)垂直肖特基功率二極管(SBD)的設(shè)計與制備

      GaN基準(zhǔn)垂直肖特基功率二極管(SBD)的設(shè)計與制備

      2023-02-27 | pdf | 0.36 MB | 次下載 | 免費

      資料介紹

      依托先進的半導(dǎo)體器件仿真設(shè)計平臺，天津賽米卡爾科技有限公司技術(shù)團隊實現(xiàn)了擊穿電壓為420 V的GaN基準(zhǔn)垂直肖特基功率二極管的設(shè)計方案（SFP-SBD：具有側(cè)壁場板的GaN 基準(zhǔn)垂直肖特基功率二極管），并在藍寶石襯底上制備了該器件結(jié)構(gòu)。技術(shù)團隊對所制備的器件進行了電流-電壓測試[圖1(a)]，通過在器件側(cè)壁及臺面邊緣處制備場板結(jié)構(gòu)，有效降 低了臺面邊緣處的電勢及電流密度[圖1(b)和(c)]，從而抑制了因刻蝕工藝導(dǎo)致的側(cè)壁缺陷對載流子的復(fù)合效應(yīng)。
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