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在顯微物鏡的成象光路中， 增加一塊振蕩反射鏡， 使被測(cè)縵寬的放大象相對(duì)窄縫描， 將光學(xué)邊界信息轉(zhuǎn)變?yōu)樘菪坞娒}沖。經(jīng)過(guò)電路處理。得到兩個(gè)史彤電脈沖。填充高頻矩形脈沖測(cè)量?jī)杉馔}沖之間的時(shí)間問(wèn)膈， 進(jìn)而求得被劃線(xiàn)寬的寬度。推導(dǎo)7被測(cè)線(xiàn)寬與光學(xué)性能參數(shù)， 結(jié)構(gòu)參數(shù)， 振蕩鰒率瞳及高額矩井；睬沖數(shù)之問(wèn)的函數(shù)關(guān)系式。根據(jù)顯徽鏡的基本性能， 分析 影響測(cè)量誤差的各種因素， 并進(jìn)行實(shí)倒計(jì)算。最后提出一個(gè)框圖， 說(shuō)明線(xiàn)寬測(cè)量?jī)x系兢中各功能之問(wèn)的關(guān)系。
量微細(xì)線(xiàn)寬
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