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      電子發(fā)燒友網(wǎng)>電子資料下載>品質(zhì)管理資料>納米結(jié)構(gòu)制備技術(shù)

      納米結(jié)構(gòu)制備技術(shù)

      2011-06-20 | pdf | 91 KB | 次下載 | 免費(fèi)

      資料介紹

      ?

      　隨著納米加工技術(shù)的發(fā)展,納米結(jié)構(gòu)器件必將成為將來的集成電路的基礎(chǔ). 本文介紹了幾種用電子束光刻、反應(yīng)離子刻蝕方法制備硅量子線、量子點(diǎn)和用電子束光刻、電子束蒸發(fā)以及剝離技術(shù)制備納米金屬柵的工藝方法;用這種工藝方法在P 型SIMOX硅片上成功制造的一種單電子晶體管,在其電流電壓2特性上觀測到明顯的庫侖阻塞效應(yīng)和單電子隧穿效應(yīng).
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