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      電子發(fā)燒友網(wǎng)>電子資料下載>電子論文>射頻無線論文>納秒激光脈沖誘導(dǎo)硅表面微結(jié)構(gòu)

      納秒激光脈沖誘導(dǎo)硅表面微結(jié)構(gòu)

      2010-03-05 | rar | 221 | 次下載 | 5積分

      資料介紹

      利用Nd:YAG納秒激光脈沖,在能量密度為1~10 J/cm2范圍內(nèi)輻照單晶硅,形成了表面錐形微結(jié)構(gòu)，在SF6氣氛和空氣環(huán)境下均形成了錐形尖峰表面微結(jié)構(gòu)。SF6氣氛下產(chǎn)生的錐形尖峰頂端都有小球，部分錐形上還有二次尖峰形成，空氣中納秒激光誘導(dǎo)的錐形尖峰微結(jié)構(gòu)頂端和邊緣有由液滴固化形成的粒狀物質(zhì)，不同于利用準(zhǔn)分子納秒激光誘導(dǎo)的細(xì)長須狀結(jié)構(gòu)和飛秒激光輻照下產(chǎn)生的具有表面枝蔓狀納米結(jié)構(gòu)的錐形微結(jié)構(gòu)。實驗結(jié)果表明，這種尖峰微結(jié)構(gòu)的形成與輻照激光的波長和脈沖持續(xù)時間有關(guān)。對空氣中微構(gòu)造硅的輻射反射的初步研究表明，在500~2 400 nm范圍內(nèi)的光輻射反射率不高于20 %。
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