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      MOCVD片式紅外輻射系統(tǒng)調(diào)節(jié)曲線的仿真與分析

      2012-01-10 | pdf | 561 KB | 次下載 | 免費

      資料介紹

      通過計算表明,片式加熱器加熱系統(tǒng)在石墨盤上的調(diào)節(jié)曲線峰值變化與加熱器的加熱功率、水平位置和大小有很密切的關(guān)系,文中解釋了峰值移動的內(nèi)在原因。得出設(shè)計加熱器一些原則:加熱器越多調(diào)節(jié)越靈活;外圈加熱器最大加熱功率要大于內(nèi)圈加熱器;最外圈加熱器宜小。研究結(jié)果對MOCVD反應室加熱系統(tǒng)設(shè)計以及在實際生產(chǎn)中的加熱條件優(yōu)化提供了參考。

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