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“RHT系列半導(dǎo)體快速熱處理設(shè)備”是微電子所研制開發(fā)的具有自主知識產(chǎn)權(quán)的產(chǎn)品。該設(shè)備已獲1項美國專利、4項中國專利、1項日本專利，1990、1991年先后獲得國家發(fā)明二等獎和中國專利金獎，目前廣泛應(yīng)用于國內(nèi)大規(guī)模集成電路、Ⅲ－V族化合物半導(dǎo)體、微機械的研制與生產(chǎn)中，1997年還獲得德國CE認證，取得了進入歐共體市場的準入證。幾年來，已生產(chǎn)銷售三十多臺，為國家節(jié)省外匯一千多萬美元，不僅滿足了國內(nèi)科研院所、大專院校、生產(chǎn)廠家的需求，而且還出口美國等地，取得了明顯的社會效益和一定的經(jīng)濟效益。
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