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      電子發(fā)燒友網(wǎng)>電子資料下載>電子論文>半導(dǎo)體技術(shù)論文>MEMS封裝技術(shù)

      MEMS封裝技術(shù)

      2009-12-29 | rar | 555 | 次下載 | 5積分

      資料介紹

      介紹了微機(jī)電(MEMS)封裝技術(shù),包括晶片級封裝、單芯片封裝和多芯片封裝、模塊式封裝與倒裝焊3種很有前景的封裝技術(shù)。指出了MEMS封裝的幾個可靠性問題,最后,對MEMS封裝的發(fā)展趨勢作了分析。
      關(guān)鍵詞: 微機(jī)電封裝; 單芯片; 多芯片; 模塊; 晶片級; 倒裝焊
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