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摘要：介紹了在Si+注入的n—GaAs溝道層下面用Be+或Mg+注入以形成P埋層。采用此方法做出了同值電壓0～0．2V，跨導(dǎo)大干100mS／Mm的E型GaAs MESFET，也做出了夾斷電壓-0．4～-0．6V、跨導(dǎo)大干100mS／mm的低閥值D型GaAs MESFET。
關(guān)鍵詞：P埋層，砷化萱，增強(qiáng)型場我應(yīng)管，低閥值耗盡型場效應(yīng)營
關(guān)鍵詞：P埋層，砷化萱，增強(qiáng)型場我應(yīng)管，低閥值耗盡型場效應(yīng)營
P埋層
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