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      壓力感測組件簡介

      2008-11-24 | rar | 333 | 次下載 | 3積分

      資料介紹

      一、壓力感測組件之原理介紹
      在所有微細加工技術所制造的組件中，壓力感測組件是最早商品化的，同時應用
      也最為廣泛，壓力感測組件已大量地應用在汽車、醫(yī)療、工業(yè)量測、自動控制和各種
      電子產(chǎn)品上。壓力感測組件所應用的原理相當多，如壓電效應(piezoelectric)、壓阻效
      應(piezoresistive effects)、以及電容效應。
      ???壓電效應
      所謂壓電效應是指當機械作用力作用于材料時，材料所能產(chǎn)生的電效應，相反的
      當施加電場于材料時，能夠使材料產(chǎn)生機械變形。這種現(xiàn)象只存在某些結晶材料，如
      石英(Quartz)、氧化鋅(ZnO)、鈦酸鋇陶瓷(BaTiO3)、鈦酸鉛鋯陶瓷(PbZrTiO3, PTZ)，
      或是一些特殊的化學聚合物如PVDF，由于硅晶具有中心對稱的網(wǎng)格結構無法展現(xiàn)其
      壓電性質，因此這些材料必需經(jīng)過一定的制程涂布于硅晶表面才能具有壓電性，如石
      英必需依一定的軸向切割、壓電陶瓷需經(jīng)過高電場極化。

      壓阻效應
      所謂壓阻效應是指當材料受到應力作用時，材料的電阻值會改變的一種現(xiàn)象。這
      種現(xiàn)象普遍地存在各種材料中，其中以某些半導體的效應特別顯著。目前制造硅質壓
      力感測組件最常用的方法是利用擴散法或離子布植法，將硼攙入單晶硅晶格中形成
      p-n接面，此p-n接面即為壓阻組件，可以用來感測硅晶隔膜上的壓力變化。感測壓力
      的電阻以惠斯登電橋(Wheatstone bridge)的方式來連接，如圖1所示，其中電阻R1即為
      硅質壓力感測組件。

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