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標(biāo)簽 > mems
微機電系統(tǒng)(MEMS, Micro-Electro-Mechanical System),也叫做微電子機械系統(tǒng)、微系統(tǒng)、微機械等,是在微電子技術(shù)(半導(dǎo)體制造技術(shù))基礎(chǔ)上發(fā)展起來的,融合了光刻、腐蝕、薄膜、LIGA、硅微加工、非硅微加工和精密機械加工等技術(shù)制作的高科技電子機械器件。
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MEMS動態(tài)測試系統(tǒng)的組成和關(guān)鍵測量技術(shù)的研究
本文基于自動調(diào)焦顯微視覺的MEMS動態(tài)測試系統(tǒng),通過采集MEMS器件顯微視覺圖像,利用平面亞像素運動位移算法和焦平面的定位,實現(xiàn)對被測MEMS器件平面和...
常見MEMS流體陀螺的原理、優(yōu)缺點和應(yīng)用前景
流體類陀螺儀與傳統(tǒng)陀螺儀相比,由于沒有懸掛質(zhì)量塊,結(jié)構(gòu)大大簡化,制作難度降低,更重要的是,省去了復(fù)雜的活動部件,其抗沖擊、抗振動能力大大提高,特別適合在...
一個完整的傳感器到云傳感器融合系統(tǒng)設(shè)想
先前提到的過程和環(huán)境中的挑戰(zhàn)是傳感器融合問題核心設(shè)計方法的基礎(chǔ)。相關(guān)的主要傳感模式用于在關(guān)鍵操作模式中提供高性能,同時互補傳感器則掃除每個應(yīng)用階段的關(guān)鍵...
英屬哥倫比亞大學(xué)研究員開發(fā)了聚合物基MEMS技術(shù)
據(jù)麥姆斯咨詢報道,為了使醫(yī)療市場上超聲波換能器更便宜,研究人員開發(fā)了聚合物基MEMS技術(shù)!
微型機電系統(tǒng)(MEMS)開關(guān)一直被標(biāo)榜為性能有限的機電繼電器的出色替代器件,因為它易于使用,尺寸很小,能夠以極小的損耗可靠地傳送0 Hz/dc至數(shù)百GH...
自從汽車制造商開始使用第一臺微機電傳感器(MEMS)加速計來測量加速的強勁力道以及啟動安全氣囊已經(jīng)二十多年了。第一臺慣性傳感器早已為今日的先進駕駛輔助系...
Blickfeld基于MEMS微鏡的固態(tài)LiDAR
據(jù)麥姆斯咨詢報道,位于德國慕尼黑的LiDAR(激光雷達)創(chuàng)業(yè)公司Blickfeld近日宣布將其種子輪融資提高到了1000萬美元,包括OSRAM(歐司朗)...
MEMS微執(zhí)行器技術(shù)現(xiàn)狀與未來展望
2015年開始,以集成微系統(tǒng)任務(wù)需求為牽引,通過問題定位、技術(shù)分解,確立了基于PZT材料的MEMS微執(zhí)行器研究,目前取得的研究進展包括以下幾個方面:壓電...
ST推出STA321MP系列音頻IC產(chǎn)品,可直接連接最新的微型麥克風(fēng)
STA321MP是意法半導(dǎo)體SoundTerminal系列音頻IC的最新產(chǎn)品,內(nèi)置MEMS數(shù)字麥克風(fēng)和標(biāo)準麥克風(fēng)輸入接口。微型尺寸與抗液晶顯示器和功率器...
微全分析系統(tǒng)的概念是在1990年首欠由瑞士Ciba2Geigy公司的Manz與Widmer提出的,當(dāng)時主要強調(diào)了分析系統(tǒng)的微與全,及微管道網(wǎng)絡(luò)的MEMS...
利用冗余節(jié)點最佳移動路徑算法解決節(jié)點移動的節(jié)能路由問題
無線傳感器網(wǎng)絡(luò)所具有的眾多類型的傳感器,可探測包括地震、電磁、溫度、濕度、噪聲、光強度、壓力、土壤成分、移動物體的大小、速度和方向等周邊環(huán)境中多種多樣的...
探討壓電MEMS微執(zhí)行器技術(shù)現(xiàn)在及發(fā)展趨勢
壓電MEMS通過單片即可實現(xiàn)微執(zhí)行、能量收集、傳感和無線通信,是應(yīng)用潛力巨大的熱點技術(shù)。
如何讓MEMS光學(xué)圖像穩(wěn)定技術(shù)變成現(xiàn)實?
MEMS OIS解決方案具有高性能、小尺寸、低功耗等特點,因此具有巨大的市場潛力。隨著更好的OIS技術(shù)應(yīng)用,移動拍照媲美專業(yè)級單反相機的時代正在來臨!
重力傳感器簡稱GV-sensor,輸出重力數(shù)據(jù)。 在地球上,重力數(shù)值為9.8,單位是m/s^2。 坐標(biāo)系統(tǒng)與加速度傳感器相同。 當(dāng)設(shè)備復(fù)位時...
大多數(shù)MOEMS制作技術(shù)是直接由IC工業(yè)及其制造標(biāo)準演化而來。因此,在MOEMS中采用體和表面微機械加工及高產(chǎn)量的微機械加工(HARM)技術(shù)。但有管芯尺...
使用Tanner實現(xiàn)物聯(lián)網(wǎng)所用的CMOS IC與MEMS的集成設(shè)計
實際上,許多IoT邊緣器件會在單個封裝中集成多個芯片,將電子器件與MEMS設(shè)計分開。Tanner AMS IC設(shè)計流程支持單芯片或多芯片技術(shù),因而有助于...
2018-08-17 標(biāo)簽:MEMS物聯(lián)網(wǎng) 3931 0
為何說MEMS傳感器在結(jié)構(gòu)健康監(jiān)測中決定性作用
可用于測量傾斜度變化、振動分析以及線性或圓周運動——即使在極端條件下也能測量。通過此類傳感器可以執(zhí)行預(yù)測性維護,更好地利用可用資源并幫助避免服務(wù)故障和中斷。
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