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微機(jī)電系統(tǒng)(MEMS, Micro-Electro-Mechanical System),也叫做微電子機(jī)械系統(tǒng)、微系統(tǒng)、微機(jī)械等,是在微電子技術(shù)(半導(dǎo)體制造技術(shù))基礎(chǔ)上發(fā)展起來的,融合了光刻、腐蝕、薄膜、LIGA、硅微加工、非硅微加工和精密機(jī)械加工等技術(shù)制作的高科技電子機(jī)械器件。
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傳統(tǒng)MEMS-IC 設(shè)計(jì)方法和驗(yàn)證的機(jī)構(gòu)化方法介紹
伴隨著傳感技術(shù)在汽車和消費(fèi)電子產(chǎn)品的迅速普及,微機(jī)電系統(tǒng)(MEMS)在最近幾年已進(jìn)入主流。為了控制及信號調(diào)理,基于MEMS 的傳感器必然需要密切耦合的電...
什么是微機(jī)電系統(tǒng) 主要種類及相關(guān)技術(shù)介紹
微機(jī)械電子系統(tǒng)是微電子技術(shù)的拓寬和延伸,它是將微電子技術(shù)和精密機(jī)械加工技術(shù)相互融合,并將微電子與機(jī)械融為一體的系統(tǒng)。MEMS將電子系統(tǒng)和外部世界有機(jī)地聯(lián)...
MEMS諧振器的發(fā)展史 Si50x CMEMS振蕩器概述
20世紀(jì)中期以來,頻率控制的市場就是由石英晶體諧振器和石英振蕩器所主導(dǎo)的。甚至到了今天,幾乎所有的電子設(shè)備在某方面仍是依賴機(jī)械石英晶體來產(chǎn)生多種可能運(yùn)行...
MEMS和FOG技術(shù)之間的戰(zhàn)爭 誰會戰(zhàn)到最后
光纖陀螺儀(FOG)以前曾經(jīng)是環(huán)形激光陀螺儀(RLG)等其他技術(shù)的低成本替代品,現(xiàn)在該技術(shù)面臨著新的競爭。微機(jī)電系統(tǒng)(MEMS)陀螺儀開始搶奪傳統(tǒng)FOG...
2018-04-14 標(biāo)簽:mems 1444 0
線性度有時被視為靈敏度的子集。把它單獨(dú)提出是有原因的。如果舉一個機(jī)器人性能與靈敏度和線性度的關(guān)系的示例,可能更有說服力。這一點(diǎn)務(wù)必請注意,因?yàn)槿绻徺I線...
如何用加速度計(jì)中斷引腳執(zhí)行喚醒和非運(yùn)動檢測
一個數(shù)字MEMS加速度計(jì)通常有一個到兩個中斷輸出引腳,可以連接外部微處理器的I/O引腳。加速度計(jì)可配置成后臺監(jiān)視加速度或運(yùn)動,同時微處理器可以處理其它任...
ADIS16355芯片MEMS陀螺儀數(shù)據(jù)采集硬件設(shè)計(jì)
DIS16355慣性測量裝置將三軸角速度感知與三軸加速度感知相結(jié)合,提供六自由度運(yùn)動感知、嵌入式校準(zhǔn)與傳感器處理以及傳感器-傳感器交叉補(bǔ)償,并大大提高信...
MEMS陀螺儀信號的處理平臺的硬件系統(tǒng)應(yīng)該包括以下幾個部分:DSP模塊,數(shù)據(jù)采集模塊,上位機(jī)通信模塊和JTAG調(diào)試接口模塊。數(shù)據(jù)采集模塊由兩部分組成:6...
根本問題是角速率反饋環(huán)路中的噪聲可能直接影響運(yùn)動控制系統(tǒng)的關(guān)鍵性能標(biāo)準(zhǔn),因此,在設(shè)計(jì)新系統(tǒng)的過程中,應(yīng)當(dāng)盡早予以考慮。相比于僅知道需要低噪聲的人,能夠量...
2018-06-12 標(biāo)簽:mems陀螺儀數(shù)字濾波器 6468 0
在現(xiàn)代狀態(tài)監(jiān)控(CM)系統(tǒng)中,MEMS加速度計(jì)用作振動傳感器正在日趨成熟。測量范圍、帶寬和分辨率(噪聲)等性能在近期獲得的擴(kuò)展,使得新概念和系統(tǒng)架構(gòu)成為...
2018-06-12 標(biāo)簽:mems監(jiān)控系統(tǒng)振動傳感器 2549 0
到2020年,世界上將安裝有300億個無線傳感器節(jié)點(diǎn),未來十年,傳感器數(shù)量可能達(dá)到萬億級。在國內(nèi),隨著汽車電子、新型數(shù)字消費(fèi)電子和醫(yī)療電子等產(chǎn)業(yè)的快速發(fā)...
MEMS激光雷達(dá)公開演示以及其優(yōu)點(diǎn)介紹
長距離、高分辨率、低成本、高量產(chǎn)能力、車軌級別的質(zhì)量與穩(wěn)定性——RS-LiDAR-M1 Pre注定將是一款令所有寄望快速量產(chǎn)的自動駕駛量產(chǎn)車型,所翹首以...
怎么實(shí)現(xiàn)基于MEMS姿態(tài)傳感器溫度補(bǔ)償?這篇文章告訴你
基于MEMS姿態(tài)傳感器主要用于載體姿態(tài)的調(diào)整和傾角的檢測,但是由于工作環(huán)境溫度的改變,就會導(dǎo)致測量精度的變化,在一些高精度檢測的要求下,則失去其檢測的效...
MEMS信號處理電路中的FIFO系統(tǒng)設(shè)計(jì)
通過在 MEMS 信號處理電路中設(shè)計(jì)一個異步結(jié)構(gòu)的 FIFO ,可以有效地降低系統(tǒng)對MEMS的頻繁訪問。設(shè)計(jì)一個具有多種工作模式的FIFO,可以滿足一些...
從三大應(yīng)用角度深度剖析MEMS加速度計(jì)的關(guān)鍵指標(biāo)
為應(yīng)用選擇最合適的加速度計(jì)可能并不容易,因?yàn)閬碜圆煌圃焐痰臄?shù)據(jù)手冊可能大相徑庭,讓人難以確定最為重要的技術(shù)指標(biāo)是什么。
2018-01-08 標(biāo)簽:mems物聯(lián)網(wǎng)無線傳感器 1.4萬 0
知微傳感獲得盈峰資本千萬級天使輪投資,用于設(shè)備投入、產(chǎn)品研發(fā)和市場投放
近日,獵云網(wǎng)獨(dú)家獲悉,以3D視覺硬件產(chǎn)品為核心的西安知微傳感技術(shù)有限公司完成千萬級天使輪融資,領(lǐng)投方為盈峰資本,此次融資主要用于設(shè)備投入、產(chǎn)品研發(fā)和市場...
提出了一種扭轉(zhuǎn)式微機(jī)械磁場傳感器及其制備方法來解決問題
本發(fā)明的扭轉(zhuǎn)式微機(jī)械磁場傳感器由于采用靜電驅(qū)動方式工作,器件的功耗幾乎為零,不存在功耗過大而導(dǎo)致的器件溫度穩(wěn)定性問題;由電磁感應(yīng)定律可知,本發(fā)明的扭轉(zhuǎn)式...
蘋果的手機(jī)陀螺儀怎么工作的,它與機(jī)械陀螺儀有哪些異同?
現(xiàn)在,當(dāng)我們開啟安兔兔檢測手機(jī)硬件的時候,經(jīng)常能發(fā)現(xiàn)在傳感器一欄中有一個叫陀螺儀傳感器的東西。這個東西在手機(jī)上主要是用來檢測手機(jī)姿態(tài)的,我們玩體感游戲少...
用于MEMS陀螺的PCIe實(shí)時測控平臺設(shè)計(jì)
本文主要介紹了一種用于MEMS陀螺的PCIe實(shí)時測控平臺設(shè)計(jì),通過硬件和軟件優(yōu)化,減少數(shù)據(jù)傳輸延時,并且利用高效的數(shù)據(jù)傳輸時序,實(shí)現(xiàn)了陀螺驅(qū)動頻率閉環(huán)和...
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