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微機(jī)電系統(tǒng)(MEMS, Micro-Electro-Mechanical System),也叫做微電子機(jī)械系統(tǒng)、微系統(tǒng)、微機(jī)械等,是在微電子技術(shù)(半導(dǎo)體制造技術(shù))基礎(chǔ)上發(fā)展起來的,融合了光刻、腐蝕、薄膜、LIGA、硅微加工、非硅微加工和精密機(jī)械加工等技術(shù)制作的高科技電子機(jī)械器件。
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TU Wien開發(fā)一款硅基MEMS電場測量傳感器 其優(yōu)勢是干擾正在測量的電場
MEMS電場傳感器的測量原理“目前用于測量電場強(qiáng)度的設(shè)備具有一些顯著的缺陷,” TU Wien傳感器和執(zhí)行器系統(tǒng)研究院的Andreas Kainz解釋稱...
基于MEMS工藝實(shí)現(xiàn)簡易快速地制備不同的微陣列結(jié)構(gòu)
當(dāng)前以MEMS為基礎(chǔ)的細(xì)胞微陣列芯片受到科研人員廣泛重視。通過微加工技術(shù)在基底上構(gòu)建微尺度的圖形結(jié)構(gòu),并通過物理化學(xué)修飾對表面進(jìn)行改性,使得細(xì)胞在特定區(qū)...
MEMS第一輪商業(yè)化浪潮始于20世紀(jì)70年代末80年代初,當(dāng)時用大型蝕刻硅片結(jié)構(gòu)和背蝕刻膜片制作壓力傳感器。由于薄硅片振動膜在壓力下變 形,會影響其表面...
ADXL355加速度計(jì)能否同時提供最低噪聲和最低功耗
當(dāng)傳感器未在使用時,如果應(yīng)用對傳感器周期供電以節(jié)省電能,噪聲與功耗的關(guān)系會大不相同。這種差異來源于建立時間,這可能讓有些人大吃一驚。在需要對一組連續(xù)數(shù)組...
從物聯(lián)網(wǎng)角度去認(rèn)識MEMS傳感器
物聯(lián)網(wǎng)是通過各種傳感技術(shù)(RFID、傳感器、GPS、攝像機(jī)、激光掃描器)、各種通訊手段(有線、無線、長距、短距),將任何物體與互聯(lián)網(wǎng)相連接,以實(shí)現(xiàn)遠(yuǎn)程...
2018-03-12 標(biāo)簽:mems物聯(lián)網(wǎng) 2.6k 0
在空間飛行器的慣性測量系統(tǒng),機(jī)器人的機(jī)械臂延展確定,車船體傾斜測量,巖體傾向判斷和工程鉆孔軌跡檢測等許多方面都需要測量物體的傾斜和方向等參數(shù)。
MEMS/NEMS結(jié)構(gòu)基于模板的廣度相位解包裹方法
在對微/納機(jī)電系統(tǒng)(micro/nano electro me-chanical system,MEMS/NEMS)結(jié)構(gòu)的特性參數(shù)進(jìn)行測量和MEMS/N...
MEMS硅膜電容式壓力傳感器的基本原理和結(jié)構(gòu)設(shè)計(jì)
目前敏感薄膜的材料多采用重?fù)诫sp型硅、Si3N4、單晶硅等。這幾種材料都各有優(yōu)缺點(diǎn),其選擇與目標(biāo)要求和具體工藝相關(guān)。硅膜不破壞晶格,機(jī)械性能優(yōu)異,適于陽...
基于MEMS技術(shù)的風(fēng)速和風(fēng)向測量傳感器設(shè)計(jì)
硅薄膜式測風(fēng)傳感器的設(shè)計(jì)示意圖如圖1所示。薄膜式風(fēng)速風(fēng)向傳感器主要是利用風(fēng)吹薄膜對薄膜產(chǎn)生風(fēng)壓,風(fēng)壓導(dǎo)致薄膜形變,薄膜上的應(yīng)變電阻就會感應(yīng)到薄膜的形變。...
MEMS開啟劃片技術(shù)新時代 濕式激光切割和干式激光切割介紹
MEMS主要包括微型機(jī)構(gòu)、微型傳感器、微型執(zhí)行器和相應(yīng)的處理電路等幾部分,是在融合多種微細(xì)加工技術(shù),并應(yīng)用現(xiàn)代信息技術(shù)的最新成果的基礎(chǔ)上發(fā)展起來的高科技...
MEMS IC和傳統(tǒng)IC的無縫互連集成技術(shù)
MEMS 芯片的集成通常是指電子和機(jī)械功能的集成。那么這種工藝的最終目標(biāo)是什么呢?答案是:將MEMS 結(jié)構(gòu)無縫集成到與之相連的同一CMOS 芯片上。 ...
MEMS壓力傳感器廣泛應(yīng)用于汽車電子如TPMS、發(fā)動機(jī)機(jī)油壓力傳感器、汽車剎車系統(tǒng)空氣壓力傳感器、汽車發(fā)動機(jī)進(jìn)氣歧管壓力傳感器(TMAP)、柴油機(jī)共軌壓...
市場容量持續(xù)擴(kuò)張 從加速度傳感器實(shí)現(xiàn)的功能來看,無論是國際知名品牌的手機(jī),還是普通的手機(jī),其主要功能是通過傾斜、晃動等動作來實(shí)現(xiàn)用戶界面控制、游戲控制...
隨著移動互聯(lián)網(wǎng)和物聯(lián)網(wǎng)的快速發(fā)展,MEMS微機(jī)電系統(tǒng)產(chǎn)業(yè)迎來了重大發(fā)展機(jī)遇。在致力于防患未然的汽車主動安全領(lǐng)域,ESC(車身穩(wěn)定系統(tǒng))、ABS(防抱...
MEMS麥克風(fēng)改變設(shè)備聲學(xué)性能的工作原理
想象一下不到普通麥克風(fēng)一半大小并帶有集成音頻信號處理功能,MEMS麥克風(fēng)可以作為單芯片手機(jī)一個集成部分。新型MEMS麥克風(fēng)的全部潛能還有待挖掘,但是第一...
如何利用MEMS加速計(jì)進(jìn)一步提高工業(yè)應(yīng)用精度?
隨著高集成度和更精密的加速計(jì)產(chǎn)品的出現(xiàn),系統(tǒng)設(shè)計(jì)師需要了解零件是如何校準(zhǔn)的,因?yàn)檫@決定著他們是購買這些校準(zhǔn)方案還是開發(fā)自己的校準(zhǔn)程序。本文將討論雙軸加速...
2018-04-11 標(biāo)簽:mems工業(yè)應(yīng)用 1.6k 0
ADI:將異構(gòu)制造的話題作為產(chǎn)業(yè)未來發(fā)展趨勢的一個重要觀察角度
ADI公司總裁兼首席執(zhí)行官Vincent Roche在對2018年的技術(shù)趨勢展望一文《這些創(chuàng)新將影響我們2018年的生活》中,首次發(fā)出將異構(gòu)制造的話題作...
2018-01-18 標(biāo)簽:adimems開關(guān)技術(shù) 5.8k 0
MEMS傳感器在消費(fèi)類領(lǐng)域的應(yīng)用
硬盤驅(qū)動器保護(hù)功能 硬盤驅(qū)動器墜落保護(hù)功能是MEMS運(yùn)動傳感器在消費(fèi)電子市場的具有重要?dú)v史意義的代表性應(yīng)用之一。 在手提電腦內(nèi)的三軸加速度傳感計(jì)可以監(jiān)測...
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