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微機電系統(tǒng)(MEMS, Micro-Electro-Mechanical System),也叫做微電子機械系統(tǒng)、微系統(tǒng)、微機械等,是在微電子技術(shù)(半導(dǎo)體制造技術(shù))基礎(chǔ)上發(fā)展起來的,融合了光刻、腐蝕、薄膜、LIGA、硅微加工、非硅微加工和精密機械加工等技術(shù)制作的高科技電子機械器件。
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MEMS傳感器是當(dāng)今最炙手可熱的傳感器制造技術(shù),也是傳感器小型化、智能化的重要推動了,MEMS技術(shù)促進了傳感器的極大發(fā)展。 MEMS主要采用微電子技術(shù),...
自動駕駛高精組合導(dǎo)航設(shè)備導(dǎo)遠(yuǎn)570D拆解
這期帶來自動駕駛高精組合導(dǎo)航設(shè)備拆解,本次拆解分析的產(chǎn)品是導(dǎo)遠(yuǎn)570D。
2023-11-01 標(biāo)簽:memsGNSS導(dǎo)航設(shè)備 4.5k 0
一顆MEMS聲學(xué)傳感器典型的產(chǎn)品構(gòu)造圖詳解
MEMS芯片負(fù)責(zé)感知信號,將測量量轉(zhuǎn)化為電阻、電容等信號變化;ASIC芯片負(fù)責(zé)將電容、電阻等信號轉(zhuǎn)換為電信號,其中涉及到信號的轉(zhuǎn)換和放大等功能。
什么是先進封裝?先進封裝技術(shù)包括哪些技術(shù)
半導(dǎo)體產(chǎn)品在由二維向三維發(fā)展,從技術(shù)發(fā)展方向半導(dǎo)體產(chǎn)品出現(xiàn)了系統(tǒng)級封裝(SiP)等新的封裝方式,從技術(shù)實現(xiàn)方法出現(xiàn)了倒裝(FlipChip),凸塊(Bu...
當(dāng)今的科學(xué)技術(shù)如翩翩起舞的蝴蝶,追求著微型化、集成化及智能化的新境界。隨著微機電系統(tǒng)(Micro-Electro-Mechanical System,M...
一種新型的基于仿真的MEMS結(jié)構(gòu)進化方法
微機電系統(tǒng)(MEMS)器件具有小型化、低成本、可批量生產(chǎn)的特點,在消費電子、汽車電子、航空航天、醫(yī)療器械和工業(yè)控制等多個領(lǐng)域的廣泛應(yīng)用
熱電堆傳感器是一種將溫度變化轉(zhuǎn)化為電能的裝置,被廣泛應(yīng)用于醫(yī)療、汽車工業(yè)、石油化工等領(lǐng)域,用來測量人體溫度、引擎溫度、燃?xì)饬髁康葦?shù)據(jù)。MEMS(Micr...
微型化、集成化及智能化是當(dāng)今科學(xué)技術(shù)的主要發(fā)展方向。隨著微機電系統(tǒng)(MicroElectroMechanicalSystem,MEMS)和微加工技術(shù)的發(fā)...
制造MEMS芯片需要什么工藝?對傳感器有什么影響?這次終于講明白了?。ㄍ扑])
本文整理自公眾號芯生活SEMI Businessweek中關(guān)于MEMS制造工藝的多篇系列內(nèi)容,全面、專業(yè)地介紹了MEMS芯片制造中的常用工藝情況,推薦!...
MEMS是Micro Electro Mechanical Systems(微機電系統(tǒng))的縮寫,具有微小的立體結(jié)構(gòu)(三維結(jié)構(gòu)),是處理各種輸入、輸出信號...
MEMS_慣性傳感器16-磁力計橢球擬合校準(zhǔn)步驟
磁力計橢球擬合校準(zhǔn)是一種將磁力計測量數(shù)據(jù)校準(zhǔn)到真實磁場的技術(shù)。這種技術(shù)通常使用橢球模型來擬合磁力計的測量結(jié)果,然后通過最小二乘法來找到擬合參數(shù)的最優(yōu)解。
MEMS是Micro Electro Mechanical Systems(微機電系統(tǒng))的縮寫,具有微小的立體結(jié)構(gòu)(三維結(jié)構(gòu)),是處理各種輸入、輸出信號...
東南大學(xué)MEMS教育部重點實驗室是以微電子學(xué)科為主題、結(jié)合電子工程系固體電子學(xué)研究室、工程力學(xué)系和機械工程系相關(guān)課題組,組建了跨學(xué)科的研究結(jié)構(gòu),于199...
2023-10-12 標(biāo)簽:mems 1.2k 0
雖然硅基MEMS微振鏡區(qū)別于傳統(tǒng)的金屬機械結(jié)構(gòu)部件(電機、轉(zhuǎn)子等),避免了機械式激光雷達因內(nèi)部旋轉(zhuǎn)的整體模塊體積和重量都較大引起受沖擊時慣量太大而容易致...
因為ST選用了音叉方法設(shè)計陀螺儀,其差分特性使系統(tǒng)本身對作用在傳感器上的無用線性加速度和雜亂振動的敏感度低于市場上現(xiàn)有的其它類型陀螺儀。當(dāng)這些無用的信號...
一文帶你詳細(xì)了解傳感器及其相關(guān)產(chǎn)業(yè)
本文來自公眾號【信熹資本】,這是一篇整理的非常細(xì)致的傳感器產(chǎn)業(yè)介紹內(nèi)容,涵蓋了傳感器的相關(guān)概念、發(fā)展歷史、分類方式、產(chǎn)業(yè)鏈和市場情況等信息。與其他籠統(tǒng)介...
MEMS 麥克風(fēng)中數(shù)字 PDM 和 I2S 接口之比較
作者:Jeff Smoot 麥克風(fēng)用在嵌入式系統(tǒng)中已經(jīng)有很多年了。然而,自其誕生以來,由于家居、汽車和可穿戴設(shè)備中基于語音的應(yīng)用范圍不斷擴大,MEMS麥...
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