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微機電系統(tǒng)（MEMS, Micro-Electro-Mechanical System），也叫做微電子機械系統(tǒng)、微系統(tǒng)、微機械等，是在微電子技術（半導體制造技術）基礎上發(fā)展起來的，融合了光刻、腐蝕、薄膜、LIGA、硅微加工、非硅微加工和精密機械加工等技術制作的高科技電子機械器件。

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ECM咪頭向硅麥革新乃至大規(guī)模應用mems硅麥在電子霧化產(chǎn)業(yè)的創(chuàng)新界限突破

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近日，芯聯(lián)集成科技股份有限公司(以下簡稱“芯聯(lián)集成”)發(fā)布了其2024年第三季度業(yè)績預告，數(shù)據(jù)顯示，公司在營收、凈利潤及EBITDA(息稅折舊攤銷前利潤...

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金天弘科技“萬分之一級”高精度MEMS諧振式壓力芯片和傳感器全面實現(xiàn)國產(chǎn)自主可控

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2024-10-10 標簽：傳感器芯片 mems 860 0

奧松電子完成D輪7億融資，加速MEMS傳感器產(chǎn)業(yè)布局

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國產(chǎn)士蘭微MEMS六軸陀螺儀介紹

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奧松電子完成7億元融資，打造國際一流MEMS IDM傳感器企業(yè)

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2024-09-26 標簽：傳感器 mems 融資 921 0

上揚軟件攜手合作伙伴打造智能化生產(chǎn)制造產(chǎn)線

近日，上揚軟件與山東某多維感知領域頭部企業(yè)就其智能智造產(chǎn)線部署舉行了啟動儀式，將為其6英寸化合物和8英寸MEMS傳感器生產(chǎn)線提供先進的生產(chǎn)制造執(zhí)行系統(tǒng)（...

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MEMS傳感器：微制造革命的藝術與科技交響

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2024-09-24 標簽：傳感器芯片 mems 1138 0

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口離子束刻蝕機 IBE 可以很好的解決傳感器 MEMS 的刻蝕難題, 射頻角度可以任意調(diào)整, 蝕刻可以根據(jù)需要做垂直, 斜面等等加工形狀, 刻蝕那些很...

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2024-09-11 標簽：傳感器芯片 mems 681 0

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2024-09-06 標簽：傳感器 mems 1397 0

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