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微機(jī)電系統(tǒng)(MEMS, Micro-Electro-Mechanical System),也叫做微電子機(jī)械系統(tǒng)、微系統(tǒng)、微機(jī)械等,是在微電子技術(shù)(半導(dǎo)體制造技術(shù))基礎(chǔ)上發(fā)展起來的,融合了光刻、腐蝕、薄膜、LIGA、硅微加工、非硅微加工和精密機(jī)械加工等技術(shù)制作的高科技電子機(jī)械器件。
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祥解MEMS的前世今生,商用化緩慢然而前景廣闊 微機(jī)電系統(tǒng)(MEMS)在1954年由貝爾實(shí)驗(yàn)室的Charles Smith通過硅的壓阻效應(yīng)發(fā)明,在不到...
2008-10-24 標(biāo)簽:MEMS 802 0
從全局考慮MEMS集成 在將微電子機(jī)械系統(tǒng)(MEMS)集成進(jìn)更大的電子系統(tǒng)時(shí)工程師必須進(jìn)行全局考慮,但是目前工程師所面臨的問題是:如何劃分和封裝系統(tǒng)?...
2008-09-22 標(biāo)簽:MEMS 537 1
MEMS:對消費(fèi)類電子產(chǎn)生重大影響的技術(shù)
制造商正在不斷完善手持式裝置,提供體積更小而功能更多的產(chǎn)品。但矛盾之處在于,隨著技術(shù)的改進(jìn),價(jià)格往往也會(huì)出現(xiàn)飆升,所以這就導(dǎo)致一個(gè)問題:制造商不得不...
2006-03-13 標(biāo)簽:MEMS 417 0
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