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微機電系統(tǒng)(MEMS, Micro-Electro-Mechanical System),也叫做微電子機械系統(tǒng)、微系統(tǒng)、微機械等,是在微電子技術(半導體制造技術)基礎上發(fā)展起來的,融合了光刻、腐蝕、薄膜、LIGA、硅微加工、非硅微加工和精密機械加工等技術制作的高科技電子機械器件。
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車用MEMS傳感器的具體應用及全球MEMS汽車傳感器十大廠商
車用MEMS傳感器的應用方向和市場需求包括車輛的防抱死系統(tǒng)(ABS)、電子車身穩(wěn)定程序(ESP)、電控懸掛(ECS)、電動手剎(EPB)、斜坡起動輔助(...
MEMS 按產品線劃分占主導低位的依然是慣性傳感器和微流量傳感器,占比都為24%左右,其次是壓力傳感器,占比為13%,光學傳感器和噴墨頭,占比都為10%左右。
目前,氣體傳感器的應用日趨廣泛,在物聯網等泛在應用的推動下,其技術發(fā)展方向開始向小型化、集成化、模塊化、智能化方向發(fā)展。
設計:小型超寬帶共面波導(CPW)饋電的MEMS單極子柔性天線
摘要: 設計了一種小型超寬帶共面波導(CPW)饋電的MEMS單極子柔性天線,具有結構簡單、質輕、易集成、可柔性彎曲的特點。該天線采用了具有高柔彈性和良好...
“IC與MEMS的集成與融合,是傳感技術產業(yè)發(fā)展的必由之路,特別是高檔傳感器、智能傳感器?!?中國儀器儀表行業(yè)協(xié)會傳感器分會名譽理事長、沈陽儀表科學院原...
例如傳統(tǒng)的光纖陀螺儀,由上圖可見,體積雖然越來越小,但對于放入一些電子產品而言是不可能完成的。而且為了保證性能,這樣一個陀螺儀的產量之低和價格之高也是可想而知。
意法半導體LPS22HH MEMS壓電絕對氣壓傳感器的精確度和穩(wěn)定性俱佳,設備制造商在焊接后無需執(zhí)行單點校準(OPC)工序,從而提高產量和效率。
Quanergy的LiDAR傳感器在六大關鍵商業(yè)化指標(成本、性能、可靠性、尺寸、重量和功率效率)上均處于領先地位,同時滿足利用固態(tài)技術進行大規(guī)模部署所...
Bourns新推出微機電系統(tǒng)環(huán)境傳感器
美國柏恩Bourns全球知名電子組件領導制造供貨商,近日推出了微機電系統(tǒng)(MEMS)環(huán)境傳感器,Bourns精密傳感器(BPS)系列提供的產品分別為三個...
清華大學尤政院士在論壇致詞中講到中國制造需要實現自主可控,“中興事件”后,國家發(fā)現我們大部分芯片都不能實現自主可控,對于我們MEMS人來說肩上的擔子很重。
河南省智能傳感器創(chuàng)新聯盟成立,為鄭州建設提供技術和動力支撐
河南省智能傳感器創(chuàng)新聯盟由鄭州大學、漢威科技集團股份有限公司等國內知名高校、科研院所及傳感器行業(yè)相關企業(yè)發(fā)起成立。鄭州大學校長劉炯天院士說,成立河南省智...
首次在MEMS器件中嵌入AI技術,為邊緣計算創(chuàng)造機會
據麥姆斯咨詢報道,加拿大魁北克Universite de Sherbrooke(舍布魯克大學)的研究人員已經成功地在MEMS(微機電系統(tǒng))器件中設計了一...
據麥姆斯咨詢報道,Microchip推出了業(yè)界尺寸最小的MEMS時鐘發(fā)生器DSC613。這款新器件可在電路板上最多替換掉三個晶振和振蕩器,從而減少高達8...
意法半導體推出IIS2DLPC 3軸MEMS加速度計,可以在超低功耗和高分辨率之間動態(tài)改變工作模式,在有限的功耗預算內實現高精度測量。
據麥姆斯咨詢報道,Si-Ware宣布開始規(guī)模量產全球最小的高精度光譜傳感器,可用于分析幾乎所有材料的樣品。
意法半導體推出超低功耗和高分辨率可互換的IIS2DLPC 3軸MEMS加速度計
2018年11月12日 - 意法半導體推出IIS2DLPC 3軸MEMS加速度計,可以在超低功耗和高分辨率之間動態(tài)改變工作模式,在有限的功耗預算內實現高...
毫無疑問,汽車產業(yè)正在朝著自動駕駛方向發(fā)展,而高級駕駛輔助系統(tǒng)(ADAS)是實現自動駕駛發(fā)展的重要前提。到2020年,美國和歐盟出售的所有新車都必須配備...
Vesper應該繼續(xù)專注于將壓電MEMS麥克風推向市場
如果將薄膜厚度減半,就可以將薄膜面積和芯片尺寸縮小一半。雖然目前我們正在使用物理氣相沉積(physical vapor deposition,PVD)來...
美國最大的純MEMS代工廠IMT宣布完成由Cerium Technology領導的股權融資
此次融資將用于增加公司標準工藝平臺的研發(fā)投入,升級現有設備,并完成IMT新的8英寸(200mm)晶圓生產線的建設?!拔覀兛吹绞袌鰧鈱W、無線、物聯網和醫(yī)...
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