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微機電系統(tǒng)(MEMS, Micro-Electro-Mechanical System),也叫做微電子機械系統(tǒng)、微系統(tǒng)、微機械等,是在微電子技術(shù)(半導(dǎo)體制造技術(shù))基礎(chǔ)上發(fā)展起來的,融合了光刻、腐蝕、薄膜、LIGA、硅微加工、非硅微加工和精密機械加工等技術(shù)制作的高科技電子機械器件。
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2014-11-13 標(biāo)簽:MEMS振動監(jiān)控 594 0
2014-10-27 標(biāo)簽:MEMS微機電系統(tǒng)Kalman濾波 1221 1
2014-09-01 標(biāo)簽:MEMS微機電系統(tǒng)高溫壓力傳感器 893 0
經(jīng)典詳述基于MEMS的車載激光投影儀設(shè)計立即下載
2014-07-30 標(biāo)簽:MEMS激光投影儀HUD技術(shù) 1682 0
意法半導(dǎo)體LIS3DH運動傳感器產(chǎn)品規(guī)格立即下載
2014-01-22 標(biāo)簽:MEMS意法半導(dǎo)體LIS3DH 2466 1
意法半導(dǎo)體LIS3DH運動傳感器應(yīng)用筆記立即下載
2014-01-22 標(biāo)簽:MEMS意法半導(dǎo)體LIS3DH 5232 7
2014-01-22 標(biāo)簽:MEMS意法半導(dǎo)體運動傳感器 2615 3
基于微加速度傳感器的無線鼠標(biāo)設(shè)計立即下載
2013-03-06 標(biāo)簽:MEMS無線鼠標(biāo)加速度傳感器 870 1
MEMS慣性傳感器在控制系統(tǒng)中的應(yīng)用研究立即下載
2013-03-04 標(biāo)簽:控制系統(tǒng)MEMS慣性傳感器 737 0
ADI公司底部收音孔MEMS麥克風(fēng)的貼裝和連接建議立即下載
2012-12-13 標(biāo)簽:ADIMEMSMEMS麥克風(fēng) 1201 0
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