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微機(jī)電系統(tǒng)(MEMS, Micro-Electro-Mechanical System),也叫做微電子機(jī)械系統(tǒng)、微系統(tǒng)、微機(jī)械等,是在微電子技術(shù)(半導(dǎo)體制造技術(shù))基礎(chǔ)上發(fā)展起來的,融合了光刻、腐蝕、薄膜、LIGA、硅微加工、非硅微加工和精密機(jī)械加工等技術(shù)制作的高科技電子機(jī)械器件。
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MEMS慣性技術(shù)的發(fā)展及應(yīng)用立即下載
2015-08-28 標(biāo)簽:MEMS微機(jī)電系統(tǒng)慣性測(cè)量單元 879 0
RF MEMS技術(shù)的雷達(dá)系統(tǒng)的解析立即下載
2017-11-07 標(biāo)簽:memsRF雷達(dá)系統(tǒng) 876 0
微機(jī)電系統(tǒng)(MEMS)控制驅(qū)動(dòng)討論立即下載
2012-10-08 標(biāo)簽:MEMS微機(jī)電系統(tǒng) 874 0
二維微機(jī)電陣列為移動(dòng)光譜分析儀打下基礎(chǔ)立即下載
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簡(jiǎn)述MEMS耐高溫壓力傳感器封裝工藝研究立即下載
2014-09-01 標(biāo)簽:MEMS微機(jī)電系統(tǒng)高溫壓力傳感器 868 0
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MPU6050運(yùn)動(dòng)跟蹤設(shè)備開源分享立即下載
2023-06-29 標(biāo)簽:mems運(yùn)動(dòng)跟蹤MPU6050 863 0
基于微加速度傳感器的無線鼠標(biāo)設(shè)計(jì)立即下載
2013-03-06 標(biāo)簽:MEMS無線鼠標(biāo)加速度傳感器 851 1
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