光譜分析是一種測量技術(shù)；它通過測量材料與不同波長光的相互作用情況來檢查材料的屬性。有幾種不同的交互作用可被測量，包括材料對(duì)光的吸收、反射和透射。

材料的特性可通過測量有多少光能被吸收以及哪些波長的能量被吸收進(jìn)行分析。吸收的波長取決于材料成分——脂肪、蛋白質(zhì)和不同類型的糖分子——而吸收的強(qiáng)度由材料的內(nèi)部成分的濃度決定。根據(jù)由材料表面層反射光的強(qiáng)度和波長，也可以對(duì)材料進(jìn)行定性分析，而反射光的強(qiáng)度和波長由成分和表面本身的屬性決定。

在某些情況下，當(dāng)被外部能量源照亮?xí)r，材料能夠發(fā)射出一個(gè)或多個(gè)獨(dú)特波長的光。這些可以包括熒光分子或物質(zhì)，而這些分子或物質(zhì)存在于多種植物和動(dòng)物體內(nèi)。

很多光譜分析應(yīng)用中的一個(gè)常見特性就是需要快速獲得分析結(jié)果。目前，大多數(shù)光譜分析儀器不是不太適合于現(xiàn)場環(huán)境，就是不適用于數(shù)據(jù)處理系統(tǒng)，諸如計(jì)算機(jī)和其它精密系統(tǒng)，對(duì)便攜性具有一定的限制。

一個(gè)將高性能實(shí)驗(yàn)室系統(tǒng)的精度與功能性和便攜性組合在一起的系統(tǒng)將極大地提高近紅外（NIR）光譜分析作為強(qiáng)大、實(shí)時(shí)分析工具的效用。例如，我們可以想象一臺(tái)具有實(shí)驗(yàn)室儀器的性能的、由電池供電的手持式光譜分析儀。屆時(shí)，很多目前無法支持的應(yīng)用都能夠被實(shí)現(xiàn)。

傳統(tǒng)光譜分析方法

大多數(shù)色散紅外（IR）光譜測量在開始時(shí)都采用同樣的測量方式。將被分析的光穿過一個(gè)小狹縫，它與控制儀器分辨率的光柵組合在一起。這個(gè)衍射光柵是一個(gè)專門設(shè)計(jì)用于以已知角度反射不同波長光的元件。這些波長的空間分離使得其它系統(tǒng)能夠以波長為基礎(chǔ)測量光強(qiáng)度。

光譜測量的傳統(tǒng)架構(gòu)的主要差別在于色散光的測量方式。兩個(gè)最常見的傳統(tǒng)方法為1.與色散光的物理掃面組合在一起的單個(gè)元件（或單點(diǎn)）探測器，以及2.將色散光成像于一個(gè)探測器陣列上。

在第一種方法中，來自光柵的色散光被聚焦在單個(gè)探測器上。為了分析多個(gè)波長上的功率，光柵（通常情況下如此）或者聚焦元件必須適當(dāng)?shù)匦D(zhuǎn)，以便將來自每個(gè)波長的光調(diào)節(jié)到探測器上。要執(zhí)行掃描，與探測器相關(guān)的電子元器件必須與光柵的運(yùn)動(dòng)同步，這樣的話，測得的功率就與正確的波長相一致。這就要求機(jī)械旋轉(zhuǎn)系統(tǒng)非常精確，并因此在體積方面變得十分龐大，而這也限制了這個(gè)方法在實(shí)驗(yàn)室之外的實(shí)用性。此外，為了實(shí)現(xiàn)高波長分辨率，這個(gè)方法需要小區(qū)域探測器。較小的探測器區(qū)域能夠減少總體光采集，并因此降低了靈敏度。

在第二種方法中，衍射光柵和聚焦目標(biāo)的位置是固定的，并且色散光聚焦在一個(gè)探測器的線性陣列上。由于這些波長在空間上被光柵隔離開來，探測器陣列中的每個(gè)探測器采集小波長范圍內(nèi)的光，而作為離散波長函數(shù)的功率的獲得方法與在數(shù)碼相機(jī)上進(jìn)行圖像采集的方法相類似。這就免除了對(duì)于機(jī)械系統(tǒng)和精密同步電子元器件的需要。此外，這個(gè)方法利用與數(shù)碼相機(jī)中所使用的算法相類似的圖像處理算法，以最大限度地提高性能。然而，系統(tǒng)的波長分辨率取決于陣列中探測器元件的尺寸和間隔；在這個(gè)陣列中，更小、排列更加緊密的元件提供更高的分辨率。大多數(shù)近紅外（NIR）波長敏感的陣列探測器需要價(jià)格高且稀缺的材料；這些材料在多元件陣列配置中的十分昂貴。因此，為了降低儀器成本，陣列的分辨率通常較低，或者根本就不可用。為了提高性能，針對(duì)較高波長所設(shè)計(jì)的探測器需要冷卻至環(huán)境溫度以下，從而增加了對(duì)系統(tǒng)成本、尺寸和功率的要求，而這也不利于在實(shí)驗(yàn)室以外使用這個(gè)方法。

一個(gè)強(qiáng)大的使用MEMS技術(shù)的新方法

可以使用一個(gè)具有單點(diǎn)探測器的基于光學(xué)微機(jī)電系統(tǒng)（MEMS）陣列技術(shù)的全新方法來克服傳統(tǒng)光譜分析方法的很多問題和限制。一個(gè)固態(tài)光學(xué)MEMS陣列用一個(gè)簡單、空間波長濾波器取代了基于單點(diǎn)探測器的系統(tǒng)內(nèi)的傳統(tǒng)電動(dòng)光柵。這個(gè)方法在消除精細(xì)控制電動(dòng)系統(tǒng)問題的同時(shí)，利用了單點(diǎn)探測器的性能優(yōu)勢。近些年，此類系統(tǒng)已經(jīng)被生產(chǎn)出來；在這些系統(tǒng)中，將每個(gè)特定波長過濾到單點(diǎn)探測器中的MEMS器件取代了掃描光柵。這個(gè)方法已經(jīng)被證明，在實(shí)現(xiàn)更加小巧且耐用的光譜分析儀的同時(shí)，可以產(chǎn)生出高性能。

相對(duì)于線性陣列探測器架構(gòu)來說，光學(xué)MEMS陣列具有幾個(gè)優(yōu)勢。首先，可以使用較大的單個(gè)元件探測器，這就增加了光采集，并且極大地降低了探測器的成本和復(fù)雜度，特別是對(duì)于紅外系統(tǒng)更是如此。此外，由于不再使用陣列探測器，像素到像素噪聲也被消除了。消除了這個(gè)像素到像素噪聲是對(duì)信噪比（SNR）性能的大幅提升。SNR性能的增加可以在更短的時(shí)間內(nèi)獲得更加精確的測量值。

圖1顯示了一個(gè)使用MEMS技術(shù)的光譜分析系統(tǒng)的一般工作原理。衍射光柵和聚焦元件的功能不變，不過來自聚焦元件的光被成像在MEMS陣列上。為了選擇一個(gè)針對(duì)此分析的波長，光譜響應(yīng)的一個(gè)特定波段被激活，以便將光引向用于光采集和測量的單點(diǎn)探測器元件。

圖1

這一優(yōu)勢能夠?qū)崿F(xiàn)的前提是MEMS器件本身是可靠的，并且能夠產(chǎn)生出可預(yù)計(jì)且在時(shí)間與溫度范圍內(nèi)恒定的濾波器響應(yīng)。

通過將一個(gè)數(shù)字微鏡器件（DMD）用作一個(gè)空間光調(diào)制器，可以克服在光譜分析儀應(yīng)用中采用MEMS時(shí)遇到的數(shù)個(gè)難題。首先，通過使用一個(gè)鋁制MEMS微鏡陣列，進(jìn)入單點(diǎn)探測器的光被打開和關(guān)閉；而鋁這一材質(zhì)在大范圍的波長范圍內(nèi)光學(xué)有效。第二，數(shù)字MEMS的打開和關(guān)閉狀態(tài)由機(jī)械停止和一個(gè)互補(bǔ)金屬氧化物半導(dǎo)體（CMOS）靜態(tài)隨機(jī)存取存儲(chǔ)器（SRAM）單元的鎖存電路控制，從而提供固定電壓微鏡控制。這就確保了這個(gè)系統(tǒng)不需要機(jī)械掃描和模擬控制環(huán)路，從而簡化了分光鏡系統(tǒng)的校準(zhǔn)。它還使得系統(tǒng)對(duì)于溫度、老化或抖動(dòng)等誤差源具有很強(qiáng)的抑制能力。

DMD的可編程屬性具有很多優(yōu)勢；這些優(yōu)勢能夠在根據(jù)一個(gè)可編程濾波器列的可尋址屬性進(jìn)行架構(gòu)設(shè)計(jì)時(shí)實(shí)現(xiàn)。由于DMD的分辨率通常高于所需要的頻譜，DMD區(qū)域會(huì)填充不足，而頻譜會(huì)被過度采樣。這就使得波長選擇完全可編程，并且可以在光引擎出現(xiàn)極度機(jī)械位移時(shí)的情況下，將額外的微鏡用作重新校準(zhǔn)列。

最后，DMD是一個(gè)二維的可編程陣列，從而為用戶提供了高度的靈活性。通過選擇不同數(shù)量的列，可以調(diào)節(jié)分辨率和數(shù)據(jù)吞吐量。掃描時(shí)間能夠動(dòng)態(tài)變化，這樣相對(duì)于那些不太關(guān)注的波長，對(duì)于感興趣的波長可以進(jìn)行時(shí)間更長、更加詳細(xì)地檢查，從而更好地使用儀器的處理時(shí)間和功能。此外，與固定濾波器器具相比，諸如哈達(dá)瑪（Hadamard）圖形應(yīng)用等高級(jí)狹縫編碼技術(shù)可實(shí)現(xiàn)高度靈活性，并且提高性能。這就在儀器或處理過程中極大地降低了分光鏡功能的實(shí)現(xiàn)成本。

總之，一個(gè)基于DMD的解決方案實(shí)現(xiàn)了一個(gè)比當(dāng)前光譜分析系統(tǒng)具有更高分辨率、更大靈活性、更經(jīng)久耐用、外形尺寸更小、成本更低的分光器件，從而使它們對(duì)于更加廣泛的商業(yè)和工業(yè)應(yīng)用具有極大吸引力。

性能

目前，基于線性陣列的光譜儀的性能主要受到兩方面因素的限制。首先，提供探測器的波長選擇受到像素開口大小的限制。常見銦鎵砷（InGaAs）256像素線性陣列的大小，比如說Hamamatsu G9203-256，為50μm x 500μm，將決定采集到的光量，以及SNR的范圍。相反地，如圖2中所見，一個(gè)數(shù)字微鏡陣列是一個(gè)完全可編程矩陣，其中的列數(shù)和掃描技術(shù)可以針對(duì)很多應(yīng)用進(jìn)行配置。這使得較大信號(hào)能夠出現(xiàn)在一個(gè)通常與DMD一同使用的1mm x 2mm單點(diǎn)探測器上。在更大程度上，將窄波段光過濾到通常為50微米像素寬的線性陣列上，會(huì)出現(xiàn)串?dāng)_問題。像素到像素干擾會(huì)成為讀數(shù)中噪聲的主要原因。這些都可以由單探測器架構(gòu)消除。此外，通過利用1kHz-4kHz之間的數(shù)字微鏡掃描技術(shù)所具有的優(yōu)勢，單點(diǎn)掃描能夠達(dá)到與并行多點(diǎn)采樣相類似的駐留時(shí)間。對(duì)于基于超小型、緊湊DLP MEMS的光譜儀引擎來說，測試結(jié)果已經(jīng)顯示SNR的范圍大于10000:1。

圖2

使用最小的、高分辨率2D MEMS陣列來實(shí)現(xiàn)超級(jí)移動(dòng)光譜儀

為了盡可能地提高性能，用戶需要考慮可被用來將光反射至探測器的總體MEMS面積。然后將這個(gè)數(shù)值與可用單點(diǎn)探測器開口尺寸進(jìn)行仔細(xì)匹配。

最近，一個(gè)具有超過400000可用像素，采用5.4微米微鏡的全新DMD針對(duì)700納米至2500納米之間的波長進(jìn)行了優(yōu)化。DLP2010NIR采用一個(gè)被稱為TRP的全新像素架構(gòu)。如圖3中所見，這個(gè)像素提供一個(gè)有效的+/- 17度傾斜。這個(gè)全新的微鏡架構(gòu)已經(jīng)提供了一個(gè)以評(píng)估模塊方式實(shí)現(xiàn)的獨(dú)特光學(xué)架構(gòu)。使用+/- 17度角度的光路徑實(shí)現(xiàn)了小巧的高性能引擎，從而最大限度地減少了漫射光。

圖3. TRP

為了使用戶能夠評(píng)估這一全新架構(gòu)，這一獨(dú)特光引擎的插圖被繪制出來（如圖4中所示）；這幅插圖中也展現(xiàn)了將一個(gè)高效MEMS用作一個(gè)針對(duì)光譜分析的高速2D濾波器所具有的全部優(yōu)勢。它是一款緊湊、堅(jiān)固耐用且具有高度自適應(yīng)性的系統(tǒng)，它能夠使光譜分析走出實(shí)驗(yàn)室，直接應(yīng)用于現(xiàn)場測量。很明顯，這個(gè)架構(gòu)的功能性和便攜性通過仔細(xì)設(shè)計(jì)得以實(shí)現(xiàn)。用同一個(gè)器件，通過互換測量頭端來執(zhí)行不同測量的功能可以實(shí)現(xiàn)相對(duì)于傳統(tǒng)光譜儀的性能基準(zhǔn)測試。

圖4

為了進(jìn)一步探究在這樣小的型封裝內(nèi)實(shí)現(xiàn)如此高性能的詳細(xì)原因，對(duì)于光路徑的簡要概述會(huì)有所幫助。如圖4中所示，這個(gè)系統(tǒng)被設(shè)計(jì)用來優(yōu)化整條光路徑內(nèi)的光信號(hào)的使用；這個(gè)優(yōu)化從光的采集方式開始。

光通過輸入開口上的一個(gè)狹縫進(jìn)入系統(tǒng)。這個(gè)狹縫控制進(jìn)入系統(tǒng)的光的物理尺寸。在控制儀器的波長分辨率方面，狹縫的寬度是重要的考量因素。較小的狹縫會(huì)增加分辨率，但是會(huì)減少可用于測量的光功率的數(shù)量。相對(duì)于傳統(tǒng)方法，系統(tǒng)光效率的增加有助于抵消功率的減少，并因此增加實(shí)現(xiàn)同樣測量分辨率的可用光數(shù)量。此外，借助于基于DMD的系統(tǒng)，通過在每個(gè)波長上設(shè)定一個(gè)更長的探測器駐留時(shí)間，可以對(duì)功率減少進(jìn)行進(jìn)一步補(bǔ)償。

可選模塊可被安裝在用于透射、反射、以及基于光纖采樣的狹縫的前面。例如，透射模塊包含一個(gè)光源和一個(gè)光析管固定器；這個(gè)固定器用于放置隨模塊一同提供的光析管。根據(jù)測量所需的波長范圍可以選擇光源。然后，來自狹縫的準(zhǔn)直光通過一個(gè)帶通濾波器。這個(gè)濾波器限制了進(jìn)入系統(tǒng)的波長范圍，從而減少了來自環(huán)境或背景光源的噪聲，并且限制了目標(biāo)測量所需要的波長范圍。

德州儀器（TI）和Optecks公司已經(jīng)在工程和設(shè)計(jì)領(lǐng)域開展協(xié)作，開發(fā)出數(shù)款其它照明模塊。OTM（Optecks傳輸模塊）包含一個(gè)光源、光析管固定器、高精度光析管和其它安裝硬件，使得對(duì)于透射樣本的吸收和散射屬性的測量更加簡單。NIR透射測量已經(jīng)被用于測量液體樣本的屬性，諸如果汁水含量，以及目標(biāo)復(fù)合物是否存在，比如說氣體簽名。這些測量值能夠提供與果汁原產(chǎn)地相關(guān)的大量信息。在固態(tài)樣本方面，它能夠測量塑料管的不透光度，而這個(gè)測量值是觀察氣體和液體傳輸線路內(nèi)流量的重要參數(shù)。線路內(nèi)的透射測量值也被用來測量黃油在生產(chǎn)期間內(nèi)的水含量，實(shí)現(xiàn)對(duì)黃油生產(chǎn)過程的及時(shí)調(diào)整，從而節(jié)省了時(shí)間、最大限度地降低成本，并且提高最終產(chǎn)品的質(zhì)量。

OHPRM（Optecks高性能反射模塊）還使用一個(gè)遠(yuǎn)心光學(xué)設(shè)計(jì)，以便將SNR提高到比標(biāo)準(zhǔn)反射模塊的SNR高將近10倍?；诜瓷涞墓庾V分析已經(jīng)被應(yīng)用于奶酪成分分析、肉品質(zhì)量分析，更是在近期被用于識(shí)別乳制品內(nèi)的微生物，以及在大型醫(yī)院、藥品生產(chǎn)和制造行業(yè)，以及釀造廠內(nèi)識(shí)別微生物。OHPRM的高SNR可實(shí)現(xiàn)更加快速和準(zhǔn)確的微生物識(shí)別，在培養(yǎng)之后的僅僅2至3天里就能夠產(chǎn)生準(zhǔn)確結(jié)果，從而減少了采樣與采取正確操作之間的時(shí)間。ONIRM（Optecks分侵入式反射模塊）使得樣本無需接觸光譜儀窗口的反射率測量變得更加簡便。這就使得用戶能夠在距離模塊幾厘米遠(yuǎn)的地方靈活地執(zhí)行掃描操作。這樣的功能可以實(shí)現(xiàn)對(duì)銷售中的塑料包裝肉品的質(zhì)量監(jiān)控。諸如對(duì)皮膚進(jìn)行漫反射測量來預(yù)測血糖的健康方面應(yīng)用也可以在NIR區(qū)域內(nèi)進(jìn)行特性化分析。

OFCM（Optecks光纖耦合模塊）通過光纖提供透射或反射測量。它可以在光譜儀與樣本無法直接接觸的情況下實(shí)現(xiàn)測量。此類采樣包括對(duì)工業(yè)過程的監(jiān)控、測量正在處理容器內(nèi)進(jìn)行管道輸送的液體、測量雞肉、牛肉和豬肉內(nèi)的水分、脂肪和蛋白質(zhì)含量。由于這個(gè)系統(tǒng)的功能可以提供增強(qiáng)型測量性能，這些模塊極大地?cái)U(kuò)展了應(yīng)用范圍。

光譜分析邁出實(shí)驗(yàn)室

DLP?NIRscan? Nano 評(píng)估模塊（EVM）的能力和功能性實(shí)現(xiàn)了利用光譜分析的全新方法；在這方法中，實(shí)驗(yàn)室被帶到了樣本附近，而不再是將樣本送到實(shí)驗(yàn)室進(jìn)行分析。儀器的便攜性，與其和多種器件進(jìn)行遠(yuǎn)程對(duì)接的功能組合在一起，意味著可以在現(xiàn)場或者生產(chǎn)場所內(nèi)進(jìn)行重要測量，甚至是在收割或處理前進(jìn)行，以確保質(zhì)量和成分符合使用標(biāo)準(zhǔn)或必要條件。

將NIRscan Nano EVM的功能與NIR光譜分析的固有非侵入式屬性組合在一起，實(shí)現(xiàn)了對(duì)動(dòng)物活體進(jìn)行分析和測量的可能性。例如，在剪羊毛前，能夠確定山羊皮毛的纖維特性，這樣的話就可以決定剪取的合適長度。這款儀器可以帶到現(xiàn)場來分析食物的成熟度，以優(yōu)化采摘操作，分析谷物和其它農(nóng)作物來檢測健康狀況和蟲害的可能性，分析土壤成分，這樣的話，就可以采取及時(shí)有效的方法來進(jìn)行正確的土壤管理和治理。

這個(gè)系統(tǒng)的大小和緊湊性還使其能夠被輕松地集成到整個(gè)生產(chǎn)或處理設(shè)施的多種食品質(zhì)量控制監(jiān)視系統(tǒng)中。NIRscan Nano光譜分析系統(tǒng)也因此成為一個(gè)多用途和強(qiáng)大工具；它將當(dāng)前實(shí)驗(yàn)室系統(tǒng)的準(zhǔn)確性與功能性和控制與使用的便攜性與靈活性組合在一起，或者它本身的準(zhǔn)確度和功能性已經(jīng)超過了目前的實(shí)驗(yàn)室系統(tǒng)，以便在現(xiàn)場執(zhí)行及時(shí)測量，這一組合有可能大大提高NIR光譜分析在農(nóng)業(yè)和食品行業(yè)應(yīng)用領(lǐng)域內(nèi)的效用。