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　　1引言

　　濕度傳感器是根據(jù)某種物質(zhì)從其周圍空氣中吸收水分后引起的物理或化學(xué)性質(zhì)的變化，從而獲得該物質(zhì)的吸水量和周圍空氣的濕度。

　　濕度傳感器分為電阻式和電容式兩種，產(chǎn)品的基本形式都是在基片涂覆感濕材料形成感濕膜。空氣中的水蒸汽吸附于感濕材料后，元件的阻抗、介質(zhì)常數(shù)發(fā)生很大的變化，從而制成濕敏元件。濕敏電容一般是用高分子薄膜電容制成的，由于它具有靈敏度高、產(chǎn)品互換性好、響應(yīng)速度快、濕度的滯后量小、便于制造、容易實(shí)現(xiàn)小型化和集成化，其精度一般比濕敏電阻要低一些。但電阻對(duì)溫度的敏感因而限制了器件在較大溫度范圍內(nèi)的應(yīng)用，因而電容濕度傳感器越來越受到重視。

　　2 濕敏元件及變送器芯片特性

　　目前， 生產(chǎn)濕敏電容的主要廠家是法國Humirel 公司。它生產(chǎn)的HS1101 測(cè)量范圍是0%～100%RH，電容量由162PF 變到200PF，其誤差不大于±2%RH;響應(yīng)時(shí)間小于5S;濕度系數(shù)為0.34PF/℃;年漂移量0.5%RH/年，長(zhǎng)期穩(wěn)定。圖1 為HS1101 濕敏電容的濕度-電容響應(yīng)曲線。

　　濕度變送器采用了美國 BB 公司生產(chǎn)的XTR105芯片，該變送器具有以下特點(diǎn)：

　　a 工作范圍寬;

　　b 測(cè)量精度高;

　　c 電路簡(jiǎn)單;

　　d 可靠性好，使用壽命長(zhǎng);

　　e 抗干擾能力強(qiáng);

　　f 工作溫度范圍寬(-40～+85℃)

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　　3 濕度測(cè)量電路

　　HS1101在電路中相當(dāng)于一個(gè)電容器件，它的電容量隨著所測(cè)空氣濕度的增加而增大，為了能將電容的變化轉(zhuǎn)換成電壓的變化，我們?cè)O(shè)計(jì)了振蕩電路、消除零點(diǎn)電容影響電路、整流電路、積分電路、電壓—電流轉(zhuǎn)換電路、放大電路等，其工作原理簡(jiǎn)圖如圖2 所示。

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　　3.1 振蕩電路

　　振蕩電路的作用是將電容的變化量轉(zhuǎn)化為頻率可變的方波。由圖3 可知，這是一個(gè)非對(duì)稱多諧振蕩器?；蚍情TG1 工作在電壓傳輸特性的轉(zhuǎn)折區(qū)，把它的輸出電壓直接連接到或非門G2 的輸入端。G2即可得到一個(gè)介于高低電平之間的靜態(tài)偏置電壓，從而使G2 的靜態(tài)工作點(diǎn)也處于電壓傳輸特性轉(zhuǎn)折區(qū)上。反饋環(huán)路中電容使電路在兩個(gè)暫穩(wěn)態(tài)之間往復(fù)振蕩。

　　由于電容充放電的時(shí)間T為2.2RC，所以輸出的方波頻率：

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　　可見輸出頻率和電容值成反比。通過這個(gè)電路使?jié)穸?a target="_blank">信號(hào)變?yōu)殡娙葜?，最后變?yōu)轭l率信號(hào)輸出。

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