復(fù)合慣性傳感器的工作原理

壓阻式復(fù)合加速度傳感器是利用硅半導(dǎo)體材料的壓阻效應(yīng)來實現(xiàn)對線加速度和角加速度的測量,其核心部分是慣性式彈性敏感元件的結(jié)構(gòu),它的結(jié)構(gòu)形式和性能直接決定傳感器的性能,本文研制的輪輻式復(fù)合加速度傳感器彈性體是一種整體式結(jié)構(gòu),如圖所示,由經(jīng)冷加工處理后加工而成,加配適當?shù)淖枘嵯到y(tǒng),座基及殼體,構(gòu)成一個壓阻式復(fù)合加速度傳感器.利用彈性梁的線性應(yīng)變響應(yīng)特性來實現(xiàn).

圖 ?敏感元件結(jié)構(gòu)原理圖
該彈性體由四根應(yīng)變梁和內(nèi)外輪緣構(gòu)成,中心基座支撐,外輪緣為質(zhì)量環(huán)$均布質(zhì)量為,每根應(yīng)變梁上貼片半導(dǎo)體箔式應(yīng)變片,平行于輪幅平面的相
對側(cè)面上的+個應(yīng)變片兩兩互連組橋構(gòu)成全橋電路可
敏感線加速度,產(chǎn)生的微應(yīng)變,垂直于輪幅平面的,個相對側(cè)面的應(yīng)變片組成的全橋電路可敏感角加速度
產(chǎn)生的微應(yīng)變,這種整體結(jié)構(gòu)體積小-重量輕,可消除徑向效應(yīng)#在外形尺寸相同的情況下,增加應(yīng)變梁的長度及將應(yīng)變梁采用開槽設(shè)計,都可提高傳感器的靈敏度.

壓阻式復(fù)合慣性加速度傳感器的研究