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關(guān)于太赫茲測(cè)試系統(tǒng)的介紹和說(shuō)明

羅德與施瓦茨中國(guó) ? 來(lái)源:djl ? 作者:Andrej Rumiantsev、T ? 2019-10-15 14:16 ? 次閱讀
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隨著諸如無(wú)創(chuàng)光譜檢測(cè)、安保監(jiān)控、近距車載雷達(dá)和5G通信等新興的太赫茲(THz)應(yīng)用的迅速發(fā)展,準(zhǔn)確、可靠和可重復(fù)的測(cè)量是非常關(guān)鍵的。尤其是對(duì)于器件的研發(fā)、集成電路和滿足太赫茲應(yīng)用需求的新產(chǎn)品模塊來(lái)說(shuō)至關(guān)重要。

本文討論了太赫茲頻率晶圓級(jí)校準(zhǔn)和測(cè)量的解決方案。對(duì)于測(cè)量?jī)x器的選擇、頻繁的系統(tǒng)重新設(shè)置問(wèn)題、影響校準(zhǔn)的準(zhǔn)確性和可重復(fù)性的操作技巧和計(jì)量分析測(cè)試數(shù)據(jù)的需求等提出了解決方案。

測(cè)試集成

次太赫茲頻率的測(cè)量為了切換頻段通常需要重復(fù)和繁瑣的系統(tǒng)重新設(shè)置。例如,探頭系統(tǒng)和矢量網(wǎng)絡(luò)分析儀(VNA)需要重新設(shè)置和重新校準(zhǔn)6次才能測(cè)量到750GHz(圖1)。對(duì)待測(cè)器件(DUT)進(jìn)行寬頻測(cè)量已經(jīng)成為極其耗時(shí)的工作。將次太赫茲VNA頻率拓展組件集成到探頭系統(tǒng)上的傳統(tǒng)方法需要抬起夾具和顯微鏡,這會(huì)降低系統(tǒng)機(jī)械穩(wěn)定性。同時(shí),提高測(cè)試頻率需要極其精準(zhǔn)地將射頻探頭定位在待測(cè)器件和標(biāo)準(zhǔn)校準(zhǔn)件的焊盤(pán)上。因此系統(tǒng)校準(zhǔn)的準(zhǔn)確性和可重復(fù)性隨頻率的升高呈指數(shù)型下降,待測(cè)器件的測(cè)定成為一項(xiàng)非常有挑戰(zhàn)性的工作。

關(guān)于太赫茲測(cè)試系統(tǒng)的介紹和說(shuō)明

圖1:使用MSG測(cè)量太赫茲晶體管,實(shí)現(xiàn)95%置信精度;測(cè)量頻率達(dá)到750GHz需要重置六次系統(tǒng)。數(shù)據(jù)由NIST的Dylan Williams提供。

如MPI公司TS150-THZ手動(dòng)測(cè)試系統(tǒng)集成了許多功能,以便解決太赫茲頻率晶圓級(jí)測(cè)量遇到的挑戰(zhàn)。這些功能包括無(wú)縫集成任何種類、任何頻點(diǎn)的VNA頻率拓展組件,以提供最大的測(cè)量動(dòng)態(tài)范圍和測(cè)量可重復(fù)性(圖2a)。這可通過(guò)直接在低剖面Z平面穩(wěn)定夾具表面安裝加脊探頭臺(tái)板的方法實(shí)現(xiàn)。這個(gè)方法可以使太赫茲射頻晶圓探頭直接安裝在VNA頻率拓展組件的波導(dǎo)輸出口(圖2b),以最大化測(cè)量動(dòng)態(tài)范圍。一個(gè)專用的楔形VNA拓展組件固定平臺(tái)用于方便更替這些組件(圖2c)。不必將固定平臺(tái)從拓展組件上拆卸下來(lái):由于其底部扁平,固定平臺(tái)和VNA拓展組件可以作為一個(gè)整體處理,放在實(shí)驗(yàn)室架子上或在柜子里供以后使用。

圖2:MPI公司TS150-THZ可測(cè)試330GHz的集成探頭系統(tǒng)和R&S公司ZVA系列VNA (a)。直接貼合在毫米波ZVA轉(zhuǎn)換器輸出端口的GGB波導(dǎo)探頭(b)。R&S ZVA-Z75的楔型接口和R&S ZVA-Z220頻率變換器(c)。圖片由羅德與施瓦茨公司提供。

為什么選擇多線TRL方法

美國(guó)國(guó)家標(biāo)準(zhǔn)與技術(shù)研究院(NIST)開(kāi)發(fā)的多線直通-反射-傳輸線(TRL)射頻校準(zhǔn)方法已經(jīng)成為專注于晶圓級(jí)別射頻測(cè)量的計(jì)量學(xué)和工業(yè)界實(shí)驗(yàn)室的標(biāo)準(zhǔn)方法。和其它校準(zhǔn)方法相比,其關(guān)鍵優(yōu)勢(shì)是校準(zhǔn)參考阻抗的計(jì)算,即ZREF,是通過(guò)測(cè)量沿校準(zhǔn)標(biāo)準(zhǔn)微帶線傳播的行波得出的。行波是由傳輸線種類和設(shè)計(jì)決定的純物理現(xiàn)象,和射頻探頭的形狀與設(shè)計(jì)無(wú)關(guān)。多線TRL算法可以準(zhǔn)確提取校準(zhǔn)傳輸線的傳輸系數(shù)γ。因此多線TRL可以將測(cè)試參考平面精確地設(shè)置到任何一點(diǎn)。多線TRL校準(zhǔn)件可以使用和待測(cè)器件相同的設(shè)計(jì)和半導(dǎo)體處理制造工藝。在晶圓上定制的多線TRL校準(zhǔn)件可以免去從器件接觸焊盤(pán)的寄生阻抗中剝離待測(cè)器件測(cè)試結(jié)果的麻煩。由于這些優(yōu)勢(shì),多線TRL是110GHz以上唯一能得到可信校準(zhǔn)結(jié)果的校準(zhǔn)方法。

為了覆蓋較寬的頻率范圍,校準(zhǔn)時(shí)需要用三根或更多根不同長(zhǎng)度的傳輸線。算上直通標(biāo)準(zhǔn)件和反射標(biāo)準(zhǔn)件,多線校準(zhǔn)工具箱包括多于五個(gè)元件。為了實(shí)現(xiàn)可重復(fù)性測(cè)量,使用這種校準(zhǔn)工具箱需要重復(fù)調(diào)整測(cè)微定位器和重復(fù)地將探頭放在接觸焊盤(pán)上。通常在毫米波段依靠手動(dòng)探頭系統(tǒng)難以獲得準(zhǔn)確且可重復(fù)的多線TRL校準(zhǔn),尤其是由幾個(gè)經(jīng)驗(yàn)水平不同的用戶操作。TS150-THZ系統(tǒng)提供了集成數(shù)字測(cè)微尺的方案,可以簡(jiǎn)化校準(zhǔn)過(guò)程。TRL算法通常將標(biāo)準(zhǔn)直通件視為0長(zhǎng)度傳輸線。每個(gè)其它的傳輸線的有效長(zhǎng)度,?l,根據(jù)標(biāo)準(zhǔn)傳輸件的長(zhǎng)度進(jìn)行定義(圖3a)。操作者在標(biāo)準(zhǔn)直通件上最初調(diào)整好探頭后,簡(jiǎn)單地將數(shù)字測(cè)微尺置零(圖3b)。下一步,射頻探頭之間的距離被重新設(shè)置為需要的?l值(表1),其精度誤差小于1 μm。因此,此系統(tǒng)提升了校準(zhǔn)的準(zhǔn)確性和可重復(fù)性的同時(shí)降低了設(shè)置的時(shí)間,甚至可以由沒(méi)有經(jīng)驗(yàn)的操作者使用。

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圖3:標(biāo)準(zhǔn)傳輸線?l的TRL定義(a)。MP80-DX測(cè)微定位器和X軸上的數(shù)字測(cè)微計(jì)(b)。

表1:使用CS15氧化鋁校準(zhǔn)基材的共面波導(dǎo)傳輸線
標(biāo)準(zhǔn)類型 物理長(zhǎng)度(μm) 有效長(zhǎng)度(μm) ?l(μm)
直通 175 150 0
傳輸線1(L2) 250 225 75
傳輸線2(L3) 355 330 180
傳輸線3(L4) 575 550 400
傳輸線4(L5) 1025 1000 850
傳輸線5(#10) 6600 6575 6425

StatistiCAL Plus是NIST開(kāi)發(fā)的軟件包,用于實(shí)現(xiàn)傳統(tǒng)的多線TRL測(cè)量和基于正交距離回歸的校準(zhǔn)。此算法由NIST和德國(guó)聯(lián)邦物理技術(shù)研究院(PTB)共同開(kāi)發(fā)。此算法的獨(dú)特之處是能夠估計(jì)由隨機(jī)誤差導(dǎo)致的自身測(cè)試結(jié)果的不確定性。StatistiCAL Plus算法的特點(diǎn)是具有高度的健壯性,即使根據(jù)較差的最初估計(jì)也能得出計(jì)算結(jié)果。NIST微波不確定性框架在StatistiCAL Plus軟件基礎(chǔ)上進(jìn)行了擴(kuò)展,增加了根據(jù)不同模型計(jì)算和傳輸相關(guān)數(shù)據(jù)等后處理功能。此框架包括的后處理模塊,可以將測(cè)量得到的S參數(shù)中的不確定性傳播到晶體管增益、功率、材料參數(shù)和其它導(dǎo)出的測(cè)量結(jié)果和指標(biāo)中。公司為計(jì)量學(xué)家和微波測(cè)試專家開(kāi)發(fā)了兩種軟件包,用于離線后處理測(cè)試數(shù)據(jù),即無(wú)需連接VNA、探頭系統(tǒng)和器件測(cè)試軟件。他們將典型的工業(yè)界或?qū)W術(shù)界測(cè)量實(shí)驗(yàn)室的應(yīng)用,集成為一個(gè)通用的自動(dòng)化測(cè)量流程,需要大量的編程和豐富的微波計(jì)量的經(jīng)驗(yàn)。

目前,StatistiCAL Plus軟件中NIST的多線TRL計(jì)量VNA校準(zhǔn)方法可以通過(guò)MPI公司的QAlibria軟件獲得。兩種軟件包聯(lián)手處理系統(tǒng)校準(zhǔn)和數(shù)據(jù)流分析的工作(圖4):QAlibria負(fù)責(zé)和VNA、探頭系統(tǒng)和操作者交互。與此同時(shí)StatistiCAL Plus在后臺(tái)運(yùn)行,計(jì)算校準(zhǔn)誤差和不確定性。通過(guò)QAlibria的多點(diǎn)觸摸和多語(yǔ)言用戶圖像交互界面,設(shè)置錯(cuò)誤的可能被降至最低,即使無(wú)經(jīng)驗(yàn)的用戶也能獲得準(zhǔn)確的校準(zhǔn)結(jié)果。

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圖4:系統(tǒng)校準(zhǔn)數(shù)據(jù)流圖。

計(jì)算多線TRL誤差需要關(guān)于校準(zhǔn)標(biāo)準(zhǔn)件的初始信息,例如標(biāo)準(zhǔn)反射件的種類(即開(kāi)路、短路或強(qiáng)反射)、標(biāo)準(zhǔn)傳輸線的物理長(zhǎng)度和有效介電常數(shù)的初始估計(jì)。StatistiCAL算法需要最初的誤差估計(jì)和一些NIST ODRPACK計(jì)算引擎的特殊設(shè)置。

這些定義由QAlibria自動(dòng)完成,并作為StatistiCAL Plus的校準(zhǔn)目錄文件QAlibriaMenuNIST.scm存儲(chǔ)在本地件夾中:MPIQAlibriaDataStatistiCAL。這個(gè)文件夾也包含由QAlibria測(cè)得的標(biāo)準(zhǔn)件原始數(shù)據(jù)(在\_input目錄下)和由StatistiCAL計(jì)算出的校準(zhǔn)矢量結(jié)果,自動(dòng)存儲(chǔ)為\_output目錄下Solution.txt文件。等StatistiCAL Plus完成計(jì)算,QAlibria調(diào)用矢量結(jié)果,并且將誤差值發(fā)送給VNA。此系統(tǒng)無(wú)需用戶操作便可完成全部校準(zhǔn)工作。

重復(fù)性和可復(fù)現(xiàn)性

目前市場(chǎng)上MPI手動(dòng)系統(tǒng)的共同之處包括:一個(gè)空氣軸承平臺(tái),一個(gè)由三個(gè)分立定位儀支撐的高可重復(fù)性平臺(tái),和自動(dòng)接觸的功能。后者的功能對(duì)于改進(jìn)待測(cè)器件測(cè)量數(shù)據(jù)的接觸可重復(fù)性和可復(fù)現(xiàn)性來(lái)說(shuō)尤為重要,且和操作者的專業(yè)性無(wú)關(guān)。圖5是使用GGB工業(yè)公司CS15商業(yè)氧化鋁校準(zhǔn)基材和波導(dǎo)射頻探頭,進(jìn)行集總傳輸線-反射-匹配(LRM)校準(zhǔn)的重復(fù)性和多線TRL校準(zhǔn)的重復(fù)性對(duì)比。LRM方法由同一個(gè)經(jīng)驗(yàn)豐富的操作者連續(xù)校準(zhǔn)兩次。使用校準(zhǔn)比較方法計(jì)算這兩次校準(zhǔn)的區(qū)別。因?yàn)檫@兩次校準(zhǔn)是連續(xù)進(jìn)行的,系統(tǒng)漂移被降到了最低,校準(zhǔn)比較方法給出的結(jié)果主要是反映了LRM校準(zhǔn)的重復(fù)性誤差。下一步,進(jìn)行四次多線TRL校準(zhǔn),兩次是由有經(jīng)驗(yàn)的操作者校準(zhǔn),另外兩次由無(wú)經(jīng)驗(yàn)的操作者校準(zhǔn)。每次數(shù)字測(cè)微尺都被用于測(cè)定表1中每條校準(zhǔn)線的?l。由兩個(gè)操作者進(jìn)行的多線TRL校準(zhǔn)最大可重復(fù)性誤差明顯小于由一個(gè)操作者進(jìn)行的LRM校準(zhǔn)誤差。

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圖5:集總LRM校準(zhǔn)可重復(fù)性和在TS150-THZ搭配MP80-DX組件進(jìn)行多線TRL校準(zhǔn)的操作誤差對(duì)比。

多線TRL可以準(zhǔn)確提取校準(zhǔn)傳輸線的傳播系數(shù)γ,也易于計(jì)算有效介電常數(shù)εeff。NIST的StatistiCAL Plus可以將每條傳輸線的εeff實(shí)部和虛部繪成圖表并計(jì)算其平均值(圖6)。這個(gè)功能對(duì)于迅速確認(rèn)和調(diào)試校準(zhǔn)結(jié)果非常有幫助。如有需要,校準(zhǔn)數(shù)據(jù)可以圖表或數(shù)據(jù)的方式導(dǎo)出,以便進(jìn)一步分析。另外一種迅速檢查校準(zhǔn)是否成功的方法是對(duì)校準(zhǔn)所用的標(biāo)準(zhǔn)傳輸線和標(biāo)準(zhǔn)反射件的修正后的S參數(shù)進(jìn)行確認(rèn)(圖7和8)。

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圖6:StatistiCAL Plus(調(diào)試模式)計(jì)算和顯示的有效介電常數(shù)εeff的實(shí)部和虛部。

圖7:CS15校準(zhǔn)基材上的標(biāo)準(zhǔn)共面波導(dǎo),探頭由GGB工業(yè)公司提供。直通(a)、短路(b)、傳輸線2 (c)和傳輸線3 (d)。

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圖8:CS15共面波導(dǎo)標(biāo)準(zhǔn)傳輸線(a)和標(biāo)準(zhǔn)短路件(b)修正后結(jié)果。

在需要對(duì)待測(cè)器件的測(cè)試數(shù)據(jù)、校準(zhǔn)和測(cè)試不確定性誤差進(jìn)行進(jìn)一步分析時(shí),StatistiCAL Plus矢量解法可以直接安裝到NIST不確定性框架的Calibrate DUT Plus工具里面(圖9)??梢杂糜谟?jì)算待測(cè)器件的參數(shù),包括95%置信精度的標(biāo)準(zhǔn)不確定性。校準(zhǔn)不確定性協(xié)方差矩陣也可以由StatistiCAL Plus菜單欄導(dǎo)出(圖10)。

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圖9:NIST不確定性框架包提供的Calibrate DUT Plus工具

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圖10:從StatistiCAL Plus中導(dǎo)出校準(zhǔn)殘余誤差協(xié)方差矩陣。

結(jié)論

為了證明此系統(tǒng)的能力,測(cè)量了夫瑯禾費(fèi)研究所應(yīng)用固態(tài)物理學(xué)實(shí)驗(yàn)室開(kāi)發(fā)的一個(gè)四級(jí)325GHz毫米波單片集成低噪聲放大器(MMIC LNA)(圖11)。|S21|參數(shù)的測(cè)量結(jié)果具有±95%置信精度。晶圓級(jí)別頻率高達(dá)太赫茲的測(cè)量對(duì)系統(tǒng)集成、校準(zhǔn)、操作和數(shù)據(jù)分析提出了新的需求。由底層設(shè)計(jì)的晶圓探針系統(tǒng)整合了許多新功能,以便簡(jiǎn)化系統(tǒng)操作和重新設(shè)置系統(tǒng),并且可以最大化測(cè)量動(dòng)態(tài)范圍和可復(fù)現(xiàn)性。

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圖11:夫瑯和費(fèi)研究所325GHz四級(jí)單片微波集成電路低噪聲放大器(a)和±95%置信精度的S21測(cè)試結(jié)果(b)。

通過(guò)集成NIST的StatistiCAL Plus軟件和NIST的不確定性框架,首次實(shí)現(xiàn)了高精度計(jì)量系統(tǒng)的校準(zhǔn)簡(jiǎn)化、器件測(cè)量和數(shù)據(jù)分析。模塊化的熱力和非熱力夾具、高級(jí)射頻配件(例如射頻測(cè)微定位器、射頻線纜、校準(zhǔn)基材和射頻探頭)、新的校準(zhǔn)技術(shù)和近距離將VNA集成到探針系統(tǒng),組成了一個(gè)完整的測(cè)試解決方案,滿足了太赫茲探索中復(fù)雜性和準(zhǔn)確性的需求。

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    上海光機(jī)所在強(qiáng)場(chǎng)赫茲對(duì)砷化鎵偶次諧波調(diào)控研究方面取得新進(jìn)展

    圖1. 強(qiáng)場(chǎng)赫茲波的產(chǎn)生及物質(zhì)調(diào)控信號(hào)測(cè)量裝置 (a)實(shí)驗(yàn)光路;(b)泵浦光光譜;(c)赫茲頻譜。 近期,中國(guó)科學(xué)院上海光學(xué)精密機(jī)械研究所強(qiáng)場(chǎng)激光物理國(guó)家重點(diǎn)實(shí)驗(yàn)室在強(qiáng)場(chǎng)THz脈沖
    的頭像 發(fā)表于 05-20 09:31 ?484次閱讀
    上海光機(jī)所在強(qiáng)場(chǎng)<b class='flag-5'>太</b><b class='flag-5'>赫茲</b>對(duì)砷化鎵偶次諧波調(diào)控研究方面取得新進(jìn)展

    Keysight是德示波器從低頻到赫茲的全頻段測(cè)量解決方案

    在電子測(cè)量領(lǐng)域,示波器作為信號(hào)分析的核心工具,其性能邊界始終與科技發(fā)展同步演進(jìn)。從音頻信號(hào)的毫赫茲頻段到赫茲通信的亞毫米波頻段,不同應(yīng)用場(chǎng)景對(duì)示波器的帶寬、采樣率、動(dòng)態(tài)范圍提出了差異化需求。作為
    的頭像 發(fā)表于 05-12 15:28 ?886次閱讀
    Keysight是德示波器從低頻到<b class='flag-5'>太</b><b class='flag-5'>赫茲</b>的全頻段測(cè)量解決方案

    6G亞太赫茲通信測(cè)試解決方案

    近日,國(guó)內(nèi)首臺(tái)赫茲/6G大容量無(wú)線超網(wǎng)基站在石家莊鐵塔公司試點(diǎn)成功,這標(biāo)志著中國(guó)在赫茲無(wú)線通信技術(shù)領(lǐng)域取得了重大新突破。
    的頭像 發(fā)表于 04-24 16:45 ?921次閱讀
    6G亞太<b class='flag-5'>赫茲</b>通信<b class='flag-5'>測(cè)試</b>解決方案

    西安光機(jī)所在赫茲超表面逆向設(shè)計(jì)領(lǐng)域取得新進(jìn)展

    高精度超表面逆向設(shè)計(jì)方法及透射/反射雙功能的寬頻段聚焦渦旋光產(chǎn)生器示意圖 近日,中國(guó)科學(xué)院西安光機(jī)所超快光科學(xué)與技術(shù)全國(guó)重點(diǎn)實(shí)驗(yàn)室在赫茲頻段超表面逆向設(shè)計(jì)領(lǐng)域取得新進(jìn)展,相關(guān)研究成果以《High
    的頭像 發(fā)表于 04-22 06:12 ?575次閱讀
    西安光機(jī)所在<b class='flag-5'>太</b><b class='flag-5'>赫茲</b>超表面逆向設(shè)計(jì)領(lǐng)域取得新進(jìn)展

    聊城大學(xué)/深圳大學(xué)/南京大學(xué):三強(qiáng)聯(lián)手——赫茲傳感領(lǐng)域再添利器!

    研究背景 在第五代(5G)技術(shù)的基礎(chǔ)上,第六代(6G)網(wǎng)絡(luò)的發(fā)展正推動(dòng)無(wú)線通信技術(shù)邁向更高的數(shù)據(jù)吞吐量和更低的延遲。6G網(wǎng)絡(luò)預(yù)計(jì)將在赫茲(THz)頻段運(yùn)行,這為實(shí)現(xiàn)超高速通信和精確傳感提供了巨大
    的頭像 發(fā)表于 04-20 17:47 ?499次閱讀
    聊城大學(xué)/深圳大學(xué)/南京大學(xué):三強(qiáng)聯(lián)手——<b class='flag-5'>太</b><b class='flag-5'>赫茲</b>傳感領(lǐng)域再添利器!

    赫茲細(xì)胞能量?jī)x主控芯片方案單片機(jī)開(kāi)發(fā)控制板布局規(guī)劃

    赫茲細(xì)胞理療儀的工作原理及使用方法  赫茲(THZ)是指頻率在0.1一10THZ之間的電磁波,其波段是介于紅外線和微波之間 ,
    發(fā)表于 03-25 15:37

    赫茲無(wú)線通信介紹

    無(wú)線通信系統(tǒng)從 1980 年代的第一代發(fā)展到最近的第五代 (5G),一直是推動(dòng)這項(xiàng)技術(shù)在通信和我們?nèi)粘I罘矫娓淖兪澜绲尿?qū)動(dòng)力。
    的頭像 發(fā)表于 03-20 10:06 ?927次閱讀

    上海光機(jī)所在集成化高重頻赫茲光源研究方面取得進(jìn)展

    圖1. (a)赫茲產(chǎn)生和探測(cè)實(shí)驗(yàn)裝置圖,(b)展寬前(青色)和展寬后(品紅色)的激光光譜,(c)壓縮后激光脈沖寬度(藍(lán)色)和相位(橙色)。 近期,中國(guó)科學(xué)院上海光學(xué)精密機(jī)械研究所強(qiáng)場(chǎng)激光
    的頭像 發(fā)表于 02-26 06:23 ?645次閱讀
    上海光機(jī)所在集成化高重頻<b class='flag-5'>太</b><b class='flag-5'>赫茲</b>光源研究方面取得進(jìn)展

    三種赫茲波的產(chǎn)生方式

    本文簡(jiǎn)單介紹了三種赫茲波的產(chǎn)生方式。 赫茲波(THz)是一種電磁波,在電磁波譜上位于紅外與微波之間。
    的頭像 發(fā)表于 02-17 09:09 ?2976次閱讀
    三種<b class='flag-5'>太</b><b class='flag-5'>赫茲</b>波的產(chǎn)生方式

    用于赫茲到光頻率快速頻譜分析的1GHz單腔雙光梳激光器

    自由空間赫茲時(shí)域光譜學(xué)分析和厚度測(cè)量的。對(duì)于b)我們使用高效的摻鐵InGaAs光電天線來(lái)產(chǎn)生和檢測(cè)赫茲光。這里我們首次使用高效的基于釔的千兆赫重復(fù)頻率激光器來(lái)操作這些設(shè)備。一個(gè)光學(xué)
    的頭像 發(fā)表于 01-23 10:06 ?1206次閱讀
    用于<b class='flag-5'>太</b><b class='flag-5'>赫茲</b>到光頻率快速頻譜分析的1GHz單腔雙光梳激光器