佛羅里達(dá)州FORT LAUDERDALE - Lambda Physik推出了一種專(zhuān)為氟設(shè)計(jì)的新型激光管(F 2 )157nm激光操作。據(jù)該公司稱(chēng)，DuraTube基于該公司的NovaTube技術(shù)，這是一種金屬/陶瓷設(shè)計(jì)，幾乎可以消除部件腐蝕和氣體污染。

DuraTube針對(duì)氣體循環(huán)幾何和部件進(jìn)行了優(yōu)化，增加了F 的氣體壽命2 操作。例如，LPF激光器的氣體壽命已經(jīng)以能量恒定模式測(cè)量，超過(guò)2000萬(wàn)個(gè)脈沖，Lambda Physik聲稱(chēng)。

Lambda Physik表示，F(xiàn) 2 激光技術(shù)的這一突破提供了最高的市售氣體壽命和可靠性，無(wú)需低溫氣體凈化。所有Lambda Physik F 2 激光器，包括LPF，OPTex，NovaLine F600和NovaLine 1000系列，都配備了新的DuraTube。

DuraTube裝配有特殊的諧振鏡配件(除OPTex外，便于鏡像交換，并結(jié)合高度隔離的光路。所有LPF和NovaLine F2激光器都標(biāo)配VUV適配器，用于完全隔離光束路徑和能量監(jiān)視器。

氣體壽命的增加與能量穩(wěn)定相結(jié)合，對(duì)于157 nm的F 2 激光加工具有顯著的優(yōu)勢(shì)，這需要最大的性能，可靠性和效率。 Lambda Physik的F 2 激光器針對(duì)157 nm的光學(xué)測(cè)試或深UV光刻。優(yōu)化的DuraTube性能使激光系統(tǒng)的正常運(yùn)行時(shí)間顯著延長(zhǎng)，從而降低了用戶的運(yùn)行成本。