有些固體材料在某一軸向受到外力作用時(shí)，除了產(chǎn)生變形外，其電阻率ρ也要發(fā)生變化，這種由于應(yīng)力的作用而使材料電阻率發(fā)生變化的現(xiàn)象稱為壓阻效應(yīng)。半導(dǎo)體材料的壓阻效應(yīng)特別強(qiáng)。利用壓阻效應(yīng)制成的傳感器稱為壓阻式傳感器。

壓阻式傳感器是利用半導(dǎo)體材料的壓阻效應(yīng)而制成的一種純電阻性元件。它主要有三種類型：體型、薄膜型和擴(kuò)散型。

1、體型壓阻傳感器

利用半導(dǎo)體材料電阻制成粘貼式的應(yīng)變片（半導(dǎo)體應(yīng)變片），用此應(yīng)變片制成的傳感器稱為半導(dǎo)體應(yīng)變式傳感器，其工作原理是基于半導(dǎo)體材料的壓阻效應(yīng)。這是一種將半導(dǎo)體材料硅或鍺晶體按一定方向切割成的片狀小條，經(jīng)腐蝕壓焊粘貼在基片上而成的應(yīng)變片，其結(jié)構(gòu)如圖。

2、薄膜型壓阻傳感器

薄膜型壓阻傳感器是利用真空沉積技術(shù)將半導(dǎo)體材料沉積在帶有絕緣層的試件上而制成的，結(jié)構(gòu)如圖。

3、擴(kuò)散型壓阻傳感器

擴(kuò)散型壓阻傳感器是在半導(dǎo)體材料的基片上利用集成電路工藝制成擴(kuò)散電阻。將P型雜質(zhì)擴(kuò)散到N型硅單晶基底上，形成一層極薄的P型導(dǎo)電層，再通過(guò)超聲波和熱壓焊法接上引出線就形成了擴(kuò)散型半導(dǎo)體應(yīng)變片。