據(jù)麥姆斯咨詢報道，全球半導體測試分選機制造商、測試自動化技術服務創(chuàng)新供應商波士頓半導體設備公司（BSE）宣布其Zeus重力進料分選機已增強性能，能夠處理具有多個端口的超低壓微機電系統(tǒng)（MEMS）器件。最先受益于這種新型MEMS處理能力的是一家健康監(jiān)測系統(tǒng)制造商，他們選擇BSE公司的Zeus壓力MEMS分選機解決方案，是因其能帶來超低壓激勵和更高的吞吐量。與現(xiàn)有的解決方案相比，Zeus壓力MEMS分選機速度更快、經(jīng)濟效益更高、占地面積更小。汽車、醫(yī)療、工業(yè)和消費市場通過BSE公司的Zeus壓力MEMS分選機處理壓力傳感器，可以提高效率、降低測試成本。

“BSE公司的新型低壓MEMS解決方案在分選機的測試現(xiàn)場就可以直接向IC提供0至18英寸水柱的壓力激勵，這極大提高了客戶的測試單元吞吐量?！盉SE公司營銷副總裁Kevin Brennan表示，“Zeus壓力MEMS分選機的獨特之處在于它可以進行真正的壓差測試。BSE設計的壓力激勵比其它解決方案更快速、準確地達到所需的壓力設定值，這使用于MEMS器件的Zeus壓力MEMS分選機成為一項成功的投資?！?/p>

Zeus壓力MEMS分選機可以激勵產(chǎn)生包括0至18英寸水柱、0至3 PSIA的真空壓力，最高可激勵150 PSI的壓力。目前，BSE正致力于開發(fā)一項70巴壓強水平的激勵方案。Zeus壓力MEMS分選機是一種三溫分選機，最多可配置八個測試站點，使用液氮（LN2）或BSE設計的兩級冷卻器MR2可以實現(xiàn)低溫測試。Zeus壓力MEMS分選機兼具測試單元所需的功能與特性，并由BSE公司全球服務團隊提供支持。