那么晶圓為什么是圓形而不是矩形的呢?特別是我們見到的CPU和GPU裸Die都是矩形,如果晶圓不是圓形而是矩形豈不是理論上可以完全無浪費(fèi)的切割成小片,不是更好嗎?
這需要從晶圓的制造過程說起。
在將二氧化硅礦石與炭混合經(jīng)由加熱發(fā)生氧化還原反應(yīng)之后,就可以得到粗硅了,但是這時(shí)候得到的粗硅純度還不能用于制作集成電路。接下來把粗硅經(jīng)鹽酸氯化并經(jīng)蒸餾后則可以進(jìn)一步得到純度更高的多晶硅,再接下來就有一個(gè)很重要的獲取單晶材料的晶體生長(zhǎng)方法了,它被稱為柴可拉斯基法,是目前主要的獲取單晶材料的晶體生長(zhǎng)方法,利用它可以將多晶硅變成單晶硅。
做法是將前面得到的多晶硅熔解,將晶種(或稱“籽晶”)置于一根精確定向的棒的末端,并使末端浸入熔融狀態(tài)的硅。然后,將棒緩慢地向上提拉,同時(shí)進(jìn)行旋轉(zhuǎn)。對(duì)棒的溫度梯度、提拉速率、旋轉(zhuǎn)速率進(jìn)行精確控制,那么就可以在棒的末端得到一根較大的、圓柱體狀(確切的說是像兩頭削尖了的鉛筆的形狀)的單晶硅晶棒。
硅晶棒再經(jīng)過切片、研磨、拋光后,即成為集成電路芯片的基本原料——硅晶圓片,就是“晶圓”。它經(jīng)由圓柱體切片而來,所以是圓形。
晶圓是圓形主要是因?yàn)榧呻娐沸酒枰獑尉Ч?,而?shí)現(xiàn)單晶硅主要靠柴可拉斯基法,大家可以記住這個(gè)方法的名稱,它得名于波蘭科學(xué)家揚(yáng)·柴可拉斯基,他是于1916年研究金屬的結(jié)晶速率時(shí),發(fā)明了這種方法?,F(xiàn)在,柴可拉斯基法已經(jīng)演變?yōu)殇撹F工廠的標(biāo)準(zhǔn)制程之一。
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晶圓
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