作為國內(nèi)最大最先進的晶圓代工廠，中芯國際SMIC在疫情疫情期間依然沒有停產(chǎn)，同時還在擴大14nm等先進工藝產(chǎn)能。日前羊城晚報報道稱，中芯國際進口的荷蘭ASML光刻機順利入廠。

據(jù)報道，這次購買光刻機的是中芯國際集成電路制造（深圳）有限公司，昨天他們從荷蘭進口的一臺大型光刻機順利通過出口加工區(qū)場站兩道閘口進入廠區(qū)。

據(jù)悉，這臺機器主要用于企業(yè)復(fù)工復(fù)產(chǎn)后的生產(chǎn)線擴容。

中芯國際表示，坪山海關(guān)一系列服務(wù)措施，保障了設(shè)備第一時間進入廠區(qū)完成安裝進入生產(chǎn)，生產(chǎn)線擴容后全年預(yù)計可為企業(yè)增加10%左右的營收。

報道沒有提及中芯國際購買的光刻機的詳情，不過肯定可以排除最新的EUV光刻機，現(xiàn)在進口的應(yīng)該還是193nm波長的DUV系列光刻機。

ASML的DUV光刻機型號

雖然沒有EUV技術(shù)，但ASML的沉浸式DUV光刻機依然可以制造28nm到7nm之間的各種芯片，中芯國際此前也表態(tài)下兩代工藝N+1、N+2（相當(dāng)于7nm LPE低功耗、7nm LPP高性能）也不會上EUV光刻機。

與EUV光刻機動輒1億美元以上的售價相比，DUV光刻機要便宜很多，但也要3000-5000萬美元，還要有數(shù)目不菲的安裝服務(wù)費用，足以讓很多小公司望而卻步。

中芯國際沒有公布擴產(chǎn)的工藝具體是什么，但99%可能是14nm工藝，這是2020年中芯國際重點中的重點，去年底產(chǎn)能不過1000片/月，今年3月將達到4K，7月達到9K，12月達到15K。

根據(jù)中芯國際聯(lián)席CEO梁孟松的說法，1000片/月的產(chǎn)能就差不多要1億美元的投入，15K晶圓/月的產(chǎn)能意味著15億美元的投資。

放在以前，這樣的投資是不劃算的，不過現(xiàn)在這兩年情況不同了，中芯國際的14nm及未來的7nm工藝無論如何都是要上的。