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為什么只有ASML才能制造出頂級光刻機,其技術難度有多高

獨愛72H ? 來源:網絡整理 ? 作者:佚名 ? 2020-04-19 23:43 ? 次閱讀
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(文章來源:網絡整理)
大家都知道,目前我國光刻機技術至少落后荷蘭ASML15年,目前荷蘭ASML的頂級光刻機可以達到7nm工藝,目前他們正大研發(fā)5nm工藝光刻機;而中國目前能夠量產的光刻機是90nm的工藝,差了10幾倍,光刻機制造真的有這么難嗎?

光刻設備是一種投影曝光系統,由紫外光源、光學鏡片、對準系統等部件組裝而成。在芯片制造過程中,通過投射光束,穿過印著圖案的掩模及光學鏡片,將線路圖曝光在帶有光感涂層的硅晶圓上;然后通過蝕刻曝光等等步驟,形成芯片;這里有幾個重要的因素:光源,鏡頭,對準系統等等。制造這么高精端的光刻機,它有著:德國蔡司供應的鏡頭;在光源設備上美國公司的供貨;而且大量來自于海力士也不斷向ASML提供技術支持;這么多技術廠商的支持,加上ASML本身的組裝技術,所以ASML能夠一直位于世界第一,生產的光刻機也是最頂級的。

光刻機技術是世界上最尖端的技術之一,只有很少的國家掌握,所以光刻機是非常昂貴的,一臺高端的光刻機可以賣到1.2億美元左右,目前全球最貴的光刻機是:EUV光刻機,單臺售價超過1.2億美元,雖然賣這么貴,但還是供不應求,很多EUV光刻機訂單都是排隊生產,甚至有部分國家就算給再多的錢也買不到。

目前ASML是全球唯一能夠達到7納米精度光刻機的提供商,所以說ASML是全球芯片業(yè)真正的超級霸主一點都不過分。

目前在全球45納米以下高端光刻機市場當,荷蘭ASML也占了80%以上,而且這個占比每的還在持續(xù)增長,目前全球知名芯片廠商包括英特爾、三星、臺積電、SK海力士、聯電、格芯、中芯國際、華虹宏力、華力微等等全球一線公司都是ASML的客戶。雖然ASML是一家荷蘭公司,但他背后卻有著歐盟以及美國的力量,多關鍵技術都由美國以及歐盟國家提供。比如德國先進的機械工藝以及世界級的蔡司鏡頭,再加上美國提供的光源,這就使得ASML公司在光科技術方面飛速發(fā)展,幾乎到達了無人能敵的境地。

因為背后有美國的力量,所以ASML一直以來都禁止向中國出口高端光刻機,直到2018年這一情況才有所轉機,2018年ASML同意向中國出口兩臺7納米的高端光刻機,預計2019年交貨。

那ASML為什么反常的同意向中國出口高端光刻機呢?,一因為中國在光刻機的一些關鍵技術上已經取得了突破,目前中國已經成功研制出22nm超分辨的光刻機,可以生產14nm工藝的芯片,雖然和ASML的7nm工藝還有不小的差距,但我們一直在努力 ,相信不久將來,我們會在光刻機技術上達到世界頂級水平。
(責任編輯:fqj)

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