近日，由電科裝備所屬北京中電科公司牽頭承擔的國家02科技重大專項 “300mm超薄晶圓減薄拋光一體機研發(fā)與產業(yè)化” 項目順利通過國家科技部的正式驗收。

目前，國產300mm超薄晶圓減薄拋光一體機正在國內封裝龍頭企業(yè)實現(xiàn)工藝應用，各方面性能達到國際同類設備水平，滿足先進封裝工藝需求，大幅降低了國內封裝廠的采購成本。

在國家02科技重大專項的支持下，北京中電科公司歷經α、β、γ機型三個階段，攻克超薄晶圓減薄的核心技術、壓力控制技術、亞微米清洗技術以及薄片傳輸等關鍵技術，取得上百項國內發(fā)明專利，三項國際發(fā)明專利，成功研發(fā)出國內首臺具有自主知識產權并滿足大生產的300mm減薄拋光一體機，具備晶圓粗磨、精磨、非接觸測量、拋光、清洗、傳輸、保護膜處理等全自動流片能力。

中電科公司“300mm超薄晶圓減薄拋光一體機研發(fā)與產業(yè)化”項目順利通過驗收；航天工程公司國家級重點專項日投煤3500噸氣化爐的輻射廢鍋內件出廠；中冶京誠“基于大數據的鋼鐵生產全流程質量分析系統(tǒng)研究與應用”科技成果通過評價。4月以來，北京經開區(qū)企業(yè)科技創(chuàng)新好消息不斷，面向世界高技術前沿、面向國家戰(zhàn)略需求的“硬核”產品和技術取得積極進展，創(chuàng)新驅動發(fā)展不斷邁出新步伐。

日常生活中使用的超薄手機、電腦等電子設備的生產都離不開減薄拋光一體機，這款設備此前一直被國外公司壟斷。

在國家02科技重大專項的支持下，中電科公司對工藝需求進行項目攻關，突破關鍵技術、系統(tǒng)集成、工藝驗證與優(yōu)化，歷經三個階段，攻克超薄晶圓減薄的核心技術、壓力控制技術、亞微米清洗技術以及薄片傳輸等關鍵技術，取得上百項國內發(fā)明專利、3項國際發(fā)明專利，成功研發(fā)出國內首臺具有自主知識產權并滿足大生產的300mm減薄拋光一體機。目前，該型減薄拋光一體機正在國內封裝龍頭企業(yè)實現(xiàn)工藝應用，大幅降低了國內封裝廠的采購成本。

4月16日，從路東區(qū)的航天長征化學工程股份有限公司傳來喜訊，其承擔的科技部國家級重點研發(fā)計劃“煤炭清潔高效利用和新型節(jié)能技術‘重點專項’大規(guī)模干煤粉氣流床氣化技術開發(fā)及示范”項目——日投煤3500噸氣化爐的輻射廢鍋內件出廠。該爐型為目前世界最大級別的粉煤氣化爐。

據了解，日投煤量3500噸氣化爐是航天工程公司為大規(guī)模干煤粉氣流床氣化技術開發(fā)及示范項目設計研發(fā)的超大型粉煤氣化爐。該爐型具有產量更大、技術指標更優(yōu)、一次性投資更省、運行成本更低、環(huán)保水平更高等優(yōu)勢，代表著現(xiàn)代煤化工最先進的煤氣化技術水平。

在中冶京誠，公司完成的“基于大數據的鋼鐵生產全流程質量分析系統(tǒng)研究與應用”日前通過中國金屬學會評價，一致認為該技術達到了國際先進水平。該成果針對目前鋼鐵企業(yè)在質量管控和分析方面面臨的共性問題，利用大數據及人工智能技術，突破了傳統(tǒng)IT信息化系統(tǒng)框架結構、技術方法、適用領域等局限性，研究成果已在濟源鋼鐵、中國一重、江陰興澄特鋼等多個不同類型的企業(yè)成功應用。

深耕核心技術，打造“硬核”產品。相關負責人說，北京經開區(qū)堅持圍繞關鍵核心技術突破，實施“白菜心”工程，發(fā)布關鍵核心技術攻關清單，重點推進國家集成電路創(chuàng)新中心、京津冀綜合創(chuàng)新中心建設，圍繞產業(yè)鏈部署創(chuàng)新鏈，構建良好的創(chuàng)新生態(tài)，努力推動創(chuàng)新工作取得突破。

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