配氣系統(tǒng)裝置是將兩種或兩種以上氣體按一定比例進(jìn)行配比混合，輸出設(shè)定濃度氣體的儀器，多應(yīng)用與在環(huán)境與健康監(jiān)測(cè)以及科研、教學(xué)、測(cè)量等機(jī)構(gòu)中。隨著科學(xué)技術(shù)的發(fā)展，人們對(duì)配氣儀表的要求越來(lái)越高，目前市場(chǎng)上常用的配氣儀表是三通電磁閥控制型。

三通電磁閥控制的配氣系統(tǒng)主要是利用單片機(jī)根據(jù)所需氣體的配比要求，控制連接兩路氣體的高速三通電磁閥的通斷，從而調(diào)節(jié)每路氣體的采樣量，最終獲得設(shè)定濃度的氣體。

電磁閥式氣體分配器的優(yōu)點(diǎn)是適用范圍廣、操作簡(jiǎn)單、價(jià)格相對(duì)低廉。常規(guī)氣體可以直接使用，無(wú)需特殊設(shè)置或轉(zhuǎn)換。對(duì)于要準(zhǔn)備的氣體類(lèi)型和濃度，出廠前不需要調(diào)整儀器。但只能用于配比兩種氣體，配氣精度低（1％以上）。

對(duì)于半導(dǎo)體和電子工業(yè)中使用的特殊氣體，為了保持氣體的穩(wěn)定性或便于使用，通常使用二元或多元?dú)怏w混合物，并且需要?dú)怏w分配系統(tǒng)裝置。常規(guī)配氣方式，如標(biāo)準(zhǔn)配氣，現(xiàn)有方式多為單瓶混氣。根據(jù)原料氣壓力和氣體性質(zhì)選擇配氣順序，例如原料瓶A和目標(biāo)氣瓶B通過(guò)管道C連通，目標(biāo)氣瓶放置在精密電子秤D上，這是常規(guī)的氣體分配裝置。這種配氣裝置的缺點(diǎn)是管道與接頭之間產(chǎn)生應(yīng)力，嚴(yán)重影響稱(chēng)重精度，導(dǎo)致配比不準(zhǔn)確；一次只能分配一瓶氣體，效率很低。特種氣體消耗量大，純度高，對(duì)濃度偏差要求高，因此這種方法不適合特種氣體的配氣。

為了解決上述出現(xiàn)的配氣精度問(wèn)題，有相關(guān)領(lǐng)域的生產(chǎn)商開(kāi)發(fā)出了帶有精密監(jiān)測(cè)元件的配氣系統(tǒng)裝置。了解到配氣系統(tǒng)中使用的氣體濃度檢測(cè)元件是熱導(dǎo)式氣體傳感器，它可以計(jì)控制各路氣體的濃度，以實(shí)現(xiàn)不同種類(lèi)和濃度氣體的配制。一款熱導(dǎo)式氣體傳感器，可用于配氣系統(tǒng)中，瑞士Neroxis 熱導(dǎo)式氣體傳感器 － MTCS2601，該傳感器由基于 MEMS 技術(shù)的 4 個(gè) Ni－Pt 電阻組成的微機(jī)械的熱電導(dǎo)率傳感器，適用于惡劣環(huán)境下初級(jí)壓力控制，需要功耗和尺寸的限制，或者是氣體泄漏或者水分，或者侵入。另外硅晶片上有加熱電阻，并且有優(yōu)異的溫度補(bǔ)償。