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研究人員開發(fā)新方法,可提高場效應(yīng)晶體管的總電離劑量容限

我快閉嘴 ? 來源:賢集網(wǎng) ? 作者:賢集網(wǎng) ? 2020-11-04 15:22 ? 次閱讀
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使用碳納米管作為溝道材料,并使用離子凝膠作為柵極的場效應(yīng)晶體管,可承受高強(qiáng)度的輻射,在輻射損壞后,并且可以經(jīng)過簡單的工藝恢復(fù)。

無論是在月球,還是在更遠(yuǎn)的星球,探索太空都需要設(shè)計(jì)復(fù)雜的電子電路,這些電路必須能夠承受高強(qiáng)度的太陽和宇宙輻射。高強(qiáng)度輻射可能會造成電子設(shè)備損壞或發(fā)生故障,而決定太空電子設(shè)備壽命的重要因素是它能承受的最大輻射量。在地球上,防輻射電子產(chǎn)品在核反應(yīng)堆,粒子加速器和放射性排斥區(qū)這些高輻射環(huán)境中也能很好地工作??茖W(xué)研究人員報(bào)告稱太空集成電路可以承受更高強(qiáng)度的電離輻射,與硅電子產(chǎn)品相比,由于修復(fù)設(shè)備的“熱退火”工藝,因此在其壽命期間能承受極高強(qiáng)度的輻射。

場效應(yīng)晶體管(FET)的輻射損傷可分為三類:總電離劑量,位移損傷和單事件效應(yīng)??傠婋x劑量主要與柵氧化區(qū)中的累積電離效應(yīng)有關(guān)。例如,在縮放期間柵極氧化物變少,已改善了硅基邏輯晶體管的輻射容限(最高達(dá)5 Mrad(Si)),因?yàn)樵谘趸镏袦p少了的電荷量和硅基功率?;旌霞呻娐繁?a target="_blank">數(shù)字集成電路受總電離劑量的影響更大,因?yàn)樗鼈兊臇艠O氧化物較厚。器件間隔離所用的氧化層也容易受到總電離劑量的影響。高k(高介電常數(shù))的電介質(zhì)可用于提高抗輻射能力,而真空的介電層在放射線免疫的FET被使用,但性能低。

研究人員通過硬化所有易損部件,提高了FET的總電離劑量容限。他們使用碳納米管作為通道材料,使用離子凝膠作為柵極,并使用聚酰亞胺作為襯底。碳納米管是一種用來替換硅的輻射硬化裝置,因?yàn)槌顺錾碾娮有阅芡?,它的?碳化學(xué)鍵和小橫截面還減少了輻照引起的位移損傷。離子凝膠(一種由離子液體組成的電解質(zhì))形成雙電層,用作電解質(zhì)和碳納米管之間的有效電介質(zhì)。電子雙層厚度為納米級,抑制了總電離劑量效應(yīng),同時(shí)提供了柵極效率。因?yàn)榫埘啺坊牡妮p薄的特質(zhì),所以顯著降低了高能粒子帶來的影響。最后,F(xiàn)ET和集成電路在66.7 rad/s 的劑量率下可承受高達(dá)15 Mrad(Si)的輻射劑量,這是柵晶體管承受輻射劑量的最高記錄。

這些晶體管使用半導(dǎo)體碳納米管作為溝道材料,使用印刷離子凝膠作為柵極,使用聚酰亞胺作為襯底。經(jīng)過輻射后,可通過離子凝膠的低溫處理或在極端情況下溶解離子凝膠來修復(fù)晶體管。該過程將設(shè)備恢復(fù)到其原始性能,從而使它們可以經(jīng)受多次輻射。

此外,由于離子凝膠的可修復(fù)性,被輻射的FET和集成電路可以完全恢復(fù)。在100°C下退火10分鐘來恢復(fù)損壞的器件,從而導(dǎo)致閾值電壓和轉(zhuǎn)變電壓恢復(fù)到先前的值;基于硅的集成電路的修復(fù)將需要在400°C下進(jìn)行1小時(shí)的熱退火。在受到高輻射的條件下,被輻射的離子凝膠可溶解,并重新生成新的柵極,從而在經(jīng)過多次輻射后還能進(jìn)行修復(fù)。

這些電子產(chǎn)品可在高輻射環(huán)境中使用,不受輻射損害。但是,該技術(shù)的技術(shù)水平仍然較低,大約占NASA的技術(shù)3成左右。為了使基于電解質(zhì)門控碳納米管FET的集成電路能夠完全部署,首先,必須校準(zhǔn)位移損傷和單事件效應(yīng)帶來的輻射強(qiáng)度。然后,還需要將FET縮小至亞微米大小甚至幾十納米大小,以達(dá)到實(shí)際應(yīng)用所需的性能和密度水平。研究人員建議,更輕薄的固態(tài)電解質(zhì)可以被用作離子凝膠柵的替代品,以縮小器件尺寸,同時(shí)保持強(qiáng)輻射耐受性。最后,這種免疫強(qiáng)輻射的電子產(chǎn)品的成功取決于電解質(zhì)門控電子技術(shù)的成熟,所以還有很長的路要走。
責(zé)任編輯:tzh

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