攀時擁有超過2000種適用于離子注入系統(tǒng)的部件產(chǎn)品，已成為全球最大的離子注入部件替代零件供應(yīng)商。材料涉及鎢、鉬、石墨、陶瓷等，涵蓋了從最小的備件到整套離子發(fā)射源。

攀時從原材料品質(zhì)控制開始，服務(wù)半導(dǎo)體OEM設(shè)備原廠，以及終端客戶，已經(jīng)有超過三十年的合作經(jīng)驗，甚至在某些產(chǎn)品方面，我們可以高于OEM標(biāo)準(zhǔn)生產(chǎn)部件。

半導(dǎo)體制造工藝中的應(yīng)用特點(diǎn)

部件工作溫度高，伴有強(qiáng)腐蝕性氣體和強(qiáng)磁場。這對產(chǎn)品材質(zhì)提出了極高的要求，所以在應(yīng)用中多集中使用鉬、鎢、石墨、陶瓷等高物理化學(xué)穩(wěn)定性材料。這些材料將確保電子在高達(dá)1?400 ℃的溫度條件下形成并準(zhǔn)確沿著電子路徑進(jìn)行運(yùn)動。

攀時在離子注入部件領(lǐng)域的優(yōu)勢

我們基于對原材料的理解，以O(shè)EM設(shè)備制造商的原始備件為起點(diǎn)，不停的對備件極限進(jìn)行更深的探索，發(fā)現(xiàn)短板，提出新的設(shè)計，優(yōu)化改進(jìn)現(xiàn)有方案，找到更合理的升級方法，延長產(chǎn)品使用壽命，降低客戶PM頻率，延長設(shè)備開機(jī)時長，從而降低整體運(yùn)營成本。

例如：在IIP工藝中，MRS葉片濾出電荷或質(zhì)量不正確的離子。只有通過質(zhì)量分辨槽的離子才能在通向晶片的路徑上繼續(xù)運(yùn)動。MRS板因離子束碰撞而產(chǎn)生磨損，側(cè)面角度可減小磨損。但是IIP工藝還涉及化學(xué)反應(yīng)，而且磨損越大，相應(yīng)表面上的角度越尖銳。作為折衷方案，在OEM標(biāo)準(zhǔn)零件中采用92 °的角度。

MRS板（OEM） 攀時優(yōu)化設(shè)計MRS板延長壽命

攀時在離子注入部件領(lǐng)域的努力

我們一直在追求更高的品質(zhì)，不斷研發(fā)并推出新的產(chǎn)品，為客戶帶來更有價值的服務(wù)，同時，我們致力于：

降低清潔成本

減少維護(hù)工作量

縮短停工時間

簡化部件安裝和拆卸

延長使用壽命

攀時在離子注入部件領(lǐng)域的產(chǎn)品

我們可以提供超過100種以上離子注入系統(tǒng)備件，清單如下：

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