近日，哈工大（深圳）胡泓教授團(tuán)隊(duì)聯(lián)合香港城市大學(xué)楊征保教授團(tuán)隊(duì)提出了一種基于壓電薄膜、具有行+列電極結(jié)構(gòu)的觸覺傳感器陣列，相關(guān)成果以《Skin-inspired Piezoelectric Tactile Sensor Array with Crosstalk-free Row+column Electrodes for Spatiotemporally Distinguishing Diverse Stimuli》（DOI：doi.org/10.1002/advs.202002817）為題發(fā)表于《Advanced Science》，林偉康和王標(biāo)為共同第一作者。這項(xiàng)研究為觸覺傳感器設(shè)計(jì)提供了一種新的策略，有望惠及電子皮膚、健康監(jiān)測(cè)、動(dòng)物運(yùn)動(dòng)檢測(cè)和機(jī)器人等領(lǐng)域。

近年來(lái)，柔性電子皮膚一直是學(xué)術(shù)界和業(yè)界的熱門話題，其中用于模仿人體皮膚功能的仿生觸覺傳感器是研究的重點(diǎn)之一。觸覺傳感器能對(duì)外界的應(yīng)力刺激產(chǎn)生對(duì)應(yīng)的電信號(hào)，廣泛應(yīng)用在人工智能、人機(jī)交互、生物信息檢測(cè)等領(lǐng)域。深入了解人體皮膚的感知原理，是設(shè)計(jì)仿生觸覺傳感器的重要前提。據(jù)了解，人體皮膚是一種非?！皬?qiáng)大”的觸覺傳感器，它可以同時(shí)檢測(cè)各種刺激的強(qiáng)度和模式，可以分辨出按壓、敲擊和彎曲，這主要?dú)w因于四個(gè)機(jī)械感受器（SA-I，II和FA-I，II）分布在人體皮膚的不同區(qū)域，機(jī)械感受器接收外部刺激并將其轉(zhuǎn)換為電子信號(hào)，這四種受體的綜合信號(hào)由大腦進(jìn)行分析，進(jìn)而得到物體大小、形狀和質(zhì)地等信息。

目前，柔性觸覺傳感器陣列在應(yīng)用上面臨著許多挑戰(zhàn)?，F(xiàn)有的觸覺傳感器陣列往往只具有單一功能，同時(shí)大面積、高分辨率的傳感器陣列需要大量的電極引線。兩支團(tuán)隊(duì)本次提出的觸覺傳感器陣列，可以實(shí)時(shí)感測(cè)和區(qū)分各種外部刺激的大小、位置和模式，包括輕微觸碰、按壓和彎曲等。與此同時(shí)，其獨(dú)特的設(shè)計(jì)克服了其他壓電傳感器中存在的串?dāng)_問題。壓力測(cè)試和彎曲測(cè)試表明，本次提出的觸覺傳感器陣列具有高靈敏度（7.7 mV / kPa），長(zhǎng)期耐用性（80,000個(gè)循環(huán)周期）和快速響應(yīng)時(shí)間（10 ms）的特征。觸覺傳感器陣列還顯示出卓越的可擴(kuò)展性和易于大規(guī)模制造的能力。

“該項(xiàng)研究主要具有三大創(chuàng)新點(diǎn)。” 胡泓介紹說，多功能觸覺傳感器陣列在測(cè)量壓力、彎曲半徑和彎曲方向的同時(shí)，還可以實(shí)時(shí)區(qū)分外部刺激的模式，實(shí)現(xiàn)了多種測(cè)量模式的自動(dòng)解耦。同時(shí)，傳感器陣列采用橫縱電極結(jié)構(gòu)，將電極引線數(shù)量由n×m降低至n+m，極大降低了制作成本和難度。此外，該項(xiàng)研究還解決了橫縱電極結(jié)構(gòu)在壓電傳感器陣列中的信號(hào)串?dāng)_問題。

圖1 基于皮膚啟發(fā)的觸覺傳感器陣列示意圖。（a）傳感器陣列的多層結(jié)構(gòu)設(shè)計(jì)，從上到下依次為保護(hù)層、上感知層、隔離層、下感知層、保護(hù)層。（b）傳感器陣列電極引線。（c）觸覺傳感器陣列系統(tǒng)實(shí)時(shí)分辨不同模式刺激的示意圖。觸覺傳感器陣列將外界刺激轉(zhuǎn)換為電信號(hào)，電信號(hào)經(jīng)過信號(hào)處理后可以實(shí)時(shí)判斷外界刺激的大小和模式，進(jìn)而用于外部設(shè)備。

圖2 不同刺激模式下觸覺傳感器陣列的工作機(jī)理。（a）正壓力刺激模式的示意圖（b）上感知層和下感知層在正壓力下的應(yīng)力分布。（c）彎曲刺激模式的示意圖。（d-g）上感知層的應(yīng)力隨著彎曲角度的增大而減小，而下感知層的情況則呈現(xiàn)相反的趨勢(shì)。兩層的應(yīng)力在彎曲角度為45°時(shí)近似相同。此外，較大的彎曲半徑導(dǎo)致較大的應(yīng)力。

圖3 觸覺傳感器陣列在正壓力刺激模式下的測(cè)試結(jié)果。（a）壓電薄膜的極化方向和觸覺傳感器陣列的接線方式。（b）輕微觸碰下傳感器輸出電壓波形圖。（c）5 Hz頻率，不同壓力大小條件下，傳感器輸出電壓波形圖。（d）輸出峰值電壓與正壓力的關(guān)系。（e）80000次耐久循環(huán)測(cè)試。

圖4 觸覺傳感器陣列在彎曲刺激模式下的測(cè)試結(jié)果。（a-c）彎曲半徑為15 mm時(shí)，傳感器陣列在彎曲方向0°，45°和90°的輸出電壓波形圖。（d-f）輸出峰值電壓與彎曲半徑的關(guān)系。

圖5 傳感器陣列同時(shí)測(cè)量彎曲半徑和彎曲方向。（a，b）基于實(shí)驗(yàn)數(shù)據(jù)，對(duì)上、下感知層輸出峰值電壓與彎曲半徑和彎曲方向的擬合結(jié)果。（c，d）通過上、下感知層的輸出峰值電壓計(jì)算彎曲半徑和彎曲方向。

圖6 大面積可拓展觸覺傳感器陣列及其多點(diǎn)檢測(cè)能力的示意圖。（a）5×5觸覺傳感器陣列的示意圖。（b）5×5觸覺傳感器陣列的實(shí)物圖，每個(gè)單元2.5×2.5 mm2。（c）單點(diǎn)壓力測(cè)試時(shí)，傳感器10通道的實(shí)時(shí)信號(hào)。（d，e）多點(diǎn)壓力測(cè)試示意圖和平面壓力強(qiáng)度分布圖。

圖7 觸覺傳感器陣列的應(yīng)用。（a）檢測(cè)頸動(dòng)脈脈搏。（b）檢測(cè)微小物體運(yùn)動(dòng)，小蜘蛛約重5mg，傳感器陣列精確捕捉到蜘蛛的起飛和降落位置，靜止時(shí)間和空中持續(xù)時(shí)間。（c）帶有觸覺傳感器的機(jī)械手，可以平穩(wěn)抓起柔軟易碎的豆腐。（d）沒有觸覺反饋控制的情況下，將會(huì)破壞豆腐塊。

《醫(yī)療柔性電子技術(shù)及市場(chǎng)趨勢(shì)-2020版》

原文標(biāo)題：新型柔性觸覺傳感器陣列有望惠及電子皮膚、健康檢測(cè)等領(lǐng)域

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