光刻機是半導體制造過程中，最具技術含量的設備，有著“現代半導體行業(yè)皇冠上的明珠”的美譽。

目前，僅ASML一家便占據全球高端光刻機市場89%的份額，剩余份額則被尼康與佳能所占據。在中國，我國光刻機被牢牢卡住了脖子，制約了半導體產業(yè)的發(fā)展。

任正非：光刻機“卡脖子”的事你們別管

中國光刻機被“卡脖子”的境況令人著急，不過任正非卻警醒眾人，不要一股腦地涌進來。

在2020年11月，C9（包括北大、清華、復旦、哈工大等9大高校的中國首個頂尖大學高校聯盟）高校校長去華為參觀拜訪時，任正非稱，大學不要管當前的“卡脖子”，大學的責任是“捅破天”。

任正非表示，目前“卡脖子”問題大多為工程科學、應用科學方面的問題，查閱一些國外論文便能夠做出來，卡不住我們的脖子。

因而，任正非認為，大學應該著眼于未來二三十年國家與產業(yè)發(fā)展的需要，而不是眼前兩三年的問題。否則眼前問題解決后，又會有新問題出現。

任正非的一番話十分有遠見，事實也正在證明，任正非的判斷沒有錯，光刻機卡不住中國的脖子。

國產光刻機雙喜臨門

近來，中國光刻機連續(xù)迎來兩大好消息。

大族激光傳來喜訊

大族激光是全球第三、亞洲最大的工業(yè)激光加工設備生產廠商，擁有200多種工業(yè)激光設備與智能裝備解決方案，是中國激光設備最全的企業(yè)。

從2019年開始，大族激光便開始布局光刻機。鏡頭、激光光源是光刻機兩大核心部件，因此，大族激光攻克光刻機技術，有一定的基礎。

1月14日，大族激光在互動平臺上透露，公司研發(fā)的光刻機項目分辨率為3-5μm，已經實現小批量銷售。

不過，大族激光的光刻機產品并不是用于集成電路制造，而是分立器件、LCD等領域，是較為低端的光刻機設備。

雖然如此，大族激光自研光刻機還是有著，推動了光刻機國產替代的進程的重要意義。

芯源微：國產前道涂膠顯影機誕生

芯源微背靠中科院沈陽自動化研究所，從事半導體生產設備的研發(fā)、生產、銷售與服務。目前，青島芯恩、臺積電、長江存儲等，都是芯源微的客戶。

芯源微的光刻工序涂膠顯影設備，成功打破了海外的壟斷。目前，在集成電路前道晶圓加工環(huán)節(jié)，國產化設備正逐步實現小批量替代。

近來，芯源微更是披露，公司前道涂膠顯影機與國際光刻機聯機的技術問題已經攻克并通過驗證，可以與包括ASML、佳能等國際品牌，以及國內的上海微電子的光刻機聯機應用。

這標志著，國產替代化進程又前進了一步。

沉睡的雄獅已經覺醒

以上種種都印證了，中國光刻機并非沒有打破壟斷的希望。

如今，國產替代化已經成為一種大趨勢，中國半導體產業(yè)正在加速發(fā)展，在芯片設計、半導體材料等領域，我國不斷傳來新的突破。國產芯片實現自主化，未來可期，沉睡的雄獅已經覺醒。

在最難攻克的光刻機領域，中科院已經公開表態(tài)，將集結全院的力量，攻克光刻機等“卡脖子”難題。

同時，上海微電子、華卓精科等光刻機相關企業(yè)，也早已默默努力。華為精科已經成為全球第二個，也是唯二掌握高端光刻機雙工件臺的企業(yè)。

相信在多方共同努力之下，中國半導體產業(yè)將實現自主可控，不用再依賴進口。
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