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《淺談SiC MOSFET體二極管雙極性退化問題》

機制

在雙極性運行（PN結，比如MOSFET的體二極管，在導電時）條件下，任何類型的SiC器件都可能出現雙極退化效應。這種效應主要是由SiC晶體上早先存在的基底面位錯（BPD）觸發(fā)的。在雙極運行期間，電子與空穴的復合所釋放出的能量導致堆垛層錯在BPD處蔓延。該堆垛層錯將蔓延至芯片的表面，然后停止蔓延。圖22中的左圖所示的、被擴大的堆垛層錯覆蓋的區(qū)域，已經無法再導電，因此芯片的有效有源區(qū)域縮小。

圖22.SiC器件中的疊層缺陷的俯視圖和橫截面

結合潛在的物理背景因素，可以得出雙極退化是：

一種有可能發(fā)生或不發(fā)生的機制。當器件不存在BPD時（或者BPD不受復合事件影響時），將不存在雙極退化效應。

所有SiC器件都存在的一種效應。由于BPD是SiC襯底（晶圓）中的一種常見缺陷，所以任何擁有PN結的SiC器件都可能發(fā)生雙極退化，而無論器件類型是什么，生產廠家是誰。

一種飽和效應。一旦堆垛層錯蔓延至器件表面，雙極退化就會飽和。取決于通過PN結的電流和結溫等運行條件，從初始狀態(tài)到飽和的時間可以是幾分鐘到幾小時的累積雙極運行時間。

在應用中的影響

如前所述，內部擁有擴大的疊層缺陷的區(qū)域似乎表現出更大的電阻，因而流經它的電流即減小。圖23顯示了有缺陷和無缺陷的SiC器件的熱圖像（EMMI）。可以清楚地看到，擁有堆垛層錯的區(qū)域因為流經的電流很小幾乎沒有產生熱量。

圖23. 有少量缺陷（黑色小三角形，見箭頭）的和無缺陷的SiC MOSFET在導通模式下的EMMI圖。顏色表示電流密度（藍色代表密度小，紅色代表密度大），加粗黑線代表器件的無源區(qū)域。

從試驗中可以證實，雙極退化只會使SiC器件的有源區(qū)域減小，進而使得MOSFET的RDS（on）變大，體二極管的VSD變大。器件的其它基本參數（如擊穿電壓、開關行為和氧化層可靠性）未發(fā)生改變。

因此，如果碳化硅器件有少量缺陷，并且飽和后的RDS（on）或VSD增大幅度仍然位于數據表給出的范圍以內，則它在運行中不會有長期的負面影響。

CoolSiC MOSFET——消除風險的策略

英飛凌已采取專門的措施來確保其交付給客戶的產品擁有穩(wěn)定的性能。已采取兩種措施來確保有可能使用體二極管的所有CoolSiC MOSFET，在發(fā)出時不存在任何導致不符合數據表規(guī)定的雙極退化。

其中包括采取優(yōu)化的芯片生產工藝以抑制疊層缺陷的形成，并結合有效的驗證措施。

責任編輯：xj

原文標題：淺談SiC MOSFET體二極管雙極性退化問題

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