作為半導體自動化生產不可或缺的軟件，設備自動化系統(tǒng)EAP（Equipment Automation Program）是連接MES，RMS，APC，FDC等上層系統(tǒng)和設備層的溝通橋梁。在12寸Fab廠，量產線設備多達500臺，8寸Fab廠量產線則有300臺設備。

EAP被譽為“設備管理大師”，對生產線上的所有機臺進行實時管控，實現設備運行的自動化；在高端應用中，借助AI技術，通過RCM實現Fab廠所有設備集中化遠程控制，自動處理設備異常，自動修正配方，自動創(chuàng)建配方。

上揚軟件的EAP支持的通信協(xié)議包括SECS (HSMS,GEM)，PLC (西門子，歐姆龍，三菱，倍福等)。而支持的Fab廠工作模式有如下3種：Open Cassette，自動上料卸料機臺SMIF (Standard Merchanical Interface)，全自動模式 (AGV 或MCS)。

EAP的主要功能

機臺狀態(tài)數據收集，包括機臺生產模式控制/初始化/啟動/停止

機臺活動數據的收集處理和追蹤追溯

批次（Lot）校驗/進站/出站/掛起

配方管理，包括ID校驗、選擇、上傳和下載

警報管理，當機臺發(fā)生故障時，提供報告，并通知相關人員進行處理

條形碼/RFID/SMART TAG讀取器管理

材料狀態(tài)跟蹤

設備狀態(tài)監(jiān)控

上揚軟件EAP的特點

1.采用易用的開發(fā)工具

易用的開發(fā)工具便于系統(tǒng)開發(fā)，上手簡單

工作流機制保證系統(tǒng)多任務平穩(wěn)運行

2. 服務器模式，方便升級和部署

EAP Server以服務器模式運行，控制設備自動化跑貨

Backup Server和Failover機制保證EAP Server不宕機

跨平臺腳本化支持熱發(fā)布

3. 良好的擴展性，便于與其它系統(tǒng)集成

易于與其他系統(tǒng)集成，如MES，MCS，SPC，RMS，FDC，APC等

多種通信方式支持，如Web Service, Message bus(RV, Active MQ, Rabbit MQ) 等

支持Linux操作系統(tǒng)，高效穩(wěn)定

多語言支持

4. 適用于半導體6/8/12寸晶圓制造廠和先進/傳統(tǒng)封裝廠，光伏組件/電池廠

作為計算機集成制造系統(tǒng)CIM的重要軟件，上揚軟件的EAP與MES完美配合，減少并預防設備故障，縮短設備失效時間，優(yōu)化設備利用率，從而提高半導體工廠的生產效率，避免人工操作失誤，提高產品良率。

原文標題：設備管理大師 EAP

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責任編輯：haq