配方管理系統(tǒng)RMS(Recipe Management System), 即對半導(dǎo)體工廠設(shè)備里面配方進(jìn)行管控，支持Online和Offline比對，支持上傳和下載。配方管理允許工廠主機(jī)在設(shè)備之間傳輸配方。它還要求設(shè)備在設(shè)備上的配方發(fā)生變化時通知工廠主機(jī)。

RMS信息流

上揚(yáng)軟件RMS使用C#開發(fā)工具，采用服務(wù)器端和客戶端模式，Recipe Body解析部署在服務(wù)器端，能快速與自動化系統(tǒng)(EAP)整合。數(shù)據(jù)庫則使用Oracle作為系統(tǒng)的數(shù)據(jù)庫引擎。

RMS的主要功能

設(shè)備Recipe模型管理

對設(shè)備上所有Recipe List管理

對設(shè)備上所有Recipe Body管理

對設(shè)備上所有Recipe Body版本控制

Recipe Body比對（Online & Offline）

權(quán)限管控

步驟，參數(shù)，范圍管控

RMS需與EAP聯(lián)結(jié)，旨在實時管控自動化系統(tǒng)所用配方與用戶當(dāng)初的設(shè)定是否匹配，從而使得自動化系統(tǒng)所用的配方更加趨于安全，并對設(shè)備配方及其Recipe Body內(nèi)容進(jìn)行有效的存儲、管理和控制。

通過與FA EAP（或其它EAP系統(tǒng)）和myCIM（或其它MES系統(tǒng)）結(jié)合，可以實現(xiàn)配方自動選擇、自動加載、自動校驗，能夠確保配方的完整性并支持可追溯性，極大降低生產(chǎn)加工過程的用錯配方的概率，極大降低操作員的工作強(qiáng)度。

審核編輯 ：李倩