介紹

我們通過(guò)使用濕臭氧估計(jì)具有各種化學(xué)結(jié)構(gòu)的聚合物的去除來(lái)評(píng)估濕臭 氧和聚合物的化學(xué)反應(yīng)性。主鏈中含有碳-碳雙鍵的聚合物(酚醛清漆樹(shù) 脂、順式-1, 4-聚異戊二烯)的去除速率最快。在側(cè)鏈中具有碳碳雙鍵的 聚合物(PVP, PS)的移除速率比酚醛清漆樹(shù)脂和順式4-聚異戊二烯 的移除速率慢。沒(méi)有C-C雙鍵的聚合物(PMMA, PVC)不被除去。我們認(rèn) 為濕臭氧應(yīng)該很容易與碳碳雙鍵發(fā)生反應(yīng)。酚醛清漆樹(shù)脂的主鏈和順式- 1, 4-聚異戊二烯的主鏈應(yīng)該通過(guò)與濕臭氧反應(yīng)而分解。在PVP和PS中 ，側(cè)鏈中的苯環(huán)通過(guò)與濕臭氧反應(yīng)變成辯酸。所以PVP和PS對(duì)水的溶解 能力要增加。

介紹

.在學(xué)導(dǎo)體制造工藝中從襯底上去除抗蝕劑 通常利用氧等離子體和/或化學(xué)物質(zhì)(例如硫 酸過(guò)氧化氫混合物和氨過(guò)氧化氫混合物)。這 些對(duì)環(huán)境不利的化學(xué)物質(zhì)被大量使用，因此 造成了環(huán)境破壞。

作為不使用這些化學(xué)品的方法，具有高氧 化電位的臭氧被期望去除抗蝕劑和有機(jī)殘留 物。然而，僅使用臭氧不能去除抗蝕劑。使 用臭氧的干法工藝需要高于250°C的溫度， 以便通過(guò)熱分解從臭氧中產(chǎn)生氧自由基。因 此，使用臭氧的過(guò)程可能會(huì)氧化基板和金屬 布線(xiàn)

我們研究了一種環(huán)境友好的低溫濕臭氧工 藝。在濕臭氧工藝中，將混合有少量水的臭氧氣體在低于100°C的 溫度下照射到抗蝕劑上，抗蝕劑通過(guò)臭氧和 冷凝水轉(zhuǎn)化為瓣酸。

三個(gè)過(guò)程（濕臭氧照射，純水洗滌和干燥）重復(fù)進(jìn)行使用濕臭氧去除。移除速率通過(guò)將初始聚合物厚度除以聚合物被完全去除的濕臭氧照射時(shí)間。這個(gè)循環(huán)由10個(gè) at組成2000轉(zhuǎn)/分用于濕臭氧照射，2000轉(zhuǎn)/分5s用于純水連滌，1000轉(zhuǎn)/分鐘干燥20秒。臭氧氣體濃食為;流速為12.5slm。濕臭氧溫度為T(mén)l=60 °C,硅片溫度為T(mén)2=50°C。

結(jié)果和討論

圖4描繪了使用濕臭氧去除聚合物的結(jié)果。表2給出了使用濕臭 氧去除每種聚合物的速率。主鏈中含有碳碳雙鍵的聚合物(酚醛清 漆樹(shù)脂、順式」，4-聚異戊二烯)的去除速率最快。側(cè)鏈含有碳碳雙 鍵的聚合物(PVP, PS)的去除速率比酚醛樹(shù)脂和順式--聚異戊 二烯慢。但是，沒(méi)有碳碳雙鍵的聚合物(PMMA, PVC)沒(méi)有被去除酚醛清漆樹(shù)脂和順式聚異戊二烯的主糖應(yīng)該通過(guò)反應(yīng)分 解用濕臭氧。

審核編輯：符乾江