采用PureLine 3技術(shù)的新型CM300xi-ULN可消除97%以前探針臺中的環(huán)境噪聲，并從根本上改變7納米以下前沿技術(shù)節(jié)點的實驗室閃爍噪聲測量

我們推出一種300mm晶圓探針臺CM300xi-ULN，該系統(tǒng)設(shè)計用于閃爍噪聲（1/f）、隨機電報噪聲（RTN）和相位噪聲的高精度測試。

此類噪聲問題對先進模擬和數(shù)字IC技術(shù)造成的困擾日益增加，而該技術(shù)功率和性能的提高需要以降低噪聲容許量為代價。因此，目前的器件設(shè)計和驗證需使用高靈敏度設(shè)備仔細(xì)表征此類內(nèi)部噪聲源。上述探針臺CM300xi-ULN通過消除97%以上的環(huán)境噪聲為超低噪聲測量建立了新的行業(yè)金標(biāo)準(zhǔn)。

使用新獲得專利的PureLine? 3技術(shù)，ULN探針臺可降低32倍（1 kHz）的噪聲，以改進5G及以上應(yīng)用7/5/2nm技術(shù)節(jié)點的器件表征和建模。

當(dāng)與噪聲測試設(shè)備（閃爍噪聲、RTN、相位噪聲）集成時，CM300xi-ULN使用帶有Contact Intelligence?的電動探針座可提供行業(yè)最高測試吞吐量，實現(xiàn)全自動DC和低頻噪聲測量，并采用多DUT布局完全實現(xiàn)全天候自動運行。

最后，CM300xi-ULN降低了低噪聲測試單元優(yōu)化的復(fù)雜性。只需通電即可開始測試。測試單元電源管理可消除測試單元所有接地回路感應(yīng)噪聲，并為整個系統(tǒng)、探針臺和儀器提供全面管理和過濾的交流電源。

CM300xi-ULN探針臺在在片噪聲測試領(lǐng)域?qū)崿F(xiàn)了四項重要的行業(yè)“第一”，包括：

• 第一款實現(xiàn)-190dB頻譜噪聲*的自動化探針臺，可對新的高性能器件進行高精度噪聲測量（*典型值，dBVrms/√Hz，1kHz至1MHz，含探針臺和溫控系統(tǒng)）
• 集成測試單元電源管理，可消除接地回路感應(yīng)噪聲，并為探針臺和儀器提供全面管理和過濾的交流電源
• 在30um焊盤上完全自主進行閃爍噪聲熱測試，測試速度比上一代系統(tǒng)快4倍
• 客戶現(xiàn)場調(diào)查和“低噪聲”安裝驗證，可顯著降低安裝成本和工具部署時間

審核編輯：符乾江