CM300xi-ULN探針臺的獨特之處：

晶圓上噪聲測試的新黃金標(biāo)準(zhǔn)——CM300xi-ULN探針臺

PureLine 3技術(shù)消除97%的環(huán)境噪聲

利用TestCell電源管理消除接地回路引起的噪聲

在這篇文章中，我們將涵蓋實現(xiàn)高吞吐量閃爍噪聲測量。閃爍和RTN噪聲測試可能需要很長時間，尤其是在測量頻率低至1 Hz或更低的情況下。單一溫度下的掃描時間通常長達(dá)30分鐘。器件模型的標(biāo)準(zhǔn)數(shù)據(jù)采集需要在多個溫度下在小襯墊上的DUT數(shù)據(jù)。

為了降低測試成本(CoT)，并顯著提高晶圓上測試吞吐量，可以使用四種不同的方法將自動化添加到測試設(shè)置中：

自動上料

用于小pad接地優(yōu)化的電動探針座

自動探針與pad對準(zhǔn)、變溫測量

多DUT自動測量

針對方法1，可以使用標(biāo)準(zhǔn)生產(chǎn)探針臺來提高數(shù)據(jù)收集吞吐量，但這些探針臺是專為高速生產(chǎn)測試而設(shè)計，而不是高精度閃爍噪聲測量。探針臺噪聲嚴(yán)重影響了最終數(shù)據(jù)的準(zhǔn)確性。

針對方法2、3和4，需要顯著的技術(shù)發(fā)展——光學(xué)、機(jī)械和軟件——來擺脫緩慢的手動探針定位。

在所有情況下，重要的是要注意，自動化方法不可通過向探測環(huán)境中添加或傳輸不需要的噪聲來損害TestCell的低噪聲性能。這是添加非優(yōu)化溫控、硬件和電子模塊的傳統(tǒng)方法的常見問題。

將我們的自動DC測量助手添加到CM300xi-ULN測量系統(tǒng)中，為工程師和實驗室人員設(shè)置閃爍噪聲測試創(chuàng)造了一個范例轉(zhuǎn)變?，F(xiàn)在可為半自動或全自動CM300xi-ULN系統(tǒng)設(shè)置一個高吞吐量TestCell，提供完全自動的24/7運行。

自動DC測量助手將電動探針座與最先進(jìn)的圖像處理技術(shù)相結(jié)合，可隨時獲得高度可靠的測量數(shù)據(jù)。其支持小pad接地優(yōu)化、多種不同溫度下的自動測試以及測試sub-die的自動探針定位。所有功能均經(jīng)過優(yōu)化，以確保超低噪聲性能不受影響。

測量軟件可以輕松調(diào)用單DUT和多DUT探針布局，實現(xiàn)完全自動化。自動DC測量助手負(fù)責(zé)所有復(fù)雜的變溫管理，以及探針對準(zhǔn)pad(PTPA)的熱穩(wěn)定時間優(yōu)化。其結(jié)果是超低噪聲測量，在低至30um pad上實現(xiàn)小的接觸電阻，適用于任何閃爍噪聲建模和擴(kuò)展的溫度區(qū)間(-55至200℃)，涵蓋晶圓上的所有裸片和所有晶圓。

審核編輯：湯梓紅