本技術(shù)涉及用于真空設(shè)備中籽晶棒傳動(dòng)機(jī)構(gòu)的水電連接機(jī)構(gòu)。 現(xiàn)在，用公知單晶爐設(shè)備的種晶棒傳動(dòng)機(jī)構(gòu)自轉(zhuǎn)的水、電的連接結(jié)構(gòu)很重，大多用軸承、橡膠環(huán)、帽等部件實(shí)現(xiàn)軸水冷的密封，不僅軸密封不可靠，而且結(jié)構(gòu)龐大，安裝、維護(hù)時(shí)也不方便。

單晶爐的構(gòu)成主要如下。

拉晶頭：主要由安裝盤減速器種子型腔劃線電機(jī)磁流體種子重量頭軟波紋管、導(dǎo)電性滑環(huán)等其他部件組成。

副室：主要由副室筒及上下及凸緣組成

爐蓋：由副室連接凸緣、反板閥、觀察窗抽真空管路組成

爐筒：包括取光孔

下爐筒：包括抽真空配管

基礎(chǔ)機(jī)架：主要是全鑄鐵機(jī)架和基礎(chǔ)

坩堝下傳動(dòng)裝置：主要由磁流體電動(dòng)機(jī)坩堝支撐軸減速器軟波紋管柱上下傳動(dòng)支撐框?qū)к壍冉M成

分水器已經(jīng)是水路配置，包括分水器、供水水管、幾個(gè)軟管水管罩等。

氬管配置：質(zhì)量流量計(jì)3根以上柔性管不銹鋼管3個(gè)壓力探測(cè)器高密封性咬入等部件

真空泵及真空除塵裝置：液壓真空泵水環(huán)真空泵過濾器真空配管硬波紋管等

電源及控制柜：電源柜濾波器柜控制柜及連接線。

默孚龍科技針對(duì)上述存在的技術(shù)問題，為了解決籽晶棒傳動(dòng)機(jī)構(gòu)在水、電方面的安裝、維護(hù)的不便等問題，提供了全局合理緊湊、操作方便的水電連接機(jī)構(gòu)。 為了實(shí)現(xiàn)上述目，技術(shù)方案是，配置在安裝于籽晶軸的導(dǎo)電性滑環(huán)的上方，其內(nèi)圈固定于籽晶軸的旋轉(zhuǎn)接頭;導(dǎo)電滑環(huán)的外圈分別經(jīng)由連接板固定于固定框架，旋轉(zhuǎn)接頭和籽晶軸內(nèi)孔采用內(nèi)環(huán)旋轉(zhuǎn)外環(huán)不旋轉(zhuǎn)的旋轉(zhuǎn)接頭和導(dǎo)電性滑環(huán)，實(shí)現(xiàn)了籽晶軸自轉(zhuǎn)時(shí)的水電連接，使水管和電纜的安裝、維護(hù)變得容易

審核編輯 黃昊宇