江蘇微導(dǎo)納米科技股份有限公司，是一家面向全球的高端設(shè)備制造商，專注于先進薄膜沉積裝備的開發(fā)、設(shè)計、生產(chǎn)和服務(wù)。微導(dǎo)的業(yè)務(wù)涵蓋半導(dǎo)體、新能源、柔性電子和納米技術(shù)等工業(yè)領(lǐng)域。公司以原子層沉積技術(shù)為核心，致力于先進微、納米級薄膜沉積技術(shù)和設(shè)備的研究與產(chǎn)業(yè)化應(yīng)用，為光伏、集成電路、柔性電子等半導(dǎo)體與泛半導(dǎo)體行業(yè)提供高端裝備與技術(shù)解決方案。

隨著對微處理器和存儲器的計算速度和功率需求的持續(xù)增加，同時又降低其功耗和尺寸，使得半導(dǎo)體器件制造經(jīng)受著越來越大的挑戰(zhàn)。特別是在“后摩爾定律”時代，納米級器件結(jié)構(gòu)需要薄膜的沉積和去除精確控制在原子層級別。原子層沉積(ALD)技術(shù)已經(jīng)衍變成為下一代新型器件制造戰(zhàn)略中的關(guān)鍵技術(shù)，并使摩爾定律得以進一步延伸。

微導(dǎo)的原子層沉積(ALD)、等離子體原子層沉積(PEALD)技術(shù)是原子級薄膜沉積解決方案的關(guān)鍵技術(shù)，可廣泛用于晶體管、存儲器、圖案化、金屬互連和3D封裝等應(yīng)用。

微導(dǎo)的龍系列團簇平臺由多個工藝腔與市場先進的商業(yè)晶圓自動化系統(tǒng)集群而成，為尖端半導(dǎo)體制造提供原子級薄膜沉積工藝完整的解決方案。

微導(dǎo)龍系列高級ALD薄膜沉積系統(tǒng)專用于200mm、300mm和450mm晶圓工藝的單片量產(chǎn)ALD鍍膜設(shè)備。具有熱ALD、等離子體ALD和原子層蝕刻等多種型號，與主流商業(yè)自動化團簇平臺集群。自有專利設(shè)計的反應(yīng)器可以沉積多種材料，并確保極限保形和均勻的ALD薄膜沉積。產(chǎn)品具有高度薄膜均勻度、高產(chǎn)能、高可靠性以及高性價比等特點，各項性能指標均超出同類國產(chǎn)化設(shè)備，達到國際先進水平。

微導(dǎo)近期喜獲多臺訂單，微導(dǎo)總經(jīng)理周仁表示：微導(dǎo)自主研發(fā)的此類產(chǎn)業(yè)化設(shè)備完全滿足先進制程對半導(dǎo)體設(shè)備性能的嚴格要求，適用于28nm乃至更先進技術(shù)節(jié)點的制程工藝設(shè)備，助力客戶在制程技術(shù)要求日趨復(fù)雜的背景下從容應(yīng)對行業(yè)挑戰(zhàn)，同時也打破了客戶因國外設(shè)備壟斷而導(dǎo)致的發(fā)展瓶頸，進而有力推動半導(dǎo)體行業(yè)設(shè)備的多元化和產(chǎn)業(yè)化健康發(fā)展。

審核編輯 黃昊宇