電子工業(yè)是中國(guó)經(jīng)濟(jì)現(xiàn)代化不可或缺的支撐力，以集成電路為代表的半導(dǎo)體芯片制造業(yè)是電子工業(yè)發(fā)展的基礎(chǔ)和核心。芯片性能與工藝技術(shù)和設(shè)計(jì)的嚴(yán)格性、合理性和先進(jìn)性密切相關(guān)，芯片的可靠性和成品率與加工制造環(huán)境的潔凈度和材料的純度有關(guān)，特別是隨著納米加工技術(shù)的不斷發(fā)展和廣泛應(yīng)用，超凈環(huán)境和超純材料已成為半導(dǎo)體工業(yè)進(jìn)步和創(chuàng)新的關(guān)鍵。

潔凈廠房的標(biāo)準(zhǔn)

《潔凈廠房設(shè)計(jì)規(guī)范》GB50073-2013年制定：無塵室空氣懸浮顆粒濃度可控，減少室內(nèi)滯留和產(chǎn)生的粉塵顆粒數(shù)量，凈化區(qū)溫濕度等相關(guān)參數(shù)可控。根據(jù)空氣中的不同工藝，需要不同的凈化等級(jí)和施工標(biāo)準(zhǔn)≥0.5μm/0.1μm潔凈室的顆粒數(shù)分為十級(jí)、百級(jí)、千級(jí)、萬級(jí)、十萬級(jí)。

國(guó)內(nèi)現(xiàn)行標(biāo)準(zhǔn)一般有：GB/T16292-1996、BS5595、FS209E、ISO14644-1、歐盟GMP等等，根據(jù)這些要求測(cè)量和計(jì)算特定顆粒，對(duì)潔凈室和潔凈區(qū)域的潔凈度進(jìn)行分級(jí)。根據(jù)生產(chǎn)工藝和機(jī)械設(shè)備的實(shí)際需要，合理選擇最佳凈化水平，降低施工成本，資源能耗是凈化設(shè)計(jì)的基本目標(biāo)。

凈化空調(diào)控制

半導(dǎo)體廠房?jī)艋照{(diào)控制系統(tǒng)是潔凈車間建設(shè)的重要組成部分。工廠各種生產(chǎn)工藝的正常運(yùn)行依賴于高質(zhì)量的潔凈環(huán)境。能迪科技canlead?凈化空調(diào)控制系統(tǒng)是一套智能中央空調(diào)自動(dòng)控制系統(tǒng)（PLC）、自動(dòng)控制車間的溫度、濕度和壓力等，使其穩(wěn)定高效地運(yùn)行，從而滿足潔凈車間的設(shè)計(jì)要求。

控制凈化車間濕度和壓力

凈化車間的濕度和壓力主要取決于新風(fēng)機(jī)組，采用新風(fēng)機(jī)組PLC控制，整個(gè)空氣處理過程根據(jù)室外空氣溫度分為三個(gè)區(qū)域：當(dāng)室外空氣濕度為9.72g/kg干空氣時(shí)，空調(diào)機(jī)組冷盤管會(huì)除濕空氣，然后根據(jù)冷卻溫度調(diào)整電動(dòng)水閥的開度，確?？諝饴饵c(diǎn)值穩(wěn)定；室外氣體含濕量小于9.72g/kg，濕球溫度大于9.53℃當(dāng)空氣冷卻加濕時(shí)，通過空氣露點(diǎn)溫度值調(diào)整制冷盤管電動(dòng)水閥的開度，控制加濕器的加濕量；當(dāng)室外空氣的絕對(duì)濕度小于9.72g/kg，濕球溫度小于9.53℃加熱和加濕空氣時(shí)，通過出風(fēng)露點(diǎn)溫度自動(dòng)調(diào)節(jié)加熱盤管電動(dòng)閥的開度PLC控制器根據(jù)出風(fēng)空氣的含濕量值，控制加濕器的加濕量。具體控制參數(shù)應(yīng)根據(jù)各實(shí)例和工藝要求進(jìn)行適當(dāng)調(diào)整，盡可能找到滿足各工藝要求、最節(jié)能的控制點(diǎn)。

新風(fēng)機(jī)組壓差和加濕器控制

根據(jù)送風(fēng)主管壓力信號(hào)，通過變頻器調(diào)整風(fēng)機(jī)轉(zhuǎn)速，確保送風(fēng)主管靜壓；通過調(diào)整相應(yīng)的新風(fēng)支管電動(dòng)風(fēng)閥，實(shí)現(xiàn)室內(nèi)各區(qū)域所需的壓差值。

車間溫度控制

車間溫度主要由干盤管承擔(dān)，PLC控制器根據(jù)潔凈室各區(qū)域溫度傳感器的平均值，調(diào)整不同區(qū)域干盤管電動(dòng)閥的開度，確保該區(qū)域溫度的恒定值。自動(dòng)控制在滿足工藝需求的同時(shí)，盡可能及時(shí)調(diào)整和降低能耗。

推進(jìn)中國(guó)半導(dǎo)體材料國(guó)產(chǎn)化

在國(guó)家鼓勵(lì)半導(dǎo)體材料國(guó)產(chǎn)化的政策指導(dǎo)下，我國(guó)半導(dǎo)體材料制造商不斷提高半導(dǎo)體產(chǎn)品的技術(shù)水平和研發(fā)能力，以及能迪科技canlead?凈化空調(diào)控制系統(tǒng)將成為半導(dǎo)體行業(yè)快速發(fā)展的助推器，逐步打破國(guó)外半導(dǎo)體制造商的壟斷格局，促進(jìn)中國(guó)半導(dǎo)體材料國(guó)產(chǎn)化進(jìn)程。

審核編輯黃昊宇