2023年1月10日，北京賽微電子股份有限公司（以下簡稱“公司”）控股子公司賽萊克斯微系統(tǒng)科技（北京）有限公司（簡稱“賽萊克斯北京”）代工制造的某款 MEMS（微機電系統(tǒng)）生物芯片通過了客戶驗證，該客戶已同步簽署試產(chǎn)訂單，啟動首批MEMS生物芯片8英寸晶圓的小批量試生產(chǎn)。

生物微機電系統(tǒng)（BioMEMS）是指生物醫(yī)學工程與MEMS工程的交叉學科及應用，所對應的各類芯片系統(tǒng)涉及微傳感器、微驅動器、微流體系統(tǒng)、微光學系統(tǒng)及微機械元件等，可在生物學、醫(yī)學和生物醫(yī)學工程等領域廣泛應用。本次試產(chǎn)的MEMS生物芯片屬于一款具體產(chǎn)品及應用。MEMS生物芯片與相應檢測儀器配合使用，通過MEMS工藝技術在芯片表面構建微型生物化學分析系統(tǒng)，從而實現(xiàn)對生命機體的生物組分進行準確、快速、大量的信息檢測，可廣泛應用于基因測序等多種精準醫(yī)療檢測場景。

MEMS制造工藝可以在微小的生物芯片中加工微納米級別的泵、閥、管道、容器等，將生物傳感器的復雜功能集成內(nèi)置在芯片中，同時可以實現(xiàn)生物芯片的高靈敏度、高準確性、微創(chuàng)應用及低成本、大批量生產(chǎn)。賽萊克斯北京通過自身對材料與工藝的深刻理解，自主創(chuàng)新MEMS制造工藝的應用，成功地在產(chǎn)線上實現(xiàn)硅襯底與玻璃襯底的兼容，并在此基礎上完成加工制造過程。

近年來，賽萊克斯北京持續(xù)加大研發(fā)投入，自主積累基礎工藝，積極探索各類MEMS器件的生產(chǎn)訣竅，努力為全球通信、生物醫(yī)療、工業(yè)汽車、消費電子等各領域客戶，尤其是中國本土客戶提供優(yōu)質(zhì)的MEMS工藝開發(fā)及晶圓制造服務，積極推動公司在本土形成和提升自主可控的MEMS生產(chǎn)制造能力，加速國產(chǎn)替代。

盡管通過全員努力，已在多領域實現(xiàn)MEMS制造技術的積累和突破，但賽萊克斯北京客觀上仍處于運營初期，產(chǎn)線的產(chǎn)能爬坡、良率提升是一個持續(xù)的過程，產(chǎn)能的繼續(xù)擴充以及產(chǎn)量目標的實現(xiàn)尚需一定時間。

審核編輯 ：李倩