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不太可能全面禁止DUV設(shè)備銷往大陸，過度打壓適得其反

電子發(fā)燒友網(wǎng)報(bào)道（文/吳子鵬）根據(jù)日本媒體的最新報(bào)道，自2022年10月份以來，日本半導(dǎo)體設(shè)備的銷量已經(jīng)持續(xù)下滑。日本半導(dǎo)體設(shè)備協(xié)會(huì)（SEAJ）的統(tǒng)計(jì)數(shù)據(jù)顯示，2022年12月日本制造的半導(dǎo)體設(shè)備銷售額環(huán)比下降幅度達(dá)到了8.6%。日本半導(dǎo)體行業(yè)專家認(rèn)為，參與對(duì)華半導(dǎo)體設(shè)備出口管制，有可能讓日本半導(dǎo)體設(shè)備產(chǎn)業(yè)陷入持續(xù)下滑的糟糕局面。

針對(duì)近期變化莫測(cè)的全球半導(dǎo)體設(shè)備市場(chǎng)，尤其是大幅度擴(kuò)產(chǎn)、急需設(shè)備的中國(guó)半導(dǎo)體制造市場(chǎng)。投資銀行顧問公司Evercore ISI表示，不太可能全面限制DUV設(shè)備銷往大陸。

大陸是日本半導(dǎo)體設(shè)備的關(guān)鍵市場(chǎng)

從相關(guān)數(shù)據(jù)能夠看出，日本半導(dǎo)體設(shè)備廠商和大陸市場(chǎng)的關(guān)聯(lián)是非常密切的，從測(cè)試設(shè)備到制造設(shè)備都是如此。

在測(cè)試設(shè)備方面，日本測(cè)試設(shè)備供應(yīng)商愛德萬(wàn)測(cè)試是全球最大的半導(dǎo)體測(cè)試設(shè)備廠商。在市調(diào)機(jī)構(gòu)TechInsights發(fā)布的2022年十大半導(dǎo)體設(shè)備商評(píng)分排名中，該公司力壓ASML位列全球半導(dǎo)體設(shè)備廠商的榜首，也是唯一一家五星認(rèn)證的ATE供應(yīng)商。2018年市場(chǎng)份額數(shù)據(jù)顯示，愛德萬(wàn)測(cè)試在大陸測(cè)試設(shè)備市場(chǎng)的份額高達(dá)40%。在2020年的統(tǒng)計(jì)數(shù)據(jù)中，愛德萬(wàn)測(cè)試和泰瑞達(dá)也是大陸半導(dǎo)體測(cè)試設(shè)備市場(chǎng)排名前二的廠商，兩家公司在高端測(cè)試機(jī)和分選機(jī)方面具有壟斷性地位。而在整個(gè)大陸半導(dǎo)體測(cè)試設(shè)備市場(chǎng)，測(cè)試機(jī)和分選機(jī)合計(jì)的市場(chǎng)份額占比高達(dá)80%。

截止到2022年底的統(tǒng)計(jì)數(shù)據(jù)顯示，中國(guó)大陸占全球半導(dǎo)體測(cè)試設(shè)備的比例超過了四分之一，中國(guó)大陸和韓國(guó)一直以來都是需求最大的兩個(gè)市場(chǎng)。綜合上述數(shù)據(jù)來看，大陸市場(chǎng)是愛德萬(wàn)測(cè)試的關(guān)鍵市場(chǎng)。然而，隨著日本半導(dǎo)體政策傾向于美國(guó)一側(cè)，導(dǎo)致很多大陸廠商在購(gòu)買測(cè)試設(shè)備時(shí)將優(yōu)先考慮長(zhǎng)川科技、華峰數(shù)控、聯(lián)動(dòng)科技和金海通等國(guó)產(chǎn)半導(dǎo)體測(cè)試設(shè)備廠商。原本，愛德萬(wàn)測(cè)試、泰瑞達(dá)和科休2020年在中國(guó)大陸半導(dǎo)體測(cè)試設(shè)備市場(chǎng)的份額曾高達(dá)92%。然而，相關(guān)政策倒逼大陸半導(dǎo)體測(cè)試設(shè)備廠商積極自研，使得這一數(shù)據(jù)持續(xù)降低，并拖累日本半導(dǎo)體測(cè)試設(shè)備向大陸的出口。

同樣受到政策影響的日本半導(dǎo)體設(shè)備廠商還有東京電子。東京電子也是全球前十大半導(dǎo)體設(shè)備廠商，2021年的財(cái)報(bào)數(shù)據(jù)顯示，中國(guó)大陸是東京電子最大的銷售市場(chǎng)，銷售占比高達(dá)28.3%。針對(duì)每一次美政府對(duì)華芯片管制措施的公布，東京電子都曾公開表示擔(dān)憂，并解釋稱，存在中國(guó)大陸客戶延遲購(gòu)買設(shè)備，以及通過國(guó)產(chǎn)設(shè)備替代影響銷售的風(fēng)險(xiǎn)，如果管制措施進(jìn)一步加強(qiáng)，“我們的中國(guó)（大陸）客戶可能無(wú)法生產(chǎn)芯片，我們非常擔(dān)心這種情況?！?/div>

日本媒體綜合分析東京電子近些年的季度性財(cái)報(bào)后發(fā)現(xiàn)，在整個(gè)2020年和2021年里，中國(guó)大陸市場(chǎng)都是東京電子最大的銷售市場(chǎng)。然而隨著2022年第四季度相關(guān)政策進(jìn)一步收緊，在2023年第一季度東京電子在中國(guó)大陸市場(chǎng)的銷售額將出現(xiàn)大幅下滑，不敵中國(guó)臺(tái)灣市場(chǎng)。更糟糕的情況是，在大陸市場(chǎng)下滑的同時(shí)，其他市場(chǎng)的銷售額預(yù)期并沒有出現(xiàn)增長(zhǎng)抵消這部分消極影響。

日本半導(dǎo)體制造設(shè)備協(xié)會(huì)預(yù)測(cè)，2023年日本半導(dǎo)體設(shè)備的銷售額將出現(xiàn)近四年來的首次下降。包括東京電子在內(nèi)的多家日本半導(dǎo)體廠商都已經(jīng)給出了恐慌性的預(yù)測(cè)，除了2023年Q1銷售額大幅下滑以外，后續(xù)的行業(yè)下滑程度有很大概率進(jìn)一步加重。

根據(jù)相關(guān)統(tǒng)計(jì)數(shù)據(jù)，日本目前在涂覆顯影設(shè)備、熱處理設(shè)備、單片式清洗設(shè)備、批量式清洗設(shè)備、光罩檢測(cè)設(shè)備、測(cè)長(zhǎng)SEM等方面占據(jù)更高的份額，不過這些環(huán)節(jié)的整體市場(chǎng)規(guī)模都不超過50億美元，規(guī)模效應(yīng)并不強(qiáng)，容易出現(xiàn)替代情況。已經(jīng)有多篇日本媒體報(bào)道明確指出，參與美國(guó)對(duì)華芯片制裁，有可能導(dǎo)致日本半導(dǎo)體設(shè)備行業(yè)出現(xiàn)衰落。

事實(shí)上，很多美國(guó)半導(dǎo)體設(shè)備公司也不希望進(jìn)一步擴(kuò)大對(duì)華出口半導(dǎo)體設(shè)備的限制范圍。我們?cè)谶^去的文章中提到過，在美國(guó)半導(dǎo)體設(shè)備廠商泛林集團(tuán)的市場(chǎng)營(yíng)收中，中國(guó)大陸地區(qū)貢獻(xiàn)了33%；在美國(guó)半導(dǎo)體設(shè)備廠商科磊的營(yíng)收里，中國(guó)大陸地區(qū)貢獻(xiàn)了31%；在應(yīng)用材料的營(yíng)收里，中國(guó)大陸地區(qū)貢獻(xiàn)了32%。這些數(shù)據(jù)都表明，美國(guó)半導(dǎo)體設(shè)備廠商也和中國(guó)市場(chǎng)有了很深的聯(lián)系，如果全面禁止半導(dǎo)體制造關(guān)鍵設(shè)備之一的***進(jìn)入中國(guó)大陸市場(chǎng)，那么將使得大陸廠商對(duì)其他配套設(shè)備的需求也出現(xiàn)下滑，最終由設(shè)備廠和客戶方共同買單。

這也是為什么Evercore ISI等機(jī)構(gòu)會(huì)預(yù)言，不太可能全面禁止DUV***進(jìn)入大陸市場(chǎng)。

大陸芯片制造的突圍

ASML首席執(zhí)行官溫彼得（Peter Wennink）此前曾公開表示，美國(guó)制定的出口管制政策將會(huì)促使中國(guó)大陸研發(fā)出屬于自己的先進(jìn)技術(shù)。確實(shí)，在目前EUV***確定無(wú)法進(jìn)入大陸市場(chǎng)的情況下，大陸并沒有放棄對(duì)先進(jìn)芯片的研發(fā)。數(shù)據(jù)顯示，2022年第一季度ASML曾一口氣向大陸市場(chǎng)出口了23臺(tái)DUV***，遠(yuǎn)超之前的出貨速度。一方面，ASML是為了顯示對(duì)大陸市場(chǎng)的重視；另一方面，也是希望搶在佳能和尼康的前面，盡可能多地占據(jù)市場(chǎng)，畢竟大陸目前在芯片制造方面，開始多方面的創(chuàng)新。

首先是在先進(jìn)封裝方面，對(duì)于產(chǎn)業(yè)而言，先進(jìn)封裝是延續(xù)摩爾定律的主要技術(shù)手段。不過，對(duì)于大陸半導(dǎo)體制造而言，先進(jìn)封裝有望成為一條突圍的道路。因此，我們可能看到，目前大陸在3D封裝、扇形封裝(FOWLP/PLP)、微間距焊線技術(shù)，以及系統(tǒng)封裝(SiP)等方面都進(jìn)行積極的投入。尤其是在Chiplet方案上，很多公司都將Chiplet方案定義為彌補(bǔ)大陸先進(jìn)制程產(chǎn)業(yè)鏈落后的有效手段，目前國(guó)內(nèi)領(lǐng)先的封裝廠商通富微電、長(zhǎng)電科技、華天科技都在積極地布局Chiplet封裝技術(shù)。

另外，近日浙商證券在名為《2023半導(dǎo)體未來十大產(chǎn)業(yè)趨勢(shì)預(yù)測(cè)》的報(bào)告中也指出，F(xiàn)D-SOI可以為***制造開啟先進(jìn)制程的大門提供可能。報(bào)告中寫到，理論上，利用DUV***制造的FD-SOI產(chǎn)品，可以達(dá)到與采用EUV***制造的FinFET產(chǎn)品相當(dāng)?shù)男阅?。FD-SOI作為一項(xiàng)和FinFET并行發(fā)展的芯片制造技術(shù)，誕生于法國(guó)CEA-Leti實(shí)驗(yàn)室。過往，由于缺乏產(chǎn)業(yè)生態(tài)支持，導(dǎo)致FD-SOI創(chuàng)新力不足。格芯曾嘗試研發(fā)7nm的FD-SOI工藝，不過最終放棄了。如果國(guó)內(nèi)公司能夠從意法半導(dǎo)體方面取得授權(quán)，重啟FD-SOI在先進(jìn)制程方面的研發(fā)，也不失為一條路。

此外，相信國(guó)內(nèi)公司也會(huì)明確關(guān)注納米壓印光刻(NIL)等相關(guān)技術(shù)的發(fā)展。NIL制造設(shè)備采用了一種模版技術(shù)，該技術(shù)涉及通過噴射技術(shù)在基底上沉積的低粘度抗蝕劑的逐場(chǎng)沉積和曝光。由于不需要寬直徑透鏡陣列和高級(jí)光刻設(shè)備所需的昂貴光源，NIL技術(shù)是擺脫EUV***的有效方法。目前，大陸在可預(yù)見的未來，基本都無(wú)法購(gòu)買到EUV***，嘗試替代技術(shù)也是一種方案。相同的替代技術(shù)還有定向自組裝 (DSA) 和等離子激光等。

寫在最后

大陸在先進(jìn)制程方面被限制已經(jīng)成為既定的事情，并且短期來看這種局面是不會(huì)改觀的。但是，半導(dǎo)體設(shè)備廠商和大陸市場(chǎng)深入的綁定，以及國(guó)產(chǎn)化設(shè)備的快速進(jìn)展，都使得全面禁止DUV設(shè)備進(jìn)入大陸市場(chǎng)的阻力很大，但意義并不會(huì)很大。

不過，大陸的芯片制造產(chǎn)業(yè)也不會(huì)抱有僥幸的心理。除了持續(xù)研發(fā)更高端的國(guó)產(chǎn)半導(dǎo)體設(shè)備以外，各公司必將在政策的支持下，投入重金研發(fā)替代性技術(shù)，尋求進(jìn)入先進(jìn)制程的方法。這也就是為什么國(guó)際上的半導(dǎo)體設(shè)備廠商直言，過度打壓反而會(huì)適得其反。

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