來源：《半導體芯科技》雜志 12/1月刊

現(xiàn)今，氮化硅（SiN）為光子集成提供了更多的途徑，包括新的200mm、高產(chǎn)量、汽車級CMOS生產(chǎn)線。在過去的幾年里，SiN緊隨確立已久的硅光子學之后，該材料平臺已經(jīng)成熟，并在光子集成電路（PIC）市場上，為那些需要非常低傳播損耗、可見波長或高激光功率的應用提供了新的機會。

光子集成電路（PIC）即將重演電子集成電路（IC）的成功故事。PIC的運行使用的是光，而不是電子。在未來的通信、傳感和交通運輸領(lǐng)域的基礎(chǔ)設(shè)施中，PIC將發(fā)揮重要作用。雖然硅光子學已經(jīng)存在了20多年，但是在過去的10年里引入了新的材料平臺，這些材料平臺可以提供額外的好處。

使用氮化硅（SiN）波導的動機是多方面的。首先，氮化硅是一種眾所周知的可以兼容CMOS的材料，而且已經(jīng)在半導體行業(yè)廣泛使用。這使得能夠利用標準的CMOS工藝來開發(fā)制備方法和工藝設(shè)計套件（PDK）。當后來根據(jù)批量生產(chǎn)要求對工藝流程進行調(diào)整時，或者更重要的是，當使用已有的基礎(chǔ)設(shè)施來運行工藝流程時，這是主要的要求之一。其次，作為一種材料，氮化硅為PIC市場提供了新的可能性。例如，如果我們將應用波長視作一個主要參數(shù)，可以看到，在經(jīng)典的硅光子學中（光波在硅材料中被引導），透明度開始于一微米以上。這一點非常適合許多光纖應用，特別是通信。

然而，還有更多需要在較低波長下進行光傳播的應用，這是硅光子學不能滿足的。氮化硅具有從可見光到中紅外的透明度窗口（transparency window），這為實現(xiàn)新的應用開辟了道路。除此之外，與硅或磷化銦相比，氮化硅的傳播損耗極低。最后（但并非最不重要的）一點是，由于氮化硅具有大帶隙，因此幾瓦特CW激光功率的高功率傳播是可能的。這就是氮化硅能夠提供出色性能以控制芯片電路中的光，同時具備前所未有的低傳播損耗和高功率處理能力的原因所在。

現(xiàn)有的應用

電信和數(shù)據(jù)通信行業(yè)是目前最大的PIC消費用戶群之一。降低光學損耗在這些領(lǐng)域變得越來越重要，因為光學損耗不僅影響能耗，還會影響器件的性能。用于波分（比如MUX和DEMUX）的陣列波導光柵（AWG）的串擾性能與光傳播損耗成正比。具有高傳播損耗的AWG在其臂中逐步累積相位誤差，因而導致通道之間的串擾增加。另一個關(guān)鍵參數(shù)是使AWG具有低溫度依賴性，以盡量減少力的原因所在。熱效應對器件性能的影響。

氮化硅的溫度依賴性比硅低10倍。此外，還需要一種優(yōu)良的過程控制，以確保正確的波段選擇。統(tǒng)計過程控制利用LIGENTEC公司的制備平臺保證了這一點。特別是對于AWG，LIGENTEC的專有技術(shù)提供了競爭優(yōu)勢，因為不僅波導的損耗非常低，而且由于該平臺常見的小彎曲半徑，所以陣列波導光柵的面積尺寸很小。波導中的光學模式的高約束使之成為可能。LIGENTEC平臺提供了非常低的相位誤差以及小的占位面積。

新的應用

上述優(yōu)點對于其他新的應用也是具有極為重要意義的。例如，為了實現(xiàn)全自動駕駛，預計用于長距離傳感的下一代LiDAR傳感器將基于相干檢測。這里，反射的光束與一個局部振蕩器混合，濾除所有并非從物體反射回來的光。這些相干檢測方案相當復雜，并且顯著得益于光子集成。

此類調(diào)頻連續(xù)波激光雷達（FMCW LiDAR）的關(guān)鍵要求是：能夠傳輸高的光學功率；具有低傳播損耗和低相位誤差；最后（但同樣重要的）一點是發(fā)送和接收通道之間的串擾應很低。這里的一個關(guān)鍵構(gòu)建塊是用于控制激光信號調(diào)制的延遲線干涉儀。延遲線的長度是一個至關(guān)重要的性能參數(shù)，因為它直接關(guān)系到距離測量的精度。由于傳播損耗低，彎曲半徑短，因此芯片上的延遲線長度可以達到1m。這與低相位噪聲相結(jié)合，實現(xiàn)了高分辨率的FMCW LiDAR解決方案。

要使量子計算機成為現(xiàn)實，最有希望的途徑之一是運用光子。實現(xiàn)可擴展光子量子計算機的唯一方法是借助光子集成，這里，量子態(tài)是以光學方式生成和處理的。各個組件之間的高相位穩(wěn)定性是保持量子態(tài)的一項絕對要求。芯片技術(shù)提供的相位穩(wěn)定性是分立光學組件無法實現(xiàn)的。此外，量子計算機需要數(shù)百個節(jié)點才能與經(jīng)典計算機競爭，同時，用于每個節(jié)點的組件必需很小，并有可擴展性?；谏鲜鏊性颍庾蛹墒菍崿F(xiàn)光子量子計算機的唯一途徑。在量子光子學中，每個光子都很重要，面臨的最大挑戰(zhàn)是需將光子損失保持在最低限度。因此，低損耗的PIC平臺是實現(xiàn)成功光子集成的一個關(guān)鍵要求。

最近，領(lǐng)先的量子計算公司Xanadu首次演示了在室溫下使用LIGENTEC氮化硅芯片技術(shù)的云量子計算。

為了應對現(xiàn)有應用和新的應用，LIGENTEC開發(fā)了一款可以與廣泛的工藝設(shè)計套件（PDK）配合使用的工藝制備產(chǎn)品。波導寬度是一個設(shè)計參數(shù)，有10多個工藝模塊可用于創(chuàng)建多種有用的功能，例如：脊型波導、雙層波導、熱調(diào)諧元件以及用于傳感應用或與其他材料的異質(zhì)集成的局部包層開口。

另外，PDK庫還包括一大批具有已知性能和統(tǒng)計數(shù)據(jù)的組件和構(gòu)建塊，供設(shè)計人員作為構(gòu)件用于構(gòu)建電路。這些構(gòu)建塊從各種波導到分路器、交叉點、延遲線到濾波器、偏振旋轉(zhuǎn)器和偏振濾光器等均在其列。其他構(gòu)建塊包括反射鏡，以及用于光纖輸入和輸出耦合的組件等等。這得到了具有商用軟件的設(shè)計流程和擁有平臺專業(yè)知識的設(shè)計公司的支持。

由于氮化硅是一種固有的無源材料，因此LIGENTEC開發(fā)了特殊的制備模塊以集成活性材料。通過異質(zhì)集成，可以將選擇的材料置于SiN波導的頂部。例如，考慮一個基于Mach-Zehnder干涉儀的調(diào)制器，其中光相位在一個臂上改變，組合產(chǎn)生的輸出被調(diào)制，以實現(xiàn)調(diào)制速度達到幾十GHz的快速開關(guān)或調(diào)制器。通過將一塊鈮酸鋰直接放在SiN波導的頂部，部分光線將在上部材料中傳播，這樣就可以對其進行操縱了。

相同的原理可以應用于黏合III-V族化合物半導體材料組件，如激光器或檢測器。

2021年9月，LIGENTEC宣布在X-FAB代工廠生態(tài)系統(tǒng)內(nèi)實施其專有的低損耗氮化硅工藝技術(shù)。憑借這一合作關(guān)系，PIC生態(tài)系統(tǒng)所有的基本元件現(xiàn)在都可以在歐洲達到批量上市的水平，對于實現(xiàn)自動駕駛汽車、量子計算機、生物傳感器和其他應用所需的大量傳感器的安全、獨立供應來說，這是一個關(guān)鍵的條件。由于和X-FAB的這種戰(zhàn)略合作關(guān)系，LIGENTEC現(xiàn)在可以接受基于200mm晶圓的低損耗SiN PIC的批量生產(chǎn)要求。通過這種方式，LIGENTEC期待著為其現(xiàn)有的客戶群和新客戶擴大其快速周轉(zhuǎn)、高質(zhì)量、低損耗PIC產(chǎn)品供應。

審核編輯黃宇