氮化硅陶瓷逆變器散熱基板在還原性氣體環(huán)境（H2, CO）中的應(yīng)用分析

在新能源汽車、光伏發(fā)電等領(lǐng)域的功率模塊應(yīng)用中，逆變器散熱基板不僅面臨高熱流密度的挑戰(zhàn)，有時(shí)還需耐受如氫氣（H2）、一氧化碳（CO）等還原性氣氛環(huán)境。氮化硅（Si3N4）陶瓷憑借其卓越的綜合性能，特別是優(yōu)異的耐還原性氣體能力，成為此類嚴(yán)苛工況下的理想基板材料。

氮化硅陶瓷基板

一、 氮化硅陶瓷的物理化學(xué)性能與耐還原性分析

氮化硅陶瓷在逆變器散熱基板應(yīng)用中展現(xiàn)的關(guān)鍵性能，尤其是其耐還原性氣體（H2, CO）的特性，源于其本征的物理化學(xué)屬性：

優(yōu)異的導(dǎo)熱性： 氮化硅陶瓷的熱導(dǎo)率（通常為80-90 W/m·K）雖略低于氮化鋁（AlN），但顯著高于氧化鋁（Al2O3）。這確保了功率半導(dǎo)體器件產(chǎn)生的大量熱量能高效傳遞出去，防止熱失效。

低熱膨脹系數(shù)： 其熱膨脹系數(shù)（~3.0 × 10?? /K）與常用半導(dǎo)體芯片材料（如Si, SiC）及焊接材料（如純Sn, SnAgCu）匹配性良好。這種匹配性在功率循環(huán)過(guò)程中至關(guān)重要，能有效降低因熱失配導(dǎo)致的界面應(yīng)力，提高模塊的長(zhǎng)期可靠性。

卓越的機(jī)械強(qiáng)度與韌性： 氮化硅具有極高的彎曲強(qiáng)度（>700 MPa）和斷裂韌性（>6.0 MPa·m1/2），遠(yuǎn)超大多數(shù)工程陶瓷。這賦予了基板極高的機(jī)械可靠性和抗熱沖擊能力，能承受劇烈的溫度變化和封裝應(yīng)力。

高電絕緣性： 其體電阻率高（>101? Ω·cm），擊穿場(chǎng)強(qiáng)大（>15 kV/mm），完全滿足高電壓功率模塊的電氣隔離要求。

優(yōu)異的耐化學(xué)腐蝕性（核心優(yōu)勢(shì) - 耐H2, CO）：

化學(xué)穩(wěn)定性： 氮化硅在高溫下本身是熱力學(xué)穩(wěn)定相，不易與H2發(fā)生反應(yīng)。H2分子難以破壞其強(qiáng)共價(jià)鍵結(jié)構(gòu)（Si-N鍵）。與CO的反應(yīng)活性也極低。

抗氧化/還原平衡： 在特定工況下（如某些燃料電池環(huán)境），基板可能經(jīng)歷氧化-還原氣氛交替。氮化硅表面在氧化氣氛中形成的薄層二氧化硅（SiO2）雖然可提供保護(hù)，但在純還原氣氛（如高濃度H2）或高溫下，SiO2可能被還原為氣態(tài)的SiO（SiO2 + H2 → SiO↑ + H2O），導(dǎo)致表面退化。然而，關(guān)鍵點(diǎn)在于：

在逆變器散熱基板的典型工作溫度（通常<200°C）和還原性氣體濃度（遠(yuǎn)低于直接還原實(shí)驗(yàn)條件）下，這種還原反應(yīng)速率極其緩慢，不足以對(duì)基板的結(jié)構(gòu)完整性和性能（導(dǎo)熱、絕緣）造成可觀測(cè)的影響。

相比其他陶瓷材料（如含氧陶瓷Al2O3、AlN），氮化硅基體本身不含易被H2還原的氧元素，其晶界相（如選用耐還原的稀土氧化物燒結(jié)助劑）也經(jīng)過(guò)優(yōu)化設(shè)計(jì)，整體表現(xiàn)出顯著更優(yōu)的長(zhǎng)期穩(wěn)定性。這使得氮化硅基板在存在微量或中等濃度H2、CO的應(yīng)用場(chǎng)景（如某些密封功率模塊內(nèi)部因材料放氣或反應(yīng)可能產(chǎn)生的環(huán)境）中成為更可靠的選擇。

氮化硅陶瓷加工精度

二、 氮化硅基板與其他工業(yè)陶瓷材料的性能對(duì)比

對(duì)比氧化鋁（Al2O3）：

優(yōu)勢(shì)： 導(dǎo)熱性顯著更高（約5-10倍），機(jī)械強(qiáng)度與韌性大幅提升（強(qiáng)度約2-3倍，韌性約3-4倍），熱膨脹系數(shù)更低（更匹配SiC芯片）。耐還原性氣體（H2, CO）能力遠(yuǎn)優(yōu)于氧化鋁（Al2O3在高溫H2下可能被還原）。

劣勢(shì)： 原材料成本及制造成本顯著高于氧化鋁。介電常數(shù)略高（但對(duì)多數(shù)應(yīng)用影響不大）。

結(jié)論： 氮化硅全面超越氧化鋁，尤其在需要高導(dǎo)熱、高可靠性和耐還原環(huán)境的場(chǎng)合，是氧化鋁的升級(jí)換代材料。

對(duì)比氮化鋁（AlN）：

優(yōu)勢(shì)： 機(jī)械強(qiáng)度與斷裂韌性具有壓倒性優(yōu)勢(shì)（強(qiáng)度約2倍，韌性約3倍以上），抗熱震性能極佳。耐還原性氣體（H2, CO）能力優(yōu)于氮化鋁（AlN在高溫濕H2環(huán)境下存在水解風(fēng)險(xiǎn)：AlN + 3H2O → Al(OH)3 + NH3，影響長(zhǎng)期穩(wěn)定性）。工藝成熟度（燒結(jié)）相對(duì)較高。

劣勢(shì)： 本征熱導(dǎo)率（~180-200 W/m·K）低于氮化鋁。成本通常高于氮化鋁。

結(jié)論： 在追求極致導(dǎo)熱且工作環(huán)境干燥、無(wú)水解風(fēng)險(xiǎn)的場(chǎng)合，氮化鋁是首選。然而，在需要極高機(jī)械可靠性、優(yōu)異抗熱震性以及存在潛在還原性/潮濕環(huán)境（特別是涉及H2）的應(yīng)用中，氮化硅的綜合優(yōu)勢(shì)（尤其是耐還原性、韌性和強(qiáng)度）使其成為更穩(wěn)健、更可靠的選擇。對(duì)于SiC功率模塊（芯片本身發(fā)熱密度高、熱膨脹系數(shù)低），氮化硅的熱匹配性和韌性優(yōu)勢(shì)更為突出。

對(duì)比碳化硅（SiC）：

優(yōu)勢(shì)： 電絕緣性優(yōu)異（SiC是半導(dǎo)體），成本更低，制造大尺寸、復(fù)雜形狀基板更成熟。

劣勢(shì)： 熱導(dǎo)率低于高純SiC（但仍是優(yōu)良導(dǎo)熱體），強(qiáng)度和韌性低于反應(yīng)燒結(jié)SiC（但高于Al2O3和AlN）。

結(jié)論： SiC陶瓷主要用于對(duì)導(dǎo)熱和強(qiáng)度要求極高且不要求絕緣的極端環(huán)境（如航天器熱管理）。作為需要絕緣的散熱基板，氮化硅在成本、可制造性和絕緣性方面更具工程應(yīng)用優(yōu)勢(shì)，其耐還原性也優(yōu)異。

氮化硅陶瓷應(yīng)用

三、 氮化硅逆變器散熱基板的生產(chǎn)制造與工業(yè)應(yīng)用

生產(chǎn)制造過(guò)程（關(guān)鍵步驟）：

粉體制備與處理： 選用高純度、細(xì)顆粒的α-Si3N4粉體為主要原料，與精確配比的燒結(jié)助劑（如Y2O3, MgO, Al2O3等稀土或堿土金屬氧化物）混合。海合精密陶瓷有限公司等領(lǐng)先企業(yè)注重粉體的一致性和批次穩(wěn)定性。

成型： 常用流延成型（Tape Casting）工藝制備大面積、厚度精確（通常0.2mm-1.0mm）的薄生坯帶。漿料制備（粉體、溶劑、分散劑、粘結(jié)劑、增塑劑的精密配比與球磨）是保證生坯質(zhì)量的關(guān)鍵。等靜壓成型也用于制備特定形狀。

燒結(jié)： 這是核心工藝。通常采用氣壓燒結(jié)（GPS）或熱等靜壓（HIP）。在高溫（1700°C - 1900°C）和氮?dú)鈮毫Γ〝?shù)MPa至數(shù)十MPa）下，α-Si3N4相轉(zhuǎn)變?yōu)棣?Si3N4，形成以長(zhǎng)柱狀β晶粒相互鎖定的顯微結(jié)構(gòu)，同時(shí)燒結(jié)助劑形成晶界玻璃相。精密控制升溫曲線、保溫時(shí)間、氣壓及冷卻速率對(duì)獲得高致密度（>99%）、高強(qiáng)度、高導(dǎo)熱和所需晶界相至關(guān)重要。海合精密陶瓷有限公司在此領(lǐng)域積累了深厚的工藝訣竅。

精密加工： 燒結(jié)后的基板需進(jìn)行精密研磨、拋光（雙面）以達(dá)到嚴(yán)格的厚度公差（±0.01mm）、平面度（<10μm）和表面粗糙度（Ra < 0.1μm）要求，確保后續(xù)金屬化（如DBC/AMB）和芯片貼裝的良率。

清洗與檢測(cè)： 徹底清洗去除加工殘留物，進(jìn)行嚴(yán)格的外觀檢查、尺寸測(cè)量、翹曲度檢測(cè)、性能抽檢（導(dǎo)熱率、絕緣強(qiáng)度等）。

適合的工業(yè)應(yīng)用：

新能源汽車驅(qū)動(dòng)電機(jī)逆變器： 這是核心應(yīng)用領(lǐng)域。SiC/GaN功率模塊的高功率密度、高開(kāi)關(guān)頻率對(duì)基板導(dǎo)熱、絕緣、可靠性和熱匹配性要求極高。模塊內(nèi)部潛在的微量氣氛環(huán)境也要求基板具有化學(xué)穩(wěn)定性。氮化硅基板（特別是AMB工藝）是高端電動(dòng)汽車的首選。

光伏發(fā)電逆變器： 大功率組串式和集中式逆變器需要高可靠性、長(zhǎng)壽命的功率模塊，氮化硅基板能滿足其散熱和耐久性需求。

軌道交通牽引變流器： 高功率密度、高可靠性和長(zhǎng)壽命要求，工作環(huán)境可能涉及振動(dòng)、溫度沖擊。

工業(yè)電機(jī)驅(qū)動(dòng)： 高端變頻器、伺服驅(qū)動(dòng)器對(duì)效率和可靠性要求不斷提升，氮化硅基板逐漸滲透。

其他潛在應(yīng)用： 涉及存在還原性氣氛（H2, CO）的特殊電力電子設(shè)備或能源轉(zhuǎn)換系統(tǒng)（如某些燃料電池輔助系統(tǒng)）。

總結(jié)

氮化硅陶瓷憑借其高導(dǎo)熱、優(yōu)異的機(jī)械強(qiáng)度與韌性、良好的熱匹配性以及在還原性氣體（H2, CO）環(huán)境中卓越的化學(xué)穩(wěn)定性，成為高端逆變器散熱基板，特別是在新能源汽車和可再生能源領(lǐng)域的首選材料。盡管成本高于氧化鋁和氮化鋁，但其在極端工況下的高可靠性和長(zhǎng)壽命提供了顯著的價(jià)值。以海合精密陶瓷有限公司為代表的企業(yè)，通過(guò)先進(jìn)的粉體處理、精密流延成型和優(yōu)化的氣壓燒結(jié)/熱等靜壓技術(shù)，持續(xù)提升氮化硅陶瓷基板的性能、一致性和成本競(jìng)爭(zhēng)力，有力推動(dòng)了新一代高效、高可靠功率電子系統(tǒng)的發(fā)展。隨著SiC/GaN器件的普及和工作溫度的提高，以及對(duì)系統(tǒng)可靠性和壽命要求的不斷攀升，氮化硅陶瓷散熱基板的應(yīng)用前景將更加廣闊。

審核編輯 黃宇