北京大學(xué)-微納電子器件與集成技術(shù)全國重點(diǎn)實(shí)驗(yàn)室

近年來，MEMS（微電子機(jī)械系統(tǒng)）器件的出現(xiàn)極大擴(kuò)展了微電子學(xué)領(lǐng)域研究的范疇，北京大學(xué)電子學(xué)院是我國最好的微納電子及集成電路科技研究與教育基地之一，其發(fā)展歷史可以追溯到1956年由著名物理學(xué)家黃昆院士領(lǐng)導(dǎo)在北大物理系創(chuàng)建的我國第一個(gè)半導(dǎo)體專門化。

北京大學(xué)集成微納系統(tǒng)研究所，擁有完整的微米/納米加工工藝線，具備可同時(shí)開展MOS、硅基MEMS和集成化工藝技術(shù)研究的實(shí)驗(yàn)環(huán)境，研究內(nèi)容包括MEMS陀螺儀、加速度計(jì)、射頻器件、光學(xué)器件、柔性器件等一系列MEMS器件，以硅基MEMS為基礎(chǔ)，開發(fā)了SiC MEMS、 GaN MEMS、Ti MEMS、 Parylene MEMS等一系列加工技術(shù)。

集成電路方面，北京大學(xué)在中國微電子產(chǎn)業(yè)的發(fā)展過程中有著輝煌的歷史。在20世紀(jì)七十年代研制出我國第一塊三種類型包括硅柵N溝道1K MOS DRAM，是我國微電子科學(xué)技術(shù)史上的重要里程碑之一，獲全國科學(xué)大會(huì)獎(jiǎng)，是中國最早的大規(guī)模集成電路的發(fā)源地之一。

在相關(guān)領(lǐng)域，北京大學(xué)擁有王陽元院士、黃如院士、吳文剛教授、張海霞教授、金玉豐教授、于曉梅教授等一批杰出專家。

電子科技大學(xué)-電子薄膜與集成器件全國重點(diǎn)實(shí)驗(yàn)室

電子薄膜與集成器件全國重點(diǎn)實(shí)驗(yàn)室由原電子薄膜與集成器件國家重點(diǎn)實(shí)驗(yàn)室改組，于2006年7月經(jīng)科技部批準(zhǔn)建設(shè)，實(shí)驗(yàn)室緊密結(jié)合電子信息系統(tǒng)微小型化和單片集成的重大需求，重點(diǎn)圍繞電子功能材料的薄膜化和電子器件的集成化開展基礎(chǔ)、應(yīng)用基礎(chǔ)與工程應(yīng)用的研究?，F(xiàn)任實(shí)驗(yàn)室學(xué)術(shù)委員會(huì)主任為雷清泉院士，實(shí)驗(yàn)室主任為李言榮院士。

實(shí)驗(yàn)室以下三個(gè)方向作為重點(diǎn)研究方向：⑴ 磁電薄膜與微型器件，主要解決集成器件中電磁信息的探測(cè)和傳輸。⑵ 功率半導(dǎo)體器件及集成技術(shù)，主要解決集成系統(tǒng)中信息的處理和執(zhí)行。⑶ 電子聚合物與微結(jié)構(gòu)傳感器，主要解決微結(jié)構(gòu)中光電信息的獲取和傳感。

清華大學(xué)-精密測(cè)試技術(shù)及儀器全國重點(diǎn)實(shí)驗(yàn)室

精密測(cè)試技術(shù)及儀器全國重點(diǎn)實(shí)驗(yàn)室由原精密測(cè)試技術(shù)及儀器國家重點(diǎn)實(shí)驗(yàn)室改組，由清華大學(xué)與天津大學(xué)聯(lián)合共建，是1990年經(jīng)國家計(jì)委批準(zhǔn)、利用世行貸款建設(shè)的實(shí)驗(yàn)室。目前實(shí)驗(yàn)室的學(xué)科領(lǐng)域涵蓋了“儀器科學(xué)與技術(shù)”（兩校）和“光學(xué)工程”（清華）兩個(gè)國家一級(jí)重點(diǎn)學(xué)科。實(shí)驗(yàn)室分為清華大學(xué)實(shí)驗(yàn)區(qū)和天津大學(xué)實(shí)驗(yàn)區(qū)。

實(shí)驗(yàn)室的主要研究領(lǐng)域和方向有：激光及光電測(cè)試技術(shù)、傳感及測(cè)量信息技術(shù)、微納制造與測(cè)試技術(shù)、制造質(zhì)量控制技術(shù)。

復(fù)旦大學(xué)—集成芯片與系統(tǒng)全國重點(diǎn)實(shí)驗(yàn)室

集成芯片與系統(tǒng)全國重點(diǎn)實(shí)驗(yàn)室是科技部邂選的首批20個(gè)標(biāo)桿全國重點(diǎn)實(shí)驗(yàn)室之一，依托復(fù)日大學(xué)建設(shè)，劉明院士任實(shí)驗(yàn)室主任。

實(shí)驗(yàn)室設(shè)立了主攻任務(wù)“集成芯片與系統(tǒng)應(yīng)用”及其相關(guān)支撐任務(wù)，并把握綜合性大學(xué)優(yōu)勢(shì)，組織集成電路、信息、計(jì)算機(jī)、物理、材料等領(lǐng)域?qū)W者，設(shè)立組建了集成芯片、EDA、IP/架構(gòu)、先進(jìn)裝備、超高速電路與系統(tǒng)和未來芯片等6個(gè)創(chuàng)新中心。各中心根據(jù)自身特長，圍繞“存算一體3D集成芯片”技術(shù)路線，在多芯架構(gòu)、通用處理器、智能處理器、互連電路、多物理場(chǎng)仿真器、新一代感存算器件和2.5D/3D集成布局布線EDA等方向?qū)嵺`有組織科研。

西安交通大學(xué)-精密微納制造全國重點(diǎn)實(shí)驗(yàn)室

西安交通大學(xué)擁有成立于1996年的精密工程研究所及機(jī)械制造系統(tǒng)工程國家重點(diǎn)實(shí)驗(yàn)室等研究機(jī)構(gòu)，開展MEMS傳感器與核心芯片及其系列器件、納米計(jì)量技術(shù)與納米器件、精密超精密加工技術(shù)及裝備、精密測(cè)量技術(shù)及裝備、生物檢測(cè)技術(shù)及分子診斷科學(xué)儀器等方面的研究，先后承擔(dān)了國家和國防各類重大重點(diǎn)項(xiàng)目及其它省部委科研項(xiàng)目數(shù)百項(xiàng)。先后獲得國家技術(shù)發(fā)明二等獎(jiǎng)3項(xiàng)，國家科技進(jìn)步二等獎(jiǎng)4項(xiàng)，省部級(jí)獎(jiǎng)項(xiàng)30余項(xiàng)，發(fā)表論文1300余篇，授權(quán)發(fā)明專利340余項(xiàng)。

西安交通大學(xué)擁有蔣莊德院士、趙玉龍教授等一批長期從事微納制造領(lǐng)域研究的杰出專家。

哈爾濱工程大學(xué)-水聲技術(shù)全國重點(diǎn)實(shí)驗(yàn)室

水聲技術(shù)全國重點(diǎn)實(shí)驗(yàn)室由原水聲技術(shù)國家重點(diǎn)實(shí)驗(yàn)室改組，實(shí)驗(yàn)室圍繞國家、國防重大科技前沿、裝備研究的重大需求和制約水聲技術(shù)性能的重大基礎(chǔ)問題和技術(shù)瓶頸，探索水聲技術(shù)的新原理、新方法，以創(chuàng)新解決水下探測(cè)和反探測(cè)的難題，帶動(dòng)水聲物理、水聲目標(biāo)探測(cè)與定位、水聲換能器技術(shù)、水聲通信技術(shù)的發(fā)展。

水聲工程技術(shù)是指利用聲波進(jìn)行水下探測(cè)、定位、導(dǎo)航、識(shí)別、通信的工程技術(shù)。它是集物理學(xué)、電子技術(shù)、信息工程、計(jì)算機(jī)技術(shù)、傳感器技術(shù)等學(xué)科為一體的綜合性工程。

浙江大學(xué)-極端光學(xué)技術(shù)與儀器全國重點(diǎn)實(shí)驗(yàn)室

極端光學(xué)技術(shù)與儀器研究院（以下簡(jiǎn)稱研究院）成立于2022年9月，是浙江大學(xué)國際科創(chuàng)中心與浙江大學(xué)現(xiàn)代光學(xué)儀器國家重點(diǎn)實(shí)驗(yàn)室合作共建的重大科技創(chuàng)新平臺(tái)。研究院聚焦高端***系統(tǒng)集成以及光刻過程中的極端光學(xué)檢測(cè)研究，設(shè)立皮米精度干涉檢測(cè)、跨尺度缺陷檢測(cè)、光刻系統(tǒng)在線檢測(cè)、檢測(cè)系統(tǒng)核心器件四大研究方向，致力于打造成為國家在極端光學(xué)檢測(cè)技術(shù)與儀器領(lǐng)域的戰(zhàn)略科技力量。其中，面向高精度檢測(cè)和測(cè)量領(lǐng)域的應(yīng)用，開展激光光源和新型檢測(cè)技術(shù)的研究和應(yīng)用是研究院重要研究方向。

浙江大學(xué)現(xiàn)代光學(xué)儀器國家重點(diǎn)實(shí)驗(yàn)室圍繞先進(jìn)光電子技術(shù)及器件、微納光子技術(shù)及器件、精密光學(xué)傳感與檢測(cè)儀器三個(gè)方向開展研究工作，堅(jiān)持引領(lǐng)國家現(xiàn)代光學(xué)儀器領(lǐng)域和光學(xué)傳感器行業(yè)發(fā)展，努力解決西方陣營在現(xiàn)代光學(xué)儀器領(lǐng)域針對(duì)我國的“卡脖子技術(shù)”問題。

東南大學(xué)-毫米波全國重點(diǎn)實(shí)驗(yàn)室

東南大學(xué)毫米波全國重點(diǎn)實(shí)驗(yàn)室依托現(xiàn)有的東南大學(xué)毫米波國家重點(diǎn)實(shí)驗(yàn)室重組，是二十世紀(jì)90年代初國家計(jì)委批準(zhǔn)建設(shè)的國家重點(diǎn)實(shí)驗(yàn)室之一。實(shí)驗(yàn)室以“電磁場(chǎng)與微波技術(shù)”國家重點(diǎn)學(xué)科為依托。圍繞國家重大戰(zhàn)略需求和行業(yè)重大需求，開展微波、毫米波與太赫茲領(lǐng)域前沿基礎(chǔ)理論和關(guān)鍵技術(shù)的研究，在重點(diǎn)研究方向上取得突破，并持續(xù)強(qiáng)化科技成果轉(zhuǎn)化工作，涵蓋“基礎(chǔ)研究、應(yīng)用基礎(chǔ)研究、前沿技術(shù)研究和成果轉(zhuǎn)化”全鏈條布局。近年來主要研究定位在“人工電磁材料與計(jì)算電磁學(xué)”、“毫米波器件、電路與系統(tǒng)”、“毫米波亞毫米波理論與技術(shù)”三大方向上，開展了深入且卓有成效的研究工作，基本確立了在微波毫米波與亞毫米波領(lǐng)域的引領(lǐng)地位，并在國際上產(chǎn)生了較大的影響。

毫米波與太赫茲已成為雷達(dá)、導(dǎo)航、安檢成像、射電天文、通信等應(yīng)用領(lǐng)域的核心技術(shù)之一，其中毫米波與太赫茲芯片將成為未來十年國內(nèi)外爭(zhēng)奪的戰(zhàn)略高地，實(shí)驗(yàn)室是我國最早開始毫米波與太赫茲芯片研究與設(shè)計(jì)的單位之一。2010年，實(shí)驗(yàn)室洪偉教授團(tuán)隊(duì)牽頭承擔(dān)了我國第一個(gè)硅基毫米波亞毫米波集成電路的973項(xiàng)目，之后又得到國家重大科研儀器研發(fā)項(xiàng)目、國家重點(diǎn)研發(fā)計(jì)劃等項(xiàng)目的支持，在毫米波太赫茲芯片領(lǐng)域獲得了豐富的研究成果。

除以上已宣布改組/新建的全國重點(diǎn)實(shí)驗(yàn)室外，目前傳感器領(lǐng)域國家重點(diǎn)實(shí)驗(yàn)室主要還有以下一些：

傳感技術(shù)聯(lián)合國家重點(diǎn)實(shí)驗(yàn)室

傳感技術(shù)聯(lián)合國家重點(diǎn)實(shí)驗(yàn)室經(jīng)國家計(jì)委批準(zhǔn)于1987年成立，1989年通過國家驗(yàn)收，是我國傳感技術(shù)領(lǐng)域最早建立的國家重點(diǎn)實(shí)驗(yàn)室，也是目前中國傳感器技術(shù)研發(fā)領(lǐng)域最強(qiáng)實(shí)驗(yàn)室。

實(shí)驗(yàn)室由南北兩個(gè)基地及四個(gè)專業(yè)點(diǎn)組成，實(shí)驗(yàn)室管理辦公室設(shè)在中科院上海微系統(tǒng)與信息技術(shù)研究所。南方基地依托單位為中科院上海微系統(tǒng)與信息技術(shù)研究所，北方基地依托單位為中科院電子學(xué)研究所（現(xiàn)中國科學(xué)院空天信息創(chuàng)新研究院），四個(gè)專業(yè)點(diǎn)分別是光傳感器專業(yè)點(diǎn)(設(shè)在中科院上海技術(shù)物理研究所)、厚膜傳感器專業(yè)點(diǎn)(設(shè)在中科院合肥智能機(jī)械研究所)、氣敏傳感器專業(yè)點(diǎn)(設(shè)在中科院半導(dǎo)體研究所)、生物傳感器專業(yè)點(diǎn)(設(shè)在中科院微生物研究所)。

實(shí)驗(yàn)室的主要研究領(lǐng)域是以微電子技術(shù)和微納加工技術(shù)為基礎(chǔ)的微納傳感器及微系統(tǒng)。

智能傳感功能材料國家重點(diǎn)實(shí)驗(yàn)室

智能傳感功能材料國家重點(diǎn)實(shí)驗(yàn)室是國家科技部于2015年9月批復(fù)建設(shè)的第三批企業(yè)國家重點(diǎn)實(shí)驗(yàn)室。實(shí)驗(yàn)室依托有研科技集團(tuán)（原北京有色金屬研究總院），快速推進(jìn)新一代智能傳感器核心技術(shù)的研、學(xué)、產(chǎn)、用，建設(shè)我國智能傳感領(lǐng)域關(guān)鍵材料與器件共性技術(shù)基礎(chǔ)創(chuàng)新和成果轉(zhuǎn)化的重要國家級(jí)平臺(tái)。

實(shí)驗(yàn)室面向人工智能、物聯(lián)網(wǎng)、5G通訊等領(lǐng)域?qū)ξ⒓{傳感器的巨大需求和傳感功能材料國產(chǎn)化應(yīng)用薄弱的現(xiàn)狀，聚焦科學(xué)儀器、工業(yè)裝備及汽車產(chǎn)業(yè)高端智能傳感器的“卡脖子”難題，突破多種傳感器用敏感材料、封裝材料等系列功能材料核心共性技術(shù)，為我國新型傳感功能材料、智能傳感器件行業(yè)的技術(shù)進(jìn)步、實(shí)現(xiàn)可持續(xù)發(fā)展戰(zhàn)略奠定堅(jiān)實(shí)的技術(shù)理論基礎(chǔ)。

湖南大學(xué)-化學(xué)生物傳感與計(jì)量學(xué)國家重點(diǎn)實(shí)驗(yàn)室

化學(xué)生物傳感與計(jì)量學(xué)國家重點(diǎn)實(shí)驗(yàn)室（湖南大學(xué)）由國家科技部于2001年7月正式下文批準(zhǔn)依托湖南大學(xué)邊建設(shè)邊開放，2002年11月通過國家科技部專家組的建設(shè)項(xiàng)目驗(yàn)收， 2004年、2009年、2014年已三次順利通過國家科技部評(píng)估?，F(xiàn)任學(xué)術(shù)委員會(huì)主任為中國科學(xué)院院士江桂斌院士（中國科學(xué)院生態(tài)環(huán)境研究中心），實(shí)驗(yàn)室主任為中國科學(xué)院院士譚蔚泓教授。

在依托單位湖南大學(xué)的大力支持下，本實(shí)驗(yàn)室定位于探索和發(fā)展化學(xué)生物傳感的新原理，推動(dòng)分析化學(xué)原始創(chuàng)新，為解決國家重大需求和科學(xué)前沿問題提供技術(shù)支撐 ；探索發(fā)展分子識(shí)別與探針、納米生物學(xué)、化學(xué)生物傳感、生化分析儀器、化學(xué)計(jì)量學(xué)等方向的新方法 ；解決復(fù)雜生命體系化學(xué)信息獲取與重大疾病診治的關(guān)鍵科學(xué)與共性技術(shù)問題 。

傳感器國家工程研究中心

傳感器國家工程研究中心是目前中國傳感器領(lǐng)域最高研究機(jī)構(gòu)，是中國唯一的傳感器工程中心。

傳感器國家工程研究中心依托沈陽儀表科學(xué)研究院于1995年正式啟動(dòng)建設(shè)，2002年國家計(jì)委正式批復(fù)掛牌。以提高自主創(chuàng)新能力、增強(qiáng)傳感器產(chǎn)業(yè)核心競(jìng)爭(zhēng)能力和發(fā)展為目標(biāo)的研究開發(fā)實(shí)體，是國家傳感器產(chǎn)業(yè)創(chuàng)新體系的重要組成部分，重點(diǎn)研究力、熱、光、磁及聲學(xué)、生物與生命科學(xué)、電化學(xué)、圖像等傳感器技術(shù)。

附：各高校全國重點(diǎn)實(shí)驗(yàn)室統(tǒng)計(jì)