北京大學(xué)-微納電子器件與集成技術(shù)全國重點實驗室

近年來，MEMS（微電子機械系統(tǒng)）器件的出現(xiàn)極大擴展了微電子學(xué)領(lǐng)域研究的范疇，北京大學(xué)電子學(xué)院是我國最好的微納電子及集成電路科技研究與教育基地之一，其發(fā)展歷史可以追溯到1956年由著名物理學(xué)家黃昆院士領(lǐng)導(dǎo)在北大物理系創(chuàng)建的我國第一個半導(dǎo)體專門化。

北京大學(xué)集成微納系統(tǒng)研究所，擁有完整的微米/納米加工工藝線，具備可同時開展MOS、硅基MEMS和集成化工藝技術(shù)研究的實驗環(huán)境，研究內(nèi)容包括MEMS陀螺儀、加速度計、射頻器件、光學(xué)器件、柔性器件等一系列MEMS器件，以硅基MEMS為基礎(chǔ)，開發(fā)了SiC MEMS、 GaN MEMS、Ti MEMS、 Parylene MEMS等一系列加工技術(shù)。

集成電路方面，北京大學(xué)在中國微電子產(chǎn)業(yè)的發(fā)展過程中有著輝煌的歷史。在20世紀(jì)七十年代研制出我國第一塊三種類型包括硅柵N溝道1K MOS DRAM，是我國微電子科學(xué)技術(shù)史上的重要里程碑之一，獲全國科學(xué)大會獎，是中國最早的大規(guī)模集成電路的發(fā)源地之一。

在相關(guān)領(lǐng)域，北京大學(xué)擁有王陽元院士、黃如院士、吳文剛教授、張海霞教授、金玉豐教授、于曉梅教授等一批杰出專家。

電子科技大學(xué)-電子薄膜與集成器件全國重點實驗室

電子薄膜與集成器件全國重點實驗室由原電子薄膜與集成器件國家重點實驗室改組，于2006年7月經(jīng)科技部批準(zhǔn)建設(shè)，實驗室緊密結(jié)合電子信息系統(tǒng)微小型化和單片集成的重大需求，重點圍繞電子功能材料的薄膜化和電子器件的集成化開展基礎(chǔ)、應(yīng)用基礎(chǔ)與工程應(yīng)用的研究?，F(xiàn)任實驗室學(xué)術(shù)委員會主任為雷清泉院士，實驗室主任為李言榮院士。

實驗室以下三個方向作為重點研究方向：⑴ 磁電薄膜與微型器件，主要解決集成器件中電磁信息的探測和傳輸。⑵ 功率半導(dǎo)體器件及集成技術(shù)，主要解決集成系統(tǒng)中信息的處理和執(zhí)行。⑶ 電子聚合物與微結(jié)構(gòu)傳感器，主要解決微結(jié)構(gòu)中光電信息的獲取和傳感。

清華大學(xué)-精密測試技術(shù)及儀器全國重點實驗室

精密測試技術(shù)及儀器全國重點實驗室由原精密測試技術(shù)及儀器國家重點實驗室改組，由清華大學(xué)與天津大學(xué)聯(lián)合共建，是1990年經(jīng)國家計委批準(zhǔn)、利用世行貸款建設(shè)的實驗室。目前實驗室的學(xué)科領(lǐng)域涵蓋了“儀器科學(xué)與技術(shù)”（兩校）和“光學(xué)工程”（清華）兩個國家一級重點學(xué)科。實驗室分為清華大學(xué)實驗區(qū)和天津大學(xué)實驗區(qū)。

實驗室的主要研究領(lǐng)域和方向有：激光及光電測試技術(shù)、傳感及測量信息技術(shù)、微納制造與測試技術(shù)、制造質(zhì)量控制技術(shù)。

復(fù)旦大學(xué)—集成芯片與系統(tǒng)全國重點實驗室

集成芯片與系統(tǒng)全國重點實驗室是科技部邂選的首批20個標(biāo)桿全國重點實驗室之一，依托復(fù)日大學(xué)建設(shè)，劉明院士任實驗室主任。

實驗室設(shè)立了主攻任務(wù)“集成芯片與系統(tǒng)應(yīng)用”及其相關(guān)支撐任務(wù)，并把握綜合性大學(xué)優(yōu)勢，組織集成電路、信息、計算機、物理、材料等領(lǐng)域?qū)W者，設(shè)立組建了集成芯片、EDA、IP/架構(gòu)、先進(jìn)裝備、超高速電路與系統(tǒng)和未來芯片等6個創(chuàng)新中心。各中心根據(jù)自身特長，圍繞“存算一體3D集成芯片”技術(shù)路線，在多芯架構(gòu)、通用處理器、智能處理器、互連電路、多物理場仿真器、新一代感存算器件和2.5D/3D集成布局布線EDA等方向?qū)嵺`有組織科研。

西安交通大學(xué)-精密微納制造全國重點實驗室

西安交通大學(xué)擁有成立于1996年的精密工程研究所及機械制造系統(tǒng)工程國家重點實驗室等研究機構(gòu)，開展MEMS傳感器與核心芯片及其系列器件、納米計量技術(shù)與納米器件、精密超精密加工技術(shù)及裝備、精密測量技術(shù)及裝備、生物檢測技術(shù)及分子診斷科學(xué)儀器等方面的研究，先后承擔(dān)了國家和國防各類重大重點項目及其它省部委科研項目數(shù)百項。先后獲得國家技術(shù)發(fā)明二等獎3項，國家科技進(jìn)步二等獎4項，省部級獎項30余項，發(fā)表論文1300余篇，授權(quán)發(fā)明專利340余項。

西安交通大學(xué)擁有蔣莊德院士、趙玉龍教授等一批長期從事微納制造領(lǐng)域研究的杰出專家。

哈爾濱工程大學(xué)-水聲技術(shù)全國重點實驗室

水聲技術(shù)全國重點實驗室由原水聲技術(shù)國家重點實驗室改組，實驗室圍繞國家、國防重大科技前沿、裝備研究的重大需求和制約水聲技術(shù)性能的重大基礎(chǔ)問題和技術(shù)瓶頸，探索水聲技術(shù)的新原理、新方法，以創(chuàng)新解決水下探測和反探測的難題，帶動水聲物理、水聲目標(biāo)探測與定位、水聲換能器技術(shù)、水聲通信技術(shù)的發(fā)展。

水聲工程技術(shù)是指利用聲波進(jìn)行水下探測、定位、導(dǎo)航、識別、通信的工程技術(shù)。它是集物理學(xué)、電子技術(shù)、信息工程、計算機技術(shù)、傳感器技術(shù)等學(xué)科為一體的綜合性工程。

浙江大學(xué)-極端光學(xué)技術(shù)與儀器全國重點實驗室

極端光學(xué)技術(shù)與儀器研究院（以下簡稱研究院）成立于2022年9月，是浙江大學(xué)國際科創(chuàng)中心與浙江大學(xué)現(xiàn)代光學(xué)儀器國家重點實驗室合作共建的重大科技創(chuàng)新平臺。研究院聚焦高端***系統(tǒng)集成以及光刻過程中的極端光學(xué)檢測研究，設(shè)立皮米精度干涉檢測、跨尺度缺陷檢測、光刻系統(tǒng)在線檢測、檢測系統(tǒng)核心器件四大研究方向，致力于打造成為國家在極端光學(xué)檢測技術(shù)與儀器領(lǐng)域的戰(zhàn)略科技力量。其中，面向高精度檢測和測量領(lǐng)域的應(yīng)用，開展激光光源和新型檢測技術(shù)的研究和應(yīng)用是研究院重要研究方向。

浙江大學(xué)現(xiàn)代光學(xué)儀器國家重點實驗室圍繞先進(jìn)光電子技術(shù)及器件、微納光子技術(shù)及器件、精密光學(xué)傳感與檢測儀器三個方向開展研究工作，堅持引領(lǐng)國家現(xiàn)代光學(xué)儀器領(lǐng)域和光學(xué)傳感器行業(yè)發(fā)展，努力解決西方陣營在現(xiàn)代光學(xué)儀器領(lǐng)域針對我國的“卡脖子技術(shù)”問題。

東南大學(xué)-毫米波全國重點實驗室

東南大學(xué)毫米波全國重點實驗室依托現(xiàn)有的東南大學(xué)毫米波國家重點實驗室重組，是二十世紀(jì)90年代初國家計委批準(zhǔn)建設(shè)的國家重點實驗室之一。實驗室以“電磁場與微波技術(shù)”國家重點學(xué)科為依托。圍繞國家重大戰(zhàn)略需求和行業(yè)重大需求，開展微波、毫米波與太赫茲領(lǐng)域前沿基礎(chǔ)理論和關(guān)鍵技術(shù)的研究，在重點研究方向上取得突破，并持續(xù)強化科技成果轉(zhuǎn)化工作，涵蓋“基礎(chǔ)研究、應(yīng)用基礎(chǔ)研究、前沿技術(shù)研究和成果轉(zhuǎn)化”全鏈條布局。近年來主要研究定位在“人工電磁材料與計算電磁學(xué)”、“毫米波器件、電路與系統(tǒng)”、“毫米波亞毫米波理論與技術(shù)”三大方向上，開展了深入且卓有成效的研究工作，基本確立了在微波毫米波與亞毫米波領(lǐng)域的引領(lǐng)地位，并在國際上產(chǎn)生了較大的影響。

毫米波與太赫茲已成為雷達(dá)、導(dǎo)航、安檢成像、射電天文、通信等應(yīng)用領(lǐng)域的核心技術(shù)之一，其中毫米波與太赫茲芯片將成為未來十年國內(nèi)外爭奪的戰(zhàn)略高地，實驗室是我國最早開始毫米波與太赫茲芯片研究與設(shè)計的單位之一。2010年，實驗室洪偉教授團隊牽頭承擔(dān)了我國第一個硅基毫米波亞毫米波集成電路的973項目，之后又得到國家重大科研儀器研發(fā)項目、國家重點研發(fā)計劃等項目的支持，在毫米波太赫茲芯片領(lǐng)域獲得了豐富的研究成果。

除以上已宣布改組/新建的全國重點實驗室外，目前傳感器領(lǐng)域國家重點實驗室主要還有以下一些：

傳感技術(shù)聯(lián)合國家重點實驗室

傳感技術(shù)聯(lián)合國家重點實驗室經(jīng)國家計委批準(zhǔn)于1987年成立，1989年通過國家驗收，是我國傳感技術(shù)領(lǐng)域最早建立的國家重點實驗室，也是目前中國傳感器技術(shù)研發(fā)領(lǐng)域最強實驗室。

實驗室由南北兩個基地及四個專業(yè)點組成，實驗室管理辦公室設(shè)在中科院上海微系統(tǒng)與信息技術(shù)研究所。南方基地依托單位為中科院上海微系統(tǒng)與信息技術(shù)研究所，北方基地依托單位為中科院電子學(xué)研究所（現(xiàn)中國科學(xué)院空天信息創(chuàng)新研究院），四個專業(yè)點分別是光傳感器專業(yè)點(設(shè)在中科院上海技術(shù)物理研究所)、厚膜傳感器專業(yè)點(設(shè)在中科院合肥智能機械研究所)、氣敏傳感器專業(yè)點(設(shè)在中科院半導(dǎo)體研究所)、生物傳感器專業(yè)點(設(shè)在中科院微生物研究所)。

實驗室的主要研究領(lǐng)域是以微電子技術(shù)和微納加工技術(shù)為基礎(chǔ)的微納傳感器及微系統(tǒng)。

智能傳感功能材料國家重點實驗室

智能傳感功能材料國家重點實驗室是國家科技部于2015年9月批復(fù)建設(shè)的第三批企業(yè)國家重點實驗室。實驗室依托有研科技集團（原北京有色金屬研究總院），快速推進(jìn)新一代智能傳感器核心技術(shù)的研、學(xué)、產(chǎn)、用，建設(shè)我國智能傳感領(lǐng)域關(guān)鍵材料與器件共性技術(shù)基礎(chǔ)創(chuàng)新和成果轉(zhuǎn)化的重要國家級平臺。

實驗室面向人工智能、物聯(lián)網(wǎng)、5G通訊等領(lǐng)域?qū)ξ⒓{傳感器的巨大需求和傳感功能材料國產(chǎn)化應(yīng)用薄弱的現(xiàn)狀，聚焦科學(xué)儀器、工業(yè)裝備及汽車產(chǎn)業(yè)高端智能傳感器的“卡脖子”難題，突破多種傳感器用敏感材料、封裝材料等系列功能材料核心共性技術(shù)，為我國新型傳感功能材料、智能傳感器件行業(yè)的技術(shù)進(jìn)步、實現(xiàn)可持續(xù)發(fā)展戰(zhàn)略奠定堅實的技術(shù)理論基礎(chǔ)。

湖南大學(xué)-化學(xué)生物傳感與計量學(xué)國家重點實驗室

化學(xué)生物傳感與計量學(xué)國家重點實驗室（湖南大學(xué)）由國家科技部于2001年7月正式下文批準(zhǔn)依托湖南大學(xué)邊建設(shè)邊開放，2002年11月通過國家科技部專家組的建設(shè)項目驗收， 2004年、2009年、2014年已三次順利通過國家科技部評估。現(xiàn)任學(xué)術(shù)委員會主任為中國科學(xué)院院士江桂斌院士（中國科學(xué)院生態(tài)環(huán)境研究中心），實驗室主任為中國科學(xué)院院士譚蔚泓教授。

在依托單位湖南大學(xué)的大力支持下，本實驗室定位于探索和發(fā)展化學(xué)生物傳感的新原理，推動分析化學(xué)原始創(chuàng)新，為解決國家重大需求和科學(xué)前沿問題提供技術(shù)支撐 ；探索發(fā)展分子識別與探針、納米生物學(xué)、化學(xué)生物傳感、生化分析儀器、化學(xué)計量學(xué)等方向的新方法 ；解決復(fù)雜生命體系化學(xué)信息獲取與重大疾病診治的關(guān)鍵科學(xué)與共性技術(shù)問題 。

傳感器國家工程研究中心

傳感器國家工程研究中心是目前中國傳感器領(lǐng)域最高研究機構(gòu)，是中國唯一的傳感器工程中心。

傳感器國家工程研究中心依托沈陽儀表科學(xué)研究院于1995年正式啟動建設(shè)，2002年國家計委正式批復(fù)掛牌。以提高自主創(chuàng)新能力、增強傳感器產(chǎn)業(yè)核心競爭能力和發(fā)展為目標(biāo)的研究開發(fā)實體，是國家傳感器產(chǎn)業(yè)創(chuàng)新體系的重要組成部分，重點研究力、熱、光、磁及聲學(xué)、生物與生命科學(xué)、電化學(xué)、圖像等傳感器技術(shù)。

附：各高校全國重點實驗室統(tǒng)計