中圖儀器SuperViewW系列白光干涉儀采用的是非接觸式光學(xué)測(cè)量，在獲得實(shí)時(shí)數(shù)據(jù)的同時(shí)，不會(huì)對(duì)產(chǎn)品造成任何損傷，從而有效節(jié)約了生產(chǎn)成本，提高了生產(chǎn)效率，并且在線檢測(cè)，沒(méi)有滯后性，從而減少不合格品，對(duì)表面缺陷檢測(cè)亦如此。

如一張經(jīng)由VCUT微刻刀加工過(guò)的塑料薄片放到顯微鏡下，看到的是一面布滿點(diǎn)狀顆粒，另一面則被條狀溝槽所填滿，構(gòu)成了塑料片表面的微觀世界。

使用中圖儀器SuperView W1光學(xué)3D表面輪廓儀對(duì)這張塑料片上下表面進(jìn)行掃描，點(diǎn)顆粒和溝槽輪廓一覽無(wú)余。

點(diǎn)顆粒是凸點(diǎn)，而溝槽則是弧形波，進(jìn)一步使用儀器的輪廓分析功能對(duì)凸點(diǎn)和弧形波進(jìn)行測(cè)量，得到它們的尺寸數(shù)據(jù)。

單個(gè)凸點(diǎn)截面直徑約42μm、高3.8um、夾角160°，分布周期97μm；單個(gè)弧形波高約1.6μm、寬約35μm，周期35μm。

SuperViewW系列三維輪廓測(cè)量?jī)x分辨率0.1μm，重復(fù)性0.1%，具有測(cè)量精度高、功能全面、操作便捷、測(cè)量參數(shù)涵蓋面廣的優(yōu)點(diǎn)，專用于精密零部件之重點(diǎn)部位表面粗糙度、微小形貌輪廓及尺寸的非接觸式快速測(cè)量。測(cè)量單個(gè)精密器件的過(guò)程用時(shí)2分鐘以內(nèi)，確保了高款率檢測(cè)。并且其特殊光源模式，可以廣泛適用于從光滑到粗糙等各種精密器件表面的測(cè)量。

參數(shù)

產(chǎn)品型號(hào)：SuperView W1系列

產(chǎn)品名稱：光學(xué)3D表面輪廓儀

影像系統(tǒng)：1024×1024

光學(xué)ZOOM：0.5×，（0.75×，1×可選）

干涉物鏡：10×，（2.5×，5×，20×，50×，100×可選）

XY平臺(tái)：尺寸320×200mm，行程140×110mm，電動(dòng)、手動(dòng)同時(shí)具備，均為光柵閉環(huán)反饋

Z軸行程：100mm，電動(dòng)

Z向掃描范圍：10mm

Z向分辨率：0.1nm

水平調(diào)整：±5°手動(dòng)

粗糙度RMS重復(fù)性：0.005nm

臺(tái)階高測(cè)量：準(zhǔn)確度0.3%，重復(fù)性0.08% 1σ

主要特點(diǎn)：非接觸式無(wú)損檢測(cè)，一鍵分析、測(cè)量速度快、效率高

生產(chǎn)企業(yè)：深圳市中圖儀器股份有限公司

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