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光學(xué)輪廓儀測(cè)粗糙度怎么測(cè)?

中圖儀器 ? 2022-10-14 17:33 ? 次閱讀
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SuperViewW1光學(xué)輪廓儀以白光干涉技術(shù)為原理,能夠以?xún)?yōu)于納米級(jí)的分辨率,測(cè)試各類(lèi)表面并自動(dòng)聚焦測(cè)量工件獲取2D,3D表面粗糙度、輪廓等一百余項(xiàng)參數(shù),廣泛應(yīng)用于光學(xué),半導(dǎo)體,材料,精密機(jī)械等等領(lǐng)域。是一款非接觸測(cè)量樣品表面形貌的光學(xué)測(cè)量?jī)x器。

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粗糙度分析操作步驟:
1.將樣品放置在夾具上,確保樣品狀態(tài)穩(wěn)定;
2.將夾具放置在載物臺(tái)上;
3.檢查電機(jī)連接和環(huán)境噪聲,確認(rèn)儀器狀態(tài);
4.使用操縱桿調(diào)節(jié)三軸位置,將樣品移到鏡頭下方并找到樣品表面干涉條紋;
5.完成掃描設(shè)置和命名等操作;
6.點(diǎn)擊開(kāi)始測(cè)量(進(jìn)入3D視圖窗口旋轉(zhuǎn)調(diào)整觀(guān)察一會(huì));
7.進(jìn)入數(shù)據(jù)處理界面,點(diǎn)擊“去除外形”,采用默認(rèn)參數(shù),點(diǎn)擊應(yīng)用獲取樣品表面粗糙度輪廓;
8.進(jìn)入分析工具模塊,點(diǎn)擊參數(shù)分析,直接獲取面粗糙度數(shù)據(jù),點(diǎn)擊右側(cè)參數(shù)標(biāo)準(zhǔn)可更換參數(shù)標(biāo)準(zhǔn),增刪參數(shù)類(lèi)型;
9.如果想獲取線(xiàn)粗糙度數(shù)據(jù),則需提取剖面線(xiàn);
10.進(jìn)入數(shù)據(jù)處理界面,點(diǎn)擊“提取剖面”圖標(biāo),選擇合適方向剖面線(xiàn)進(jìn)行剖面輪廓提??;
11.進(jìn)入分析工具界面,點(diǎn)擊“參數(shù)分析”圖標(biāo),點(diǎn)擊右側(cè)參數(shù)標(biāo)準(zhǔn),勾選所需線(xiàn)粗糙度相關(guān)參數(shù),即可獲取線(xiàn)粗糙度Ra數(shù)據(jù)。

光學(xué)輪廓儀采用了CCD取代了顯微鏡中的目鏡,可以直接從電腦上實(shí)時(shí)視頻窗口觀(guān)察樣品表面形貌,也可以通過(guò)重建后的樣品表面3D圖像觀(guān)察表面形貌,樣品表面形貌展示得更加清晰,圖像更大,觀(guān)察更加方便。

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    的頭像 發(fā)表于 05-21 14:47 ?569次閱讀
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    的頭像 發(fā)表于 11-01 15:50 ?1129次閱讀
    <b class='flag-5'>光學(xué)</b>3D表面<b class='flag-5'>輪廓儀</b>:滿(mǎn)足多元超精密微觀(guān)尺寸測(cè)量需求